[發明專利]至少一階和二階溫度補償諧振器

有效

• 申請號: 201080056806.2
• 申請日: 2010-11-10
• 公開（公告）號: CN102687394A
• 公開（公告）日: 2012-09-19
• 發明（設計）人: T·黑塞勒;T·科奴斯;K·特倫皮
• 申請（專利權）人: 斯沃奇集團研究和開發有限公司
• 主分類號: H03H9/02
• 分類號: H03H9/02;G04B17/06;G04B17/22
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所 11247
• 代理人: 高美艷;吳鵬

1.一種溫度補償諧振器（1），該諧振器（1）包括使用時變形的本體，所述本體的芯部（3）包括第一材料，其特征在于，所述本體具有分別由第二材料和第三材料制成的至少第一涂層和第二涂層（4，5），各材料的楊氏模量隨溫度的變化是不同的，所述至少第一涂層和第二涂層的各自厚度調整成允許所述諧振器具有隨溫度基本上為零的一階和二階（α，β）頻率變化。

2.根據前述權利要求所述的諧振器（1），其特征在于，所述本體包括由第四材料制成的第三涂層，該第四材料的楊氏模量隨溫度的變化與所述芯部（3）和所述其它涂層（4，5）的材料的不同，所述三個涂層的各自厚度調整成允許所述諧振器具有隨溫度基本上為零的一階、二階和三階（α，β，γ）頻率變化。

3.根據權利要求1或2所述的諧振器（1），其特征在于，所述本體的所述芯部（3）具有隨溫度的負一階和負二階楊氏模量變化。

4.根據前述權利要求所述的諧振器（1），其特征在于，所述本體的所述芯部（3）包括單晶硅。

5.根據前述權利要求中的任一項所述的諧振器（1），其特征在于，所述本體具有基本上四邊形形狀的截面，所述本體具有成對的相同面。

6.根據權利要求1至4中的任一項所述的諧振器（1），其特征在于，所述本體包括基本上四邊形形狀的截面，所述本體的面全部涂覆有涂層。

7.根據前述權利要求中的任一項所述的諧振器（1），其特征在于，第一涂層（4）具有隨溫度的正一階和負二階楊氏模量變化。

8.根據前述權利要求所述的諧振器（1），其特征在于，所述第一涂層（4）包括二氧化硅。

9.根據權利要求7或8所述的諧振器（1），其特征在于，所述第二涂層（5）具有隨溫度的正二階楊氏模量變化。

10.根據前述權利要求所述的諧振器（1），其特征在于，所述第二涂層（5）具有隨溫度的正一階楊氏模量變化。

11.根據前述權利要求所述的諧振器（1），其特征在于，所述第二涂層（5）包括二氧化鍺。

12.根據權利要求9所述的諧振器（1），其特征在于，所述第二涂層（5）具有隨溫度的負一階楊氏模量變化。

13.根據權利要求9至12中的任一項所述的諧振器（1），其特征在于，所述第一涂層（4）與所述第二涂層（5）的順序顛倒。

14.根據前述權利要求中的任一項所述的諧振器（1），其特征在于，所述涂層優先沉積在與所述本體的中性面（F）平行的表面上，以便以盡可能大的強度改善所述諧振器的頻率。

15.根據前述權利要求中的任一項所述的諧振器（1），其特征在于，所述本體是圍繞其自身卷繞的桿以形成游絲，并聯接到慣性飛輪上。

16.根據權利要求1至14中的任一項所述的諧振器（1），其特征在于，所述本體包括至少兩個對稱安裝的桿以形成音叉。

17.根據權利要求1至14中的任一項所述的諧振器（1），其特征在于，所述本體是MEMS諧振器。

18.一種鐘表，其特征在于，它包括至少一個根據前述權利要求中的任一項所述的諧振器。