[發(fā)明專利]半導(dǎo)體密封用環(huán)氧樹脂組合物、其固化體及半導(dǎo)體裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201080055336.8
• 申請日: 2010-11-29
• 公開（公告）號: CN102666724A
• 公開（公告）日: 2012-09-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 伊藤慎吾;前佛伸一
• 申請（專利權(quán)）人: 住友電木株式會(huì)社
• 主分類號: C08L63/00
• 分類號: C08L63/00;C08G59/62;C08K3/26;H01L21/60;H01L23/29;H01L23/31
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 金世煜;苗堃

1.一種半導(dǎo)體密封用環(huán)氧樹脂組合物，其特征在于，含有環(huán)氧樹脂（A）和固化劑（B），對銅線和連接了所述銅線的半導(dǎo)體元件進(jìn)行密封，

將所述半導(dǎo)體密封用環(huán)氧樹脂組合物的固化體在200℃加熱10小時(shí)時(shí)，由對所述銅線具有腐蝕性的硫化合物形成的第一腐蝕性氣體的生成量為70ppm以下。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體密封用環(huán)氧樹脂組合物，其特征在于，所述第一腐蝕性氣體是亞硫酸氣體。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的半導(dǎo)體密封用環(huán)氧樹脂組合物，其特征在于，由鹵素化合物形成的第二腐蝕性氣體、以及由有機(jī)酸形成的第三腐蝕性氣體對所述銅線具有腐蝕性，將所述半導(dǎo)體密封用環(huán)氧樹脂組合物的固化體在200℃加熱10小時(shí)時(shí)，所述第一、第二以及第三腐蝕性氣體的生成量的合計(jì)為230ppm以下。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體密封用環(huán)氧樹脂組合物，其特征在于，所述第二腐蝕性氣體是氯化氫氣體。

5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的半導(dǎo)體密封用環(huán)氧樹脂組合物，其特征在于，所述第三腐蝕性氣體由兩種以上不同的有機(jī)酸形成。

6.根據(jù)權(quán)利要求3～5中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體密封用環(huán)氧樹脂組合物，其特征在于，所述第三腐蝕性氣體含有甲酸和/或乙酸。

7.根據(jù)權(quán)利要求1～6中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體密封用環(huán)氧樹脂組合物，其特征在于，進(jìn)一步含有水滑石。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體密封用環(huán)氧樹脂組合物，其特征在于，所述水滑石是下述式（1）表示的化合物，

M_aAl_b(OH)_2a+3b-2c(CO₃)_c·mH₂O????（1）

式（1）中，M表示至少包含Mg的金屬元素，a、b、c分別是滿足2≤a≤8、1≤b≤3、0.5≤c≤2的數(shù)，m是0以上的整數(shù)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1～8中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體密封用環(huán)氧樹脂組合物，其特征在于，所述環(huán)氧樹脂（A）含有選自下述式（2）表示的環(huán)氧樹脂、下述式（3）表示的環(huán)氧樹脂、以及下述式（4）表示的環(huán)氧樹脂中的至少1種，

式（2）中，Ar¹表示亞苯基或者亞萘基，Ar¹為亞萘基時(shí)，縮水甘油醚基可以鍵合在α位、β位中的任一個(gè)，Ar²表示亞苯基、亞聯(lián)苯基及亞萘基中的任1個(gè)基團(tuán)，R⁵和R⁶各自獨(dú)立地表示碳原子數(shù)為1～10的烴基，g是0～5的整數(shù)，h是0～8的整數(shù)，n³表示聚合度，其平均值是1～3的正數(shù)；

式（3）中，存在多個(gè)的R⁹各自獨(dú)立地表示氫原子或者碳原子數(shù)為1～4的烴基，n⁵表示聚合度，其平均值是0～4的正數(shù)；

式（4）中，存在多個(gè)的R¹⁰和R¹¹各自獨(dú)立地表示氫原子或者碳原子數(shù)為1～4的烴基，n⁶表示聚合度，其平均值是0～4的正數(shù)。

10.根據(jù)權(quán)利要求1～9中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體密封用環(huán)氧樹脂組合物，其特征在于，所述環(huán)氧樹脂組合物含有選自下述式（5）表示的化合物中的至少1種固化劑，

式（5）中，Ar³表示亞苯基或者亞萘基，Ar³為亞萘基時(shí)，羥基可以鍵合在α位、β位中的任一個(gè)，Ar⁴表示亞苯基、亞聯(lián)苯基及亞萘基中的任1個(gè)基團(tuán)，R⁷和R⁸各自獨(dú)立地表示碳原子數(shù)為1～10的烴基，i是0～5的整數(shù)，j是0～8的整數(shù)，n4表示聚合度，其平均值是1～3的正數(shù)。

11.根據(jù)權(quán)利要求1～10中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體密封用環(huán)氧樹脂組合物，其特征在于，所述銅線的銅純度為99.99質(zhì)量%以上。

12.一種固化體，是權(quán)利要求1～11中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體密封用環(huán)氧樹脂組合物的固化體。