[發明專利]檢測鏡面的校正方法

無效

• 申請號: 201080052714.7
• 申請日: 2010-09-08
• 公開（公告）號: CN102695972A
• 公開（公告）日: 2012-09-26
• 發明（設計）人: 雷米·布爾瓜斯;伊曼紐爾·卡尼斯
• 申請（專利權）人: 薩基姆防務安全公司
• 主分類號: G02B5/10
• 分類號: G02B5/10;G02B5/32;G01B11/24;G01M11/00
• 代理公司: 上海天協和誠知識產權代理事務所 31216
• 代理人: 童錫君

1.一種校正方法，其使用光學檢測工具檢測鏡面(100)，所述檢測工具包括：

-第一支架(1)，設計用于在相對于檢測工具的確定位置保持鏡面(100)；

-包括數字全息圖像(3)的光學補償器，所述數字全息圖像的有用部分(30)包括根據鏡面(100)目標表面計算的圖像；

-第二支架(2)，設計用在圖像獲取時間過程中保持光學補償器(3)，此外第二支架還設計用于沿著檢測工具的橫向(X-X，Y-Y)側向地平移所述光學補償器，并且所述光學補償器圍繞所述檢測工具的縱軸(Z-Z)旋轉；

-光源(4)，設計用于當獲得圖像時產生光束(F0)，并且布置成通過平行于縱軸(Z-Z)的光學補償器的數字全息圖像(3)照亮鏡面(100)的反射表面(S₁₀₀)；

-光學系統(5)，設計用于產生干涉，該干涉在由光源產生的光束(F0)的參考部分(F1)和由鏡面(100)通過光學補償器的數字全息圖像(3)反射的所述光束的部分(F2)之間；以及

-圖像錄制系統(6)，當獲取到各個圖像時，用于獲得由干涉所產生的光強度的分布，并且疊加在由所述鏡面反射的光束的部分(F2)形成的鏡面(100)的圖像上，

所述方法其特征在于，

-當由圖像錄制系統(6)獲取一個確定的照片時，光源(4)僅照亮鏡面(100)的反射表面(S₁₀₀)的一部分(S₁₀)，所述照亮的表面部分小于鏡面的整個反射表面；

-第一支架(1)的裝備有至少一個反射校正特征(11)；以及

-光學補償器的數字全息圖像(3)還包括至少兩個位于所述數字全息圖像有用部分(30)的兩個第一邊上的第一附加圖案(31，32)，每個第一附加圖案設計用于產生光學透鏡效果，以使通過所述第一附加圖案(31，32)的朝向校正特征(11)的校正光束(FA)以不同的方法反射，按照所述第一附加圖案相對于校正特征的橫向移動(d)而變；

并且其特征在于，所述方法包括下述步驟順序，允許多次重復執行：

/1/引導校正光束(FA)通過一個第一附加圖案(31)，并且檢測由校正特征(11)反射的校正光束，通過相對于第一支架(1)來橫向平移第二支架(2)，以相對于第一支架的校正特征對齊數字全息圖像(3)的所述第一附加圖案平行于所述縱軸(Z-Z)；

/2/再次，側向地平移第二支架(2)至一個合適的平移向量，并且不旋轉所述第二支架，使得通過數字全息圖像(3)的第一附加圖案的另一圖案(32)的校正光束(FA)再一次被反射，由第一支架(1)的相同校正特征(11)以對齊方式反射，介于所述校正特征和所述與縱軸(Z-Z)平行的另一個第一圖案之間；

/3/根據在步驟/2/中執行的第二支架(2)平移的向量的分量，在一個和另一個的檢測工具的各個橫向(X-X，Y-Y)中，確定所述橫向方向之一和由第一附加圖案設置的數字全息圖像的有用區域(30)的參考方向(A-A)之間的角度分隔；然后，

/4/根據步驟/3/中確定的角度分隔，第二支架(2)繞著縱軸(Z-Z)旋轉，以設置數字全息圖像(3)的有用區域(30)的參考方向(A-A)平行于鏡面(100)的參考方向(B-B)。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，光學補償器的數字全息圖像(3)還包括另一個第一附加圖案(32a)，設置在不同于第一個兩邊的所述數字全息圖像的有用部分(30)的另一條邊上，所述另一個第一附加圖像還可以設計為產生光學透鏡效果，使得通過所述另一個第一附加圖案(32a)的朝向校正特征(11)的校正光束(FA)以不同的方法進行反射，根據相對于校正特征的所述另一個第一附加圖案的橫向移動(d)而變，

對一個所述第一附加圖案(31)且對所述另一個第一附加圖案(32a)重復執行步驟/1/至/3/，使得在步驟/3/中確定的另一個角度分隔形成了檢測工具兩個橫向(X-X，Y-Y)之間角度的測量。

3.根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于，還包括用于獲取圖像的若干個步驟，兩個連續圖像由用于相對于鏡面(100)平移光學補償器的中間步驟進行分隔。