[發明專利]振動元件、光掃描裝置、致動裝置、視頻投影裝置及圖像形成裝置

有效

• 申請號: 201080057002.4
• 申請日: 2010-12-15
• 公開（公告）號: CN102666367A
• 公開（公告）日: 2012-09-12
• 發明（設計）人: 鈴木成己;新井克美;若林孝幸
• 申請（專利權）人: 佳能電子株式會社
• 主分類號: B81B3/00
• 分類號: B81B3/00;G02B26/10;H04N1/113
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種振動元件，其特征在于，包括：

振動部，其通過實施使楊氏模量降低的加工硬化處理與使由該加工硬化處理降低了的楊氏模量回復或上升的時效硬化處理而形成。

2.根據權利要求1所述的振動元件，其特征在于，

所述振動部由以下方式形成，即，在對實施了使楊氏模量降低的加工硬化處理的原料實施加工成規定的形狀的成形加工處理之后，實施使由所述加工硬化處理降低了的楊氏模量回復或上升的時效硬化處理。

3.根據權利要求1或2所述的振動元件，其特征在于，

所述振動部具有從基座設成梁狀的梁部，并向與所述梁部的縱長方向軸線交叉的方向扭轉振動。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的振動元件，其特征在于，

所述振動部通過實施了拉伸加工而形成。

5.根據權利要求4所述的振動元件，其特征在于，

除了所述拉伸加工之外，還對所述振動部實施了減薄加工。

6.根據權利要求4或5所述的振動元件，其特征在于，

所述振動部通過一邊線狀地拉伸一邊進行減薄而形成。

7.根據權利要求4至6中任一項所述的振動元件，其特征在于，

在所述振動部的外周面形成有由所述拉伸加工形成的加工痕跡。

8.根據權利要求1至7中任一項所述的振動元件，其特征在于，

所述振動部具有從基座設成梁狀的梁部，在將該梁部的寬度設為w并將厚度設為t時的截面縱橫比t/w大于0.3。

9.根據權利要求1至8中任一項所述的振動元件，其特征在于，

所述振動部具有從基座設成梁狀的梁部，并且，在該振動部上設有光學鏡部，所述光學鏡部的慣性矩為所述梁部的慣性矩的兩倍以上。

10.根據權利要求1至9中任一項所述的振動元件，其特征在于，

所述振動部包含：設成長條梁狀且不安裝光學鏡部的第一區域和第二區域與安裝所述光學鏡部的第三區域，所述第二區域在所述振動部的縱長方向上由所述第一區域與所述第三區域所夾持，

所述時效硬化處理在所述第一區域和所述第二區域、與所述第三區域在彼此不同的溫度條件下進行。

11.根據權利要求1至10中任一項所述的振動元件，其特征在于，

所述振動部具有表示共振頻率的變化量與應變振幅的大小的關系的共振特性曲線的峰形呈線對稱的振動特性。

12.根據權利要求1至11中任一項所述的振動元件，其特征在于，

所述振動部的應變振幅大于3×10^-3。

13.根據權利要求1至12中任一項所述的振動元件，其特征在于，

所述振動部的表示振動的容易程度的Q值為1000以上。

14.根據權利要求1至13中任一項所述的振動元件，其特征在于，

所述振動部由加工硬化和時效硬化型Co-Ni基合金構成。

15.根據權利要求1至14中任一項所述的振動元件，其特征在于，

所述振動部由實施了加工硬化和時效硬化處理的Co-Ni基合金構成。

16.根據權利要求1至15中任一項所述的振動元件，其特征在于，還具有：

減壓空間形成部，其形成配置所述振動部的至少一部分的減壓空間。

17.根據權利要求1至16中任一項所述的振動元件，其特征在于，

還具有設置在所述振動部上的光學鏡部，

所述光學鏡部設置在所述振動部上，具有大于所述振動部的寬度尺寸的外形形狀，并且，具有從與所述振動部相對的部分向外側突出的部分越接近頂端越逐漸變小的形狀。

18.根據權利要求1至17中任一項所述的振動元件，其特征在于，

所述振動部的組成按重量比包括Co：31.0％～37.3％、Ni：31.4％～33.4％、Cr：19.5％～20.5％、Mo：9.5％～10.5％。

19.根據權利要求1至18中任一項所述的振動元件，其特征在于，

所述振動部表現出非磁性。