[發明專利]用于層壓第一片材和第二片材的設備和方法

有效

• 申請號: 201080053840.4
• 申請日: 2010-11-19
• 公開（公告）號: CN102666099A
• 公開（公告）日: 2012-09-12
• 發明（設計）人: J·范登布蘭德;A·H·迪策爾;S·C·布羅厄斯;M·薩爾明克
• 申請（專利權）人: 荷蘭應用自然科學研究組織TNO
• 主分類號: B32B38/18
• 分類號: B32B38/18;H01L51/00;H01K13/00;B65H37/04
• 代理公司: 北京派特恩知識產權代理事務所(普通合伙) 11270
• 代理人: 張穎玲;孟桂超

1.一種用于層壓第一片材(1)和第二片材(2)的設備，所述第一片材(1)和第二片材(2)各自皆具有第一對準標記和第二對準標記，所述設備包括：

-平面運載器(10)，具有在第一平面內延伸、用于運載所述第一片材(1)的第一運載器表面(12)；

-第二運載器表面(22)，由圓柱輥筒形運載器(20)的外表面形成并用于運載所述第二片材(2)，所述輥筒形運載器(20)具有旋轉軸(24)，所述旋轉軸(24)沿與所述第一平面對齊的第一方向(X)設置；

-第一平移裝置(14)，用于使所述第一運載器表面在第二方向(Y)上相對于所述旋轉軸進行平移，所述第二方向(Y)與所述第一平面對齊、且垂直于所述第一方向(X)；

-旋轉裝置(26)，用于使所述輥筒形運載器繞所述旋轉軸旋轉；

-第二平移裝置(28)，用于使所述輥筒形運載器(20)在第三方向(Z)上相對于所述第一運載器表面(12)進行平移，所述第三方向(Z)垂直于所述第一平面；

-所述設備具有第一主運行模式和第二主運行模式，其中在所述第一主運行模式下，所述輥筒形運載器(20)在所述第三方向(Z)上與所述第一運載器表面(12)間隔開，其中在所述第二主運行模式下，所述輥筒形運載器(20)靠近第一運載器表面以使所述第一片材(1)和第二片材(2)互相接觸；

-其中，所述第一主運行模式具有第一子模式和第二子模式，其中：在所述第一子模式下，所述輥筒形運載器(20)的所述旋轉軸(24)相對于所述第一運載器表面在所述第二方向(Y)上具有第一位置(y1)，且所述輥筒形運載器具有繞所述旋轉軸(24)的第一旋轉角度(α1)；以及，在所述第二子模式下，所述輥筒形運載器(20)的所述旋轉軸(24)相對于所述第一運載器表面在所述第二方向(Y)上具有第二位置(y2)，且所述輥筒形運載器(20)具有繞所述旋轉軸(24)的第二旋轉角度(α2)，所述第二旋轉角度(α2)不同于所述第一旋轉角度；其中，所述第一位置和所述第二位置之間的相對距離對應于所述輥筒形運載器的角形截面的周長，所述輥筒形運載器的該角形截面的周長由所述旋轉角度的差值來限定；

-對準裝置(16)，用于使所述第一運載器表面(12)在所述第一平面內進行平移和/或轉動，同時使所述輥筒形運載器(20)保持在固定位置；

-感測系統(30)，在所述第一主運行模式的所述第一子模式和所述第二子模式下，所述感測系統(30)分別用于：確定所述第一片材(1)的所述第一對準標記(1a)相對于所述第二片材(2)的所述第一對準標記(2a)的第一相對位置，及確定所述第一片材(1b)的所述第二對準標記相對于所述第二片材(2)的所述第二對準標記(2b)的第二相對位置；

-控制裝置(40)，用于接收所述第一相對位置和所述第二相對位置的指示，且所述控制裝置(40)依據所述指示控制所述對準裝置(16)；

-其中，在所述第一運行模式下，所述控制裝置(40)控制所述對準裝置，以使所述第一片材和所述第二片材的所述第一對準標記互相對準，且使所述第一片材和所述第二片材的所述第二對準標記互相對準；

-其中，在第二主運行模式下，所述控制裝置(40)控制所述平移裝置(14)和所述旋轉裝置(26)，以使所述輥筒形運載器在所述第一運載器表面上進行滾動運動或其等效運動。

2.根據權利要求1所述的設備，其中所述輥筒形運載器(20)的所述旋轉軸(24)具有固定位置；且其中，所述第一平移裝置(14)設置為使所述第一運載器表面(12)在所述第二方向(Y)上進行平移。