[發明專利]臭氧氣體供給系統

有效

• 申請號: 201080053598.0
• 申請日: 2010-09-06
• 公開（公告）號: CN102666372A
• 公開（公告）日: 2012-09-12
• 發明（設計）人: 中村紀幸;沖原雄二郎;西津徹哉;四元初男;田畑要一郎;伊藤信之
• 申請（專利權）人: 東芝三菱電機產業系統株式會社
• 主分類號: C01B13/11
• 分類號: C01B13/11
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 胡曉萍

1.一種臭氧氣體供給系統(10)，對氣體流量、濃度進行控制，以將臭氧氣體分別供給至多個臭氧處理裝置，其特征在于，

包括多個臭氧發生單元(7-1～7-n)，

所述多個臭氧發生單元包括：

臭氧發生器(1)，該臭氧發生器(1)產生臭氧氣體；

臭氧電源(2)，該臭氧電源(2)對供給至所述臭氧發生器的電力進行控制；

質量流量控制器(MFC)(3)，該質量流量控制器(3)對輸入至所述臭氧發生器的原料氣體流量(Q)進行控制；

自動壓力控制器(APC)(4)，該自動壓力控制器(4)對所述臭氧發生器內的壓力即內部壓力進行自動控制；

臭氧濃度計(5)，該臭氧濃度計(5)對所述臭氧發生器輸出的臭氧氣體的臭氧濃度值進行檢測；以及

臭氧控制部(19)，該臭氧控制部(19)以規定的設定電力量(Ws)使所述臭氧電源驅動來作為初始動作，在經過規定時間之后，基于由所述臭氧濃度計檢測出的臭氧濃度(C)與設定的臭氧濃度(Cs)的比較，對所述臭氧電源所供給的電力進行PID控制，

所述臭氧氣體供給系統還包括：

臭氧氣體輸出流量管理單元(9)，該臭氧氣體輸出流量管理單元(9)接收來自所述多個臭氧發生單元內的多個所述臭氧發生器的多個臭氧氣體輸出，并通過設于內部的多個臭氧氣體控制閥(9a、9b、9c、9bc、9ab、9ca)的開閉動作，從而能執行將所述多個臭氧氣體輸出的一個或多個的組合選擇地輸出至所述多個臭氧處理裝置中的任意的臭氧處理裝置的臭氧氣體輸出流量控制；以及

臭氧氣體輸出流量管理單元控制部(8)，該臭氧氣體輸出流量管理單元控制部(8)基于來自所述多個臭氧處理裝置的處理臭氧氣體事件信號(16)，對所述多個臭氧發生單元各自的所述臭氧氣體的輸出情況進行控制，并對所述臭氧氣體輸出流量管理單元進行所述臭氧氣體輸出流量控制。

2.如權利要求1所述的臭氧氣體供給系統，其特征在于，

還包括至少一個水分除去過濾器(59(59―1～59―n)，所述至少一個水分除去過濾器(59)除去從規定的原料氣體供給口(14)供給來的所述原料氣體中含有的水分，并將其供給至所述多個臭氧發生單元中的各臭氧發生單元。

3.如權利要求2所述的臭氧氣體供給系統，其特征在于，

經過所述至少一個水分除去過濾器之前的所述原料氣體包括具有1000PPB以上的水分的原料氣體，

所述至少一個水分除去過濾器具有將所述原料氣體內的水分降低至300PPB以下的水分除去能力。

4.如權利要求1所述的臭氧氣體供給系統，其特征在于，

還包括至少一個原料氣體用氣體過濾器(52(52―1～52―n)，所述至少一個原料氣體用氣體過濾器(52)除去從規定的原料氣體供給口(14)供給來的所述原料氣體中含有的雜質氣體，并將其供給至所述多個臭氧發生單元中的各臭氧發生單元。

5.如權利要求1所述的臭氧氣體供給系統，其特征在于，

所述多個臭氧氣體控制閥包括能通過電氣或空氣壓力進行打開、關閉的電動閥或空壓閥，

所述臭氧氣體輸出流量管理單元控制部輸出所述控制信號，以使供給至所述多個臭氧處理裝置中的各臭氧處理裝置的臭氧流量、臭氧濃度達到所希望的值。

6.如權利要求1至5中任一項所述的臭氧氣體供給系統，其特征在于，

所述多個臭氧發生單元分別具有將所述臭氧發生器、所述臭氧電源、所述MFC、所述APC、所述臭氧濃度計集成為一個，并封裝成一個單位的結構。

7.如權利要求1至5中任一項所述的臭氧氣體供給系統，其特征在于，

所述臭氧氣體輸出流量管理單元控制部具有安全停止功能(6、23、24、81、82、84)，

在所述多個臭氧發生單元中的任一個中檢測出緊急停止、漏水的情況下，所述安全停止功能(6、23、24、81、82、84)使對應的所述臭氧發生單元停止，

在系統整體上檢測出排氣異常、臭氧泄露異常時，所述安全停止功能(6、23、24、81、82、84)使多個臭氧發生單元全部停止。

8.一種臭氧氣體供給系統(10)，對氣體流量、濃度進行控制，以將臭氧氣體供給至多個臭氧處理裝置中的各臭氧處理裝置，其特征在于，

包括多個臭氧發生單元(7-1～7-n)，

所述多個臭氧發生單元包括：

臭氧發生器(1)，該臭氧發生器(1)產生臭氧氣體；

臭氧電源(2)，該臭氧電源(2)對供給至所述臭氧發生器的電力進行控制；

質量流量控制器(MFC)(3)，該質量流量控制器(3)對從所述臭氧發生器輸出的原料氣體流量(Q)進行控制；

自動壓力控制器(APC)(4)，該自動壓力控制器(4)對所述臭氧發生器內的壓力即內部壓力進行自動控制；

臭氧濃度計(5)，該臭氧濃度計(5)對所述臭氧發生器輸出的臭氧氣體的臭氧濃度值進行檢測；以及

臭氧控制部(19)，該臭氧控制部(19)以規定的設定電力量(Ws)使所述臭氧電源驅動來作為初始動作，在經過規定時間之后，基于由所述臭氧濃度計檢測出的臭氧濃度(C)與設定的臭氧濃度(Cs)的比較，對所述臭氧電源所供給的電力進行PID控制，

所述臭氧氣體供給系統還包括：

臭氧氣體輸出流量管理單元(9)，該臭氧氣體輸出流量管理單元(9)接收來自所述多個臭氧發生單元內的多個所述臭氧發生器的多個臭氧氣體輸出，并通過設于內部的多個臭氧氣體控制閥(9a、9b、9c、9bc、9ab、9ca)的開閉動作，從而能執行將所述多個臭氧氣體輸出的一個或多個的組合選擇地輸出至所述多個臭氧處理裝置中的任意的臭氧處理裝置的臭氧氣體輸出流量控制；以及

臭氧氣體輸出流量管理單元控制部(8)，該臭氧氣體輸出流量管理單元控制部(8)基于來自所述多個臭氧處理裝置的處理臭氧氣體事件信號(16)，對所述多個臭氧發生單元各自的所述臭氧氣體的輸出情況進行控制，并對所述臭氧氣體輸出流量管理單元進行所述臭氧氣體輸出流量控制。