[發明專利]具有空間濾光片的全息掩模檢查系統

無效

• 申請號: 201080050478.5
• 申請日: 2010-11-12
• 公開（公告）號: CN102597890A
• 公開（公告）日: 2012-07-18
• 發明（設計）人: R·薩拉爾德森;A·鄧鮑夫;E·凱蒂;Y·沙瑪萊;R·雅克布
• 申請（專利權）人: ASML控股股份有限公司
• 主分類號: G03H1/00
• 分類號: G03H1/00;G03H1/08;G01N21/956;G02B27/46;G03F1/00;G03F1/84;G03F7/20
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 吳敬蓮

1.一種全息掩模檢查系統，包括：

照射源，配置成將輻射束照射到掩模的目標部分上；

空間濾光片，布置在光學系統的光瞳平面中，其中所述空間濾光片接收來自所述掩模的目標部分的被反射的輻射束的至少一部分，所述光學系統組合所述被反射的輻射束的所述部分與參考輻射束以產生組合的輻射束；和

圖像傳感器，配置成檢測對應于所述組合的輻射束的圖像。

2.根據權利要求1所述的全息掩模檢查系統，還包括反射鏡，其中所述反射鏡布置成將來自所述照射源的輻射束反射到所述掩模的目標部分上。

3.根據權利要求1所述的全息掩模檢查系統，其中所述空間濾光片配置成對在對應于被反射的輻射束的圖像中的一個或更多的空間頻率分量進行濾波。

4.根據權利要求3所述的全息掩模檢查系統，其中所述空間濾光片包括濾光片圖案，所述濾光片圖案基于由所述掩模的目標部分產生的預定的衍射圖案。

5.根據權利要求1所述的全息掩模檢查系統，其中所述光學系統包括：

物鏡，布置成在接收所述被反射的輻射束的所述部分的所述空間濾光片之前接收所述被反射的輻射束的所述部分；

束組合器，布置成組合來自所述空間濾光片的所述被反射的輻射束的所述部分與所述參考輻射束，以產生所述組合的輻射束，其中所述空間濾光片定位在所述物鏡和所述束組合器之間；和

管透鏡，布置成接收所述組合的輻射束和將所述組合的輻射束引導到所述圖像傳感器的一部分上。

6.根據權利要求1所述的全息掩模檢查系統，其中所述光學系統包括：

反射鏡，布置成將來自所述照射源的輻射束反射到所述掩模的目標部分上；

分束器，布置成朝向所述反射鏡引導所述輻射束和基于所述輻射束產生所述參考輻射束；

物鏡，布置成在接收所述被反射的輻射束的所述部分的所述空間濾光片之前接收所述被反射的輻射束的所述部分；

管透鏡，布置成接收來自所述空間濾光片的所述被反射的輻射束的所述部分，其中所述空間濾光片定位在所述物鏡和所述管透鏡之間；和

束組合器，布置成組合來自所述管透鏡的所述被反射的輻射束的所述部分與所述參考輻射束以產生所述組合的輻射束。

7.根據權利要求1所述的全息掩模檢查系統，其中所述光學系統包括：

物鏡，布置成接收所述輻射束和所述被反射的輻射束的所述部分；

參考反射鏡，布置成接收所述參考輻射束；

分束器和組合器，布置成朝向所述物鏡和所述參考反射鏡引導所述輻射束，和組合所述被反射的輻射束的所述部分與反射遠離所述參考反射鏡的參考輻射束以產生所述組合的輻射束；

中繼透鏡，接收所述組合的輻射束；和

管透鏡，布置成接收來自所述中繼透鏡的組合的輻射束和引導所述組合的輻射束至所述圖像傳感器的一部分，其中所述空間濾光片定位在所述中繼透鏡和所述管透鏡之間。

8.根據權利要求1所述的全息掩模檢查系統，其中所述圖像傳感器包括具有傳感器陣列的硅電荷耦合器件。

9.根據權利要求1所述的全息掩模檢查系統，其中所述圖像包括對應于所述掩模上的一個或更多的掩模缺陷的信息。

10.一種用于全息掩模檢查的方法，包括以下步驟：

將輻射束照射到掩模的目標部分上；

使來自所述掩模的目標部分的被反射的輻射束的至少一部分穿過布置在光學系統的光瞳平面中的空間濾光片；

組合來自所述空間濾光片的所述被反射的輻射束的所述部分與參考輻射束以產生組合的輻射束；和

檢測對應于所述組合的輻射束的圖像。

11.根據權利要求10所述的方法，還包括：

使用反射鏡將來自照射源的所述輻射束反射到所述掩模的目標部分上。

12.根據權利要求10所述的方法，其中使所述被反射的輻射束的所述至少一部分穿過的步驟包括：在對應于所述被反射的輻射束的圖像中對一個或更多的空間頻率分量進行濾波。

13.根據權利要求12所述的方法，其中對一個或更多的空間頻率分量進行濾波的步驟包括：基于由所述掩模的目標部分產生的預定的衍射圖像對一個或更多的空間頻率分量進行濾波。