[發明專利]光學成像寫入系統

有效

• 申請號: 201080056688.5
• 申請日: 2010-12-09
• 公開（公告）號: CN102656515A
• 公開（公告）日: 2012-09-05
• 發明（設計）人: T·萊迪格
• 申請（專利權）人: 派因布魯克成像系統公司
• 主分類號: G03B27/42
• 分類號: G03B27/42
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 酆迅;鄭菊

1.一種在光刻制程中處理影像數據的方法，包含下列步驟：

提供平行成像寫入系統，其中該平行成像寫入系統包含復數個空間光調制器(SLM)成像單元，且該SLM成像單元排列成一個或多個平行陣列；

接收待寫入基板的光掩膜數據圖案；

處理該光掩膜數據圖案，以形成復數個對應于該基板不同區域的分區光掩膜數據圖案；

辨識出基板上一個區域中一個或多個待受對應SLM成像的對象；

沿該對象的邊緣選擇評估點；

配置該平行成像寫入系統使其利用該評估點成像該對象；以及

藉由控制該等SLM將該等分區光掩膜數據圖案平行寫入，而執行多重曝光以將該對象成像于基板的該區域中。

2.如權利要求1所述的方法，其中選擇評估點的步驟包含：

選擇彼此等距的評估點，其中該相鄰評估點間的相等距離小于相鄰像素間的距離的一半。

3.如權利要求2所述的方法，其進一步包含：

儲存每一個評估點相對于像素格點的位置；

儲存邊緣相對于該像素格點的角度；以及

儲存評估點已經接受曝光的次數。

4.如權利要求1所述的方法，其中配置該平行成像寫入系統的步驟包含：

形成一組查找表，用以處理該對象中的像素，其中該像素被等分劃分以形成復數個子像素區域，且每一個查找表儲存用以成像該像素及其對應子像素區域的信息。

5.如權利要求4所述的方法，其中該組查找表包含：

像素內不同位置從其鄰近像素的曝光所得的貢獻，包括得自與該目標像素相距一個像素的一階鄰近像素的貢獻。

6.如權利要求5所述的方法，其中該組查找表進一步包含得自與該目標像素相距兩個像素的二階鄰近像素的貢獻，以及得自與該目標像素相距兩個像素以上的二階以上鄰近像素的貢獻。

7.如權利要求4所述的方法，其中配置步驟進一步包含：

形成該組查找表用以處理該對象具有不同角度的邊緣。

8.如權利要求4所述的方法，其中配置步驟進一步包含：

形成該組查找表用以存取多個相關像素構成的一個群組的信息。

9.如權利要求4所述的方法，其中配置步驟進一步包含：

建立地址用以從該組查找表中存取多個相關像素構成的一個群組的信息。

10.如權利要求1所述的方法，其中配置步驟進一步包含：

辨識該平行成像寫入系統的固有不準確；

進行調整以抵消固有不準確；以及

利用該調整執行多重曝光以將該對象成像于基板的該區域中。

11.如權利要求10所述的方法，其中辨識固有不準確的步驟包含：

測量相鄰SLM間的距離；

測量DMD鏡陣的旋轉量；以及

測量SLM單元對該基板的光學放大系數。

12.如權利要求10所述的方法，其中進行調整以抵消固有不準確的的步驟包含：

辨識描述扭曲對象的邊界的函數；

建立反函數以補償扭曲對象的邊界；以及

于成像該扭曲對象的邊界時施用該反函數。

13.一種在光刻制程中處理影像數據的系統，包含：

平行成像寫入系統，其中該平行成像寫入系統包含復數個空間光調制器(SLM)成像單元，且該SLM成像單元排列成一個或多個平行陣列；

用以控制該等SLM成像單元的控制器，其中該控制器包含

邏輯設計用以接收待寫入基板的光掩膜數據圖案；

邏輯設計用以處理該光掩膜數據圖案，以形成復數個對應于該基板不同區域的分區光掩膜數據圖案；

邏輯設計用以辨識出基板上一個區域中一個或多個待受對應SLM成像的對象；

邏輯設計用以沿該對象的邊緣選擇評估點；

邏輯設計用以配置該平行成像寫入系統使其利用該評估點成像該對象；以及

邏輯設計用以藉由控制該等SLM將該等分區光掩膜數據圖案平行寫入，執行多重曝光以將該對象寫入基板的該區域。

14.如權利要求13所述的系統，其中用以選擇評估點的邏輯設計包含：

邏輯設計用以選擇彼此等距的評估點，其中該相鄰評估點間的相等距離小于相鄰像素間的距離的一半。