[發(fā)明專利]多旋轉(zhuǎn)外延生長設(shè)備和包含該設(shè)備的反應(yīng)器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201080055924.1
• 申請(qǐng)日: 2010-10-08
• 公開（公告）號(hào): CN102639761A
• 公開（公告）日: 2012-08-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: M.J.伯格曼;D.T.埃默森;D.D.塞貝爾
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 克里公司
• 主分類號(hào): C30B25/12
• 分類號(hào): C30B25/12;C30B25/02;C23C16/458
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 張昱;楊楷

1.?一種基座設(shè)備，其包括：

可旋轉(zhuǎn)的主盤；以及

多個(gè)可旋轉(zhuǎn)的衛(wèi)星盤，其被定位在所述主盤上，其中所述衛(wèi)星盤被可操作地連接至所述主盤，從而使得所述主盤圍繞著其旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)致使所述衛(wèi)星盤圍繞著它們單獨(dú)的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)。

2.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的基座設(shè)備，其中多個(gè)凹部在所述主盤中形成，并且其中每個(gè)衛(wèi)星盤被可旋轉(zhuǎn)地固定在各自的凹部內(nèi)。

3.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的基座設(shè)備，其中每個(gè)衛(wèi)星盤具有晶片支撐面，所述晶片支撐面被構(gòu)造成保持一個(gè)或多個(gè)晶片。

4.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的基座設(shè)備，其中每個(gè)衛(wèi)星盤在其第一側(cè)面上具有晶片支撐面，并且在其對(duì)置的第二側(cè)面上具有行星齒輪，其中每個(gè)行星齒輪與同所述主盤相關(guān)聯(lián)的中心齒輪嚙合，從而使得所述主盤圍繞著其旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)致使所述衛(wèi)星盤圍繞著它們單獨(dú)的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)。

5.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的基座設(shè)備，其中每個(gè)衛(wèi)星盤的所述晶片支撐面被凸起的外圍邊緣部周向地環(huán)繞。

6.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的基座設(shè)備，其中每個(gè)衛(wèi)星盤的所述晶片支撐面是波狀外形的。

7.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的基座設(shè)備，其還包括耦接于所述主盤的驅(qū)動(dòng)軸，從而使得所述驅(qū)動(dòng)軸的旋轉(zhuǎn)致使所述主盤圍繞著其旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)。

8.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的基座設(shè)備，其還包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)耦接于所述驅(qū)動(dòng)軸并被構(gòu)造成使所述驅(qū)動(dòng)軸旋轉(zhuǎn)。

9.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的基座設(shè)備，其中每個(gè)衛(wèi)星盤包括一個(gè)或多個(gè)晶片支撐件，所述晶片支撐件被可旋轉(zhuǎn)地固定在所述衛(wèi)星盤內(nèi)，并且其中所述主盤圍繞著其旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)致使所述衛(wèi)星盤圍繞著它們單獨(dú)的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，并且致使一個(gè)或多個(gè)晶片支撐件圍繞著它們單獨(dú)的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)。

10.?一種基座設(shè)備，其包括：

主盤，其具有對(duì)置的第一側(cè)面和第二側(cè)面、在所述第二側(cè)面中形成的中心凹口、以及多個(gè)周向間隔開的凹部，所述中心凹口與所述主盤的旋轉(zhuǎn)軸基本上同軸，所述凹部在所述第一側(cè)面中形成；

中心齒輪，其被定位在所述中心凹口內(nèi)；以及

多個(gè)衛(wèi)星盤，每個(gè)衛(wèi)星盤被可旋轉(zhuǎn)地固定在各自的凹部內(nèi)，其中每個(gè)衛(wèi)星盤在其第一側(cè)面上具有晶片支撐面，并且在其對(duì)置的第二側(cè)面上具有行星齒輪，其中每個(gè)行星齒輪與所述中心齒輪嚙合，從而使得所述主盤圍繞著其旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)致使所述衛(wèi)星盤在它們各自的凹部內(nèi)圍繞著單獨(dú)的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)。

11.?根據(jù)權(quán)利要求10所述的基座設(shè)備，其還包括連接器，所述連接器沿著所述主盤的旋轉(zhuǎn)軸從所述主盤第二側(cè)面延伸，其中所述連接器被構(gòu)造成將驅(qū)動(dòng)軸的自由端容納在其中，并且致使所述主盤響應(yīng)于所述驅(qū)動(dòng)軸的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)。

12.?根據(jù)權(quán)利要求11所述的基座設(shè)備，其中所述中心齒輪包括中心孔，并且其中所述連接器延伸通過所述中心齒輪中心孔。

13.?根據(jù)權(quán)利要求12所述的基座設(shè)備，其中所述驅(qū)動(dòng)軸被固定的管同心地環(huán)繞，其中所述管包括在所述驅(qū)動(dòng)軸與連接器接合時(shí)與所述中心齒輪孔接合的自由端，并且其中當(dāng)所述驅(qū)動(dòng)軸使得所述主盤圍繞著所述主盤旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)時(shí)，所述管自由端使所述中心齒輪維持在靜止位置中。

14.?根據(jù)權(quán)利要求10所述的基座設(shè)備，其中所述中心齒輪通過多個(gè)保持構(gòu)件被可移動(dòng)地保持在所述中心凹口內(nèi)，所述保持構(gòu)件沿著所述中心凹口的外圍定位。

15.?根據(jù)權(quán)利要求10所述的基座設(shè)備，其中每個(gè)凹部包括心軸桿和第一支承面，其中每個(gè)衛(wèi)星盤第二側(cè)面包括心軸凹口和第二支承面，其中所述心軸凹口被構(gòu)造成將所述心軸桿容納在其中，從而使得所述第一支承面和第二支承面接合并使得所述衛(wèi)星盤能圍繞著所述心軸桿旋轉(zhuǎn)。

16.?根據(jù)權(quán)利要求15所述的基座設(shè)備，其中每個(gè)凹部包括軸架，所述軸架具有自由端，其中所述軸架自由端包括所述第一支承面，并且其中所述心軸桿從所述軸架自由端向外延伸。

17.?根據(jù)權(quán)利要求10所述的基座設(shè)備，其中每個(gè)凹部包括心軸桿，并且其中每個(gè)衛(wèi)星盤第二側(cè)面包括心軸凹口，所述心軸凹口將心軸桿容納在其中，從而使得所述衛(wèi)星盤被所述心軸桿可旋轉(zhuǎn)地支撐。