[發明專利]能源節約和全球氣體排放監測

有效

• 申請號: 201080051805.9
• 申請日: 2010-11-16
• 公開（公告）號: CN102667643A
• 公開（公告）日: 2012-09-12
• 發明（設計）人: 優瑟夫·A·羅勒迪;馬克西米·凱耶爾;杰伊·J·俊;肖恩·柯若弗德;達娜·特里布拉;丹尼爾·O·克拉克
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: G05B11/48
• 分類號: G05B11/48;G05B19/418
• 代理公司: 北京東方億思知識產權代理有限責任公司 11258
• 代理人: 柳春雷

1.一種用于提供半導體制造工具的能源使用統計的設備，所述設備包括：

控制器，所述控制器：

確定一個或多個制造系統輔助生產層的一組能源使用測量；以及

報告所述一組能源使用測量。

2.根據權利要求1所述的設備，其中，所述控制器還構造成通過對所述一組能源使用測量與基線組能源使用測量進行比較來計算并報告能源節約。

3.根據權利要求1所述的設備，其中，所述能源使用測量代表所述一個或多個制造系統輔助生產層在低功率配置中的能源消耗。

4.根據權利要求1至3中任一權利要求所述的設備，其中，所述控制器是輔助生產層前端控制器。

5.根據權利要求1至3中任一權利要求所述的設備，其中，針對瞬時時間(instantaneous?time)、時間幀、或所述制造工具的使用壽命當中的至少一者來報告所述能源使用測量。

6.根據權利要求1至3中任一權利要求所述的設備，還包括用于顯示所述一組能源使用測量的顯示裝置。

7.根據權利要求1至3中任一權利要求所述的設備，其中，所述控制器還構造成向遠程服務器報告所述一組能源使用測量。

8.根據權利要求7所述的設備，其中，所述遠程服務器根據預定排放測量標準來提供排放追蹤和報告。

9.一種用于提供半導體制造工具的能源使用統計的系統，所述系統包括：

一個或多個控制器，所述一個或多個控制器：

確定一個或多個制造系統輔助生產層的一組能源使用測量；以及

向遠程服務器報告所述一組能源使用測量；以及

其中，所述遠程服務器對來自所述一個或多個控制器的所述能源使用測量進行聚合(aggregate)并提供經聚合的能源使用報告。

10.一種用于提供半導體制造工具的能源使用統計的方法，所述方法包括以下步驟：

確定耦合至控制器的一個或多個制造系統輔助生產層的一組能源使用測量；以及

報告所述能源使用測量。

11.根據權利要求10所述的方法，還包括以下步驟：

通過對所述一組能源使用測量和基線組能源使用測量進行比較，來計算能源節約；以及

報告所述能源節約。

12.根據權利要求10或11所述的方法，還包括至少一個以下步驟：

其中，所述能源使用測量代表所述一個或多個制造系統輔助生產層在低功率配置中的能源消耗；或

其中，針對瞬時時間、時間幀、或所述制造工具的使用壽命當中的至少一者來報告所述能源使用測量。

13.根據權利要求10或11所述的方法，還包括以下步驟：顯示所述一組能源使用測量。

14.根據權利要求10或11所述的方法，其中，向遠程服務器報告所述一組能源使用測量。

15.根據權利要求10或11所述的方法，其中，所述報告所述能源使用測量的步驟還包括以下步驟：以與預定排放測量標準一致的格式，來報告所述一組能源使用測量。