[發明專利]用于能源節約的控制接口解決方案

有效

• 申請號: 201080051956.4
• 申請日: 2010-11-16
• 公開（公告）號: CN102667644A
• 公開（公告）日: 2012-09-12
• 發明（設計）人: 優瑟夫·A·羅勒迪;馬克西米·凱耶爾;托尼·唐;米羅斯拉夫·蓋洛
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: G05B11/48
• 分類號: G05B11/48;G05B19/418
• 代理公司: 北京東方億思知識產權代理有限責任公司 11258
• 代理人: 柳春雷

技術領域

本發明涉及電子裝置的制造，更具體地，涉及用于增加電子裝置制造系統的效率的系統和方法。

背景技術

電子裝置制造設施或“半導體代工廠(fab)”一般使用執行生產電子裝置的制造處理的處理工具。這些處理包括物理氣相沉積、化學氣相沉積、蝕刻、清潔和其它電子裝置制造處理。應理解，本發明并不限于任何特定電子裝置制造處理。半導體代工廠一般在一層布置有清潔室，并且在較低的一層布置有包括輔助系統和裝置的室(在本文中稱為“輔助生產層(sub-fab)”)，輔助系統和裝置支持清潔室。為了方便于參照，術語“輔助系統”和“輔助裝置”可以在本文中可交換地使用以描述輔助生產層系統和/或裝置。輔助生產層的一個重要功能是減少有毒、可燃、或其它潛在有害的物質，這些物質是電子裝置制造處理的常見副產品。輔助生產層通常使用大量的能量并產生大量的廢熱，這會具有不利的環境影響和對半導體代工廠經營者來說是非常昂貴的。

因此，發明人提供使用較少能量、具有其它優點、而不會負面地影響半導體代工廠的生產的改善的輔助生產層控制。

發明內容

本發明提供用于電子裝置制造系統的增強控制的方法和裝置。在一些實施例中，集成輔助生產層系統可以經由裝置的開放平臺而使用以太網和/或RS232串行通信，以在電子裝置制造期間實現減少的碳足跡。對于本示例，系統可以包括處理工具集和控制器，處理工具集和控制器由傳感器或軟件連接而與可以在一個或多個能量消耗狀態下操作的一個或多個輔助生產層或本地工廠輔助系統進行互連。根據處理的需要，這些一個或多個輔助系統可以經由控制器在能量消耗的不同等級之間切換。集成輔助生產層系統還可以實時地測量和列表顯示每個組件消耗的能量，或者根據需要進行報告。對于許多輔助組件或系統而言，集成輔助生產層利用現有的信號輸出，對其輔助組件或系統而言，集成輔助生產層可以利用次級傳感器或監視器。

在一些實施例中，用于為功率受管理的輔助生產層提供故障安全通信標準的裝置可以包括輔助生產層，輔助生產層配置成：基于從控制器接收的一個或多個命令而在功率受管理狀態下操作；從控制器接收心跳信號；和響應于對于規定的超時間隔沒有接收到心跳信號，退出功率受管理狀態并進入全功率操作狀態。

在一些實施例中，用于為功率受管理的輔助生產層提供故障安全通信標準的系統可以包括控制器和輔助生產層，控制器配置成：將一個或多個指令發送至輔助生產層以將輔助生產層配置成在一個或多個功率受管理狀態下操作、和將心跳信號發送至輔助生產層以表示出輔助生產層仍然與控制器進行通信，并且輔助生產層配置成：受到控制器的配置而在一個或多個功率受管理狀態下操作、從控制器接收心跳信號、和響應于沒有在規定的超時間隔內接收到心跳信號而在全功率操作狀態下操作。

在一些實施例中，用于為功率受管理的輔助生產層提供故障安全通信標準的方法包括以下步驟：在功率受管理狀態下操作輔助生產層；確定在規定的超時間隔內是否接收到心跳信號；和響應于沒有在規定的超時間隔內接收到心跳信號，在全功率操作狀態下操作輔助生產層。

本發明的其它和進一步的實施例將于下文描述。

附圖說明

本發明的實施例已在上文中簡短概述并將在下文中詳細描述，通過參照附圖中示出的本發明的示例性實施例可以理解本發明的實施例。但是應當注意，附圖僅示出本發明的典型實施例，因此不應當認為是對本發明范圍的限制，因為本發明可以容許有其它等效的實施例。

圖1是根據本發明的一些實施例的用于操作電子裝置制造系統輔助生產層的系統的示意圖。

圖2是根據本發明的一些實施例的使用于電子裝置制造系統中的集成輔助生產層系統的示意圖。

圖3是根據本發明的一些實施例的用于操作和配置一個或多個制造系統輔助生產層的控制器的框圖。

圖4是根據本發明的一些實施例的從輔助生產層前端控制器到輔助生產層制造子系統的心跳信號的框圖。

圖5是描述用于實施在制造系統輔助生產層上的故障安全通信標準的方法的流程圖。

為了便于了解，盡可能地使用相同的附圖標記來標明共同出現在各圖式中的相同的組件。附圖并未按比例繪制并且為清晰起見可被簡化。需考慮一個實施例的組件和特征可以有益地結合于其它實施例中，而不需要進一步詳述。

具體實施方式

本發明的實施例為輔助生產層提供改進的控制系統，該控制系統可有利地減低電子裝置制造系統的能源使用和操作成本。