[發明專利]制造至少一變形膜微泵的方法及變形膜微泵

有效

• 申請號: 201080051330.3
• 申請日: 2010-11-12
• 公開（公告）號: CN102782324A
• 公開（公告）日: 2012-11-14
• 發明（設計）人: 伊夫·法布里斯;弗朗索瓦·貝厄羅斯;馬丁·切特;桑德琳·毛貝特
• 申請（專利權）人: 法國原子能與替代能委員會
• 主分類號: F04B43/04
• 分類號: F04B43/04;B81B1/00
• 代理公司: 深圳中一專利商標事務所 44237
• 代理人: 張全文

1.一種制造至少一變形膜微泵的方法，所述變形膜微泵包含一第一襯底（10）及一與第一襯底（10）相互組裝在一起的第二襯底（20），所述第一襯底（10）包含至少一孔穴（12-2）及所述第二襯底包含面對所述孔穴（12-2）設置的至少一變形膜（22-2），所述第一襯底（10）及所述第二襯底（20）是一起界定一微通道的一部分，其中所述孔穴（12-2）及所述變形膜（22-2）位于所述微通道，

所述方法包含下列步驟：

在所述第一襯底（10）內制造所述孔穴（12-2）；

然后在所述第二襯底（20）制造所述變形膜（22-2）；以及

將所述第一襯底（10）以及所述第二襯底（20）組裝在一起；

其特征在于，制造所述變形膜的步驟在組裝所述第一襯底以及所述第二襯底的步驟之后完成。

2.如權利要求1所述的制造至少一變形膜微泵的方法，其特征在于，所述第二襯底（20）還包含一頂面（21S）及一底面（21I），所述第二襯底（20）在所述第二襯底（20）的底面與所述第一襯底（10）組裝，制造所述變形膜（22-2）的步驟是通過從所述頂面（21S）對所述第二襯底（20）進行一剪薄，所述剪薄是通過機械拋光、化學機械拋光或蝕刻進行的。

3.如權利要求1或2所述的制造至少一變形膜微泵的方法，其特征在于，組裝步驟是通過分子接合、陽極化、共晶接合或粘合進行的。

4.如權利要求1到3任一項所述的制造至少一變形膜微泵的方法，其特征在于，所述第一襯底（10）還包含一與所述孔穴（12-2）相連通的管路（14；15），一后續剪薄步驟通過蝕刻由所述底面（11I）制造的所述第一襯底（10）的至少一部分，以使所述管路（14；15）為一貫穿管路。

5.如權利要求4所述的制造至少一變形膜微泵的方法，其特征在于，組裝步驟為在一真空環境完成。

6.如權利要求1到5任一項所述的制造至少一變形膜微泵的方法，其特征在于，在制造所述變形膜的步驟之后，所述第二襯底（20）在其整個表面具有一基本上水平的頂面（21S）。

7.如權利要求6所述的制造至少一變形膜微泵的方法，其特征在于，一后續沉積步驟、一后續光刻步驟及一后續蝕刻步驟在所述第二襯底的頂面（21S）上完成。

8.一種變形膜微泵，所述變形膜微泵包含一第一襯底（10）及一與所述第一襯底（10）相互組裝的第二襯底（20），所述第一襯底（10）包含至少一孔穴（12-2）及所述第二襯底（20）包含面對所述孔穴（12-2）設置的至少一變形膜（22-2），所述第一襯底（10）及所述第二襯底（20）是一起界定一微通道的一部分，其中所述孔穴（12-2）及所述變形膜（22-2）位于所述微通道，其特征在于，所述第二襯底（20）具有一沿著所述微通道的一部分的基本上不變的厚度。

9.如權利要求8所述的變形膜微泵，其特征在于，所述第二襯底（20）還包含一頂面（21S）及一底面（21I），所述第二襯底（20）于所述第二襯底（20）的底面（21I）組裝所述第一襯底（10），所述第二襯底（20）在其整個表面具有一基本上水平的頂面（21S）。

10.如權利要求8或9所述的變形膜微泵，其特征在于，所述變形膜（22-2）具有一小于或等于300微米的厚度。

11.如權利要求8到10任一項所述的變形膜微泵，其特征在于，所述第一襯底（10）及所述第二襯底（20）優選地由硅、硅基絕緣體或玻璃制造。

12.如權利要求8到11任一項所述的變形膜微泵，其特征在于，所述第一襯底（10）包含至少一凸座（17），所述凸座（17）設置于所述孔穴（12-2）內并面對所述變形膜（22-2），以形成用于所述變形膜的一支座。