[發(fā)明專利]在激光系統(tǒng)中引導(dǎo)激光射束的反射鏡裝置和激光射束的射束引導(dǎo)方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201080053618.4
• 申請日: 2010-11-19
• 公開（公告）號: CN102668276A
• 公開（公告）日: 2012-09-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: J·邁耶;U·威戈內(nèi)爾;馬克西米利安·約瑟夫·萊德勒
• 申請（專利權(quán)）人: 高質(zhì)激光有限公司
• 主分類號: H01S3/11
• 分類號: H01S3/11;G02B17/00;H01S3/07;H01S3/081;H01S3/0941
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 黨曉林;王小東

1.一種用于在激光系統(tǒng)中引導(dǎo)激光射束的反射鏡裝置，所述激光系統(tǒng)尤其是用于產(chǎn)生毫微微秒脈沖或微微秒脈沖的激光系統(tǒng)，所述反射鏡裝置至少包括：

●第一端面反射鏡(1、7)，

●具有凹面的第二端面反射鏡(2、9)，

其中，

-該第一和第二端面反射鏡(1、2、7、9)構(gòu)成諧振器，所述諧振器具有連接這些端面反射鏡(1、2、7、9)的光學(xué)諧振器軸線(OA)，

-激光射束作為輸入激光射束(ES)被引入該諧振器并且分別在該第一和第二端面反射鏡(1、2、7、9)上多次反射后作為輸出激光射束(AS)又從該諧振器被引出，并且

-在該第一和第二端面反射鏡(1、2、7、9)上的反射順序確定了相對于作為轉(zhuǎn)動軸線的諧振器軸線(OA)所限定的、在該諧振器內(nèi)在該第一和第二端面反射鏡之間的轉(zhuǎn)動方向，由此限定出第一光路，

其特征在于，

如此構(gòu)成該諧振器，即，該轉(zhuǎn)動方向在反向點(diǎn)處掉轉(zhuǎn)，并且該激光射束至少部分以與該第一光路相反的轉(zhuǎn)動方向經(jīng)過該諧振器，由此限定出第二光路。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反射鏡裝置，其特征在于，該諧振器以Herriott單元的形式構(gòu)成。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的反射鏡裝置，其特征在于，該第一和第二光路在空間上是分開的。

4.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的反射鏡裝置，其特征在于，該第一和第二光路構(gòu)成閉合的、自身重復(fù)的共同光路。

5.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的反射鏡裝置，其特征在于入射反射鏡(4)，該入射反射鏡(4)設(shè)置在該第一和/或第二端面反射鏡(1、2、7、9)的上游。

6.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的反射鏡裝置，其特征在于，設(shè)有用于產(chǎn)生所述反向點(diǎn)的反轉(zhuǎn)反射鏡(5)，其中在經(jīng)過該第一光路后，在該反轉(zhuǎn)反射鏡上實現(xiàn)改變轉(zhuǎn)動方向的反射。

7.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的反射鏡裝置，其特征在于，該第一和第二光路分別在該第一和第二端面反射鏡(1、2、7、9)上具有數(shù)量相同的反射點(diǎn)，尤其是3、4或5個反射點(diǎn)。

8.根據(jù)權(quán)利要求6和7所述的反射鏡裝置，其特征在于，通過在反轉(zhuǎn)反射鏡(5)上的反射，該第一和第二光路的在該第一和第二端面反射鏡(1、2、7、9)上的反射點(diǎn)的位置是相互錯開的，尤其是圍繞諧振器軸線(OA)旋轉(zhuǎn)的。

9.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的反射鏡裝置，其特征在于聚焦反射鏡(3)，所述聚焦反射鏡(3)用于輸入激光射束(ES)和/或輸出激光射束(AS)，尤其是在這里，該聚焦反射鏡(3)的光軸位于包含光學(xué)諧振器軸線(OA)的平面內(nèi)。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的反射鏡裝置，其特征在于，如此設(shè)置該聚焦反射鏡(3)，即，針對該輸出激光射束(AS)，在經(jīng)過第二光路后，該聚焦反射鏡造成與該諧振器軸線(OA)平行的射束錯移。

11.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的反射鏡裝置，其特征在于，該諧振器具有至少一個折射鏡(8)，該折射鏡(8)共同地折射該第一和第二光路。

12.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的反射鏡裝置，其特征在于，該諧振器具有至少一個分隔反射鏡(6)，所述分隔反射鏡(6)用于分開輸入激光射束(ES)和輸出激光射束(AS)。

13.一種用于產(chǎn)生或放大毫微微秒脈沖或者微微秒脈沖的激光系統(tǒng)，其具有根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的反射鏡裝置。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的激光系統(tǒng)，其特征在于：

-用于產(chǎn)生模式耦合的可飽和的吸收反射鏡，

-脈沖出射部件，尤其是電光調(diào)制器，

-激光器介質(zhì)，尤其是由Nd:YVC>4制成，

-用于抽運(yùn)激光器介質(zhì)的激光二極管源。

15.一種在激光系統(tǒng)內(nèi)用于激光射束的射束引導(dǎo)方法，所述激光系統(tǒng)尤其是用于產(chǎn)生毫微微秒脈沖或微微秒脈沖的激光系統(tǒng)，所述激光系統(tǒng)至少包括：

●第一端面反射鏡(1、7)，

●具有凹面的第二端面反射鏡(2、9)，

其中，

-該第一和第二端面反射鏡(1、2、7、9)形成了具有連接所述端面反射鏡(1、2、7、9)的光學(xué)諧振器軸線(OA)的諧振器，

所述射束引導(dǎo)方法包括：

-引導(dǎo)作為輸入激光射束(ES)的激光射束進(jìn)入該諧振器，

-分別在該第一和第二端面反射鏡(1、2、7、9)上經(jīng)多次反射后，使該激光射束作為輸出激光射束(AS)出射，

其中，在該第一和第二端面反射鏡(1、2、7、9)上的反射順序確定了相對于作為轉(zhuǎn)動軸線的該諧振器軸線(OA)所限定的、在該諧振器內(nèi)在該第一和第二端面反射鏡之間的轉(zhuǎn)動方向，由此限定出第一光路，從而射束按照相對于作為轉(zhuǎn)動軸線的諧振器軸線(OA)所限定的轉(zhuǎn)動方向在該諧振器內(nèi)在第一和第二端面反射鏡之間往復(fù)運(yùn)動，

其特征在于，

該轉(zhuǎn)動方向在反向點(diǎn)掉轉(zhuǎn)并且該激光射束至少部分以與該第一光路相反的轉(zhuǎn)動方向經(jīng)過該諧振器，由此限定出第二光路。