[發明專利]利用定量質量系統的不同成分氣體絕對量測定系統

無效

• 申請號: 201080052510.3
• 申請日: 2010-11-25
• 公開（公告）號: CN102648410A
• 公開（公告）日: 2012-08-22
• 發明（設計）人: 尹錫來;趙誠權;樸原泳;李圭璨;金辰錫;李震馥;文東民;金光燮
• 申請（專利權）人: 有限公司益愛兒;韓國標準科學研究院
• 主分類號: G01N33/00
• 分類號: G01N33/00;G01N1/22
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

技術領域

本發明涉及一種利用定量質量系統的不同成分氣體絕對量測定系統，更詳細地，涉及一種僅以通過針孔流入的微量氣體不僅能夠進行正確的定性分析，還能進行定量分析的利用定量質量系統的不同成分氣體絕對量測定系統。

背景技術

氣體分析的基本原理是在PV＝nRT(P＝壓力，V＝體積，n＝摩爾(mole)數，R＝氣體常數，T＝絕對溫度)中其他條件恒定時，P與n成正比，且各成分的P可視為部分壓或者其成分的摩爾分率。

因此，通過利用標準物質的實驗，設定各成分固有的靈敏度(sensitivity)，并利用該靈敏度測定試樣的內部的氣體，從而導出各成分的定性分析結果。

產生包含氣體的產品的不良時，利用如上所述的原理難以掌握生產工序中在哪個部分出現了問題。

因此，只有利用客觀的氣體分析結果，掌握正確的不良原因，執行對此的適當的修正，才可取得生產性的提高。

為了掌握如上所述的不良原因，即使想要使用氣體分析，利用現有的氣相色譜法(GC：Gas?Chromatography)的氣體分析設備和方法在沒有對于氣體的成分物質和部分壓的預先信息時，為了掌握氣體的內容物，有必要進行繼續的反復實驗，并據此需要長時間的實驗期間和多量的氣體樣品。

并且，在氣體樣品的內容物非常復雜時，有時還發生不能導出分析結果的情況。

因此，為了克服上述現有的GC分析的問題，美國國家標準與技術研究院(NIST，National?Institute?of?Standards?and?Technology)提供譜(Spectrum)數據22萬個的樣品，將分析結果與譜數據相互比較·對照，以便能夠進行分析，但是即使執行這樣的過程也難以創新地減少分析時所需的期間。

并且，利用現有的傅氏轉換紅外線光譜分析儀(FTIR，Fourier?transformation?infrared?spectroscopy)的氣體分析設備和方法，對于多原子分子導出了正確的實驗結果，但是單元子分子的情況具有不能執行分析的致命性缺點。

發明內容

發明要解決的技術問題

因此，本發明是考慮到如上所述的現有技術的問題而提出的，本發明的目的在于，通過定量質量系統，僅以通過針孔流入的微量氣體不僅能夠進行正確的定性分析，而且還能進行定量分析。

本發明的再一目的在于，通過更加簡便的分析過程，借助一回的取樣(sampling)可反復測定數回的同一試樣，由此可顯著地縮短分析期間，且可導出不準確度低的定量性分析結果。

解決技術問題的技術手段

為了達成本發明所要解決的目的，作為本發明的利用定量質量系統的不同成分氣體絕對量測定系統包括：主腔室100，其儲存通過針孔流入的試樣氣體；定量質量系統200，其用于測定儲存于主腔室的試樣氣體的不同成分分壓；電離壓力計400，其與主腔室相連接，實時測定主腔室的真空度；渦輪泵泵站800，其用于排出借助上述定量質量系統測定后儲存于主腔室的試樣氣體；針孔700，其使試樣氣體以分子流(molecular?flow)狀態輸入到定量質量系統；第一閥1000，其設置于連接上述針孔與分子腔室的管道而構成；質量流量計500，其與分子腔室相連接，并測定分子腔室的內部的絕對變化壓力；分子腔室300，其儲存經過第三閥及第二閥輸入的試樣氣體；第二閥1100及第三閥1200，其為了形成可以將試樣氣體少量地向分子腔室進行細分的物理空間而設置并構成；第四閥1300，其與上述分子腔室相連接，用于將儲存于分子腔室的試樣氣體向第二渦輪泵傳遞；第二渦輪泵810，其用于排出在測定結束后殘留于上述分子腔室的殘余試樣氣體；旋轉式泵900，其用于迅速處理儲存于試樣室600的試樣氣體。從此解決本發明的問題。

有益效果

具備以上的結構及作用的本發明的利用定量質量系統的不同成分氣體絕對量測定系統，通過定量質量系統，僅以通過針孔流入的微量氣體不僅能夠進行正確的定性分析，而且還能進行定量分析，從此掌握產品或制造工序的不良原因來提高產品的生產性，并有效地進行生產管理，從而提供用于提高產業競爭力的效果。

并且，通過更加簡便的分析過程，借助一回的取樣(sampling)可以反復測定數回的同一試樣，從而顯著地縮短分析期間，并能夠導出優質的分析結果。

附圖說明

圖1是表示本發明的一實施例的利用定量質量系統的不同成分氣體絕對量測定系統的簡圖。

圖2是表示本發明的一實施例的利用定量質量系統的不同成分氣體絕對量測定系統的測定方法的工序流程圖。