[發明專利]用于真空泵的抗腐蝕軸密封

有效

• 申請號: 201080051166.6
• 申請日: 2010-10-12
• 公開（公告）號: CN102656368A
• 公開（公告）日: 2012-09-05
• 發明（設計）人: P.J.斯蒂芬斯
• 申請（專利權）人: 愛德華茲有限公司
• 主分類號: F04C27/00
• 分類號: F04C27/00
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 董均華;傅永霄

1.?一種用于從處理室泵送氣體的真空泵，所述泵包括：

轉子，所述轉子由驅動軸支撐以便在泵送室中旋轉，所述軸延伸穿過泵送室的橫向于驅動軸延伸的壁中的軸孔；和

設置在軸和橫向壁之間的密封裝置，用于阻止氣體通過軸孔，

其中，在轉子旋轉時，氣體從泵送室入口處的低壓區域泵送到泵送室出口處的高壓區域，以及

其中，所述轉子和橫向壁隔開一軸向間隙，氣體的向后泄漏能夠沿所述軸向間隙從高壓區域流向低壓區域，且形成用于向后泄漏的附加泄漏路徑，所述附加泄漏路徑從密封裝置隔開，氣體能夠沿著所述附加泄漏路徑流動，而不與密封裝置接觸，從而減少在泵的使用期間與密封裝置接觸的氣體量。

2.?根據權利要求1所述的泵，其中，泄漏路徑相對于與密封裝置接觸的氣體流動路徑提供優先流動路徑。

3.?根據權利要求1所述的泵，其中，泄漏路徑在轉子的軸向端表面、橫向壁的軸向端表面、軸孔或軸中的一個或多個內形成。

4.?根據權利要求1所述的泵，其中，泄漏路徑在轉子的軸向端表面或橫向壁的軸向端表面中的一個或兩者中形成，且繞過軸孔。

5.?根據權利要求1所述的泵，其中，泄漏路徑采用至少一個凹槽的形式。

6.?根據權利要求1所述的泵，其中，包括將吹掃氣體輸送通過軸孔且經過密封裝置的機構，用于減少過程氣體與密封裝置接觸。

7.?根據權利要求6所述的泵，其中，吹掃氣體是氮氣。

8.?一種真空泵轉子，用于根據權利要求1所述的真空泵，所述轉子包括轉子孔，用于接收馬達的驅動軸，從而轉子能夠由驅動軸驅動，所述轉子包括圍繞轉子孔的環狀凹槽，用于將過程氣體的向后泄漏引導繞過泵的軸孔，密封裝置位于所述軸孔中，用于減少過程氣體與密封裝置接觸。

9.?一種真空泵軸，用于根據權利要求1所述的真空泵，所述軸包括圍繞其周邊延伸的環狀凹槽，從而當軸在泵送室的一個軸向側上延伸穿過泵的橫向壁中的軸孔時，環狀凹槽位于軸孔中，使得在使用中環狀凹槽形成過程氣體從泵送室的高壓區域到低壓區域的泄漏路徑，所述泄漏路徑將氣體引導遠離位于軸孔中的用于在橫向壁和軸之間密封的密封裝置。

10.?一種橫向壁，用于根據權利要求1所述的真空泵，所述橫向壁位于泵中在泵送室的一個軸向側上，且包括驅動軸能夠延伸通過的軸孔和環狀凹槽，所述環狀凹槽用于形成過程氣體從泵送室的高壓區域到低壓區域的泄漏路徑，所述泄漏路徑將氣體引導遠離位于軸孔中的用于在橫向壁和軸之間密封的密封裝置。

11.?根據權利要求10所述的橫向壁，其中，所述環狀凹槽在其軸向側表面上形成，且沿環狀凹槽通過的過程氣體繞過軸孔。