[發明專利]判斷特別是模塑成型晶圓的碟形工件的變形量的方法與裝置

有效

• 申請號: 201080047274.6
• 申請日: 2010-08-18
• 公開（公告）號: CN102714133A
• 公開（公告）日: 2012-10-03
• 發明（設計）人: 魯弟格·史金德勒
• 申請（專利權）人: ERS電子有限責任公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L21/68
• 代理公司: 上海翼勝專利商標事務所(普通合伙) 31218
• 代理人: 翟羽

1.一種判斷特別是模塑成型晶圓的碟形工件的變形量的方法，其特征在于：所述判斷變形的方法包含步驟：

安裝所述碟形工件(3)的一內部區域(IB)至一第一安裝位置內的一安裝單元(5、5a、15a-c；5、5a、15d)上；

判斷所述碟形工件(3)的一中心軸(M’)與在第一安裝位置內的安裝單元(5、5a、15a-c；5、5a、15d)的一中心軸(M)之間的偏心量(δ)；存放所述碟形工件(3)至一存放單元(3a、3b、3c)上；

基于所判斷的偏心量(δ)重新安裝所述碟形工件(3)的內部區域(IB)至在一第二安裝位置內的安裝單元(5、5a、15a-c；5、5a、15d)上，其中在第二安裝位置的偏心量(δ)大約為零；

移動所述安裝單元(5、5a、15a-c；5、5a、15d)至一預定的高度位置(Z0)；以及

通過一固定高度的探測器單元(50)在適合的旋轉角度旋轉安裝單元(5、5a、15a-c；5、5a、15d)或探測器單元(50)，以量測數個測量點(P1-P8)各自在所述碟形工件(3)的一非安裝外部區域(AB)內與對應變形量的預定的高度位置(Z0)之間的一偏移量(WR)。

2.如權利要求1所述的方法，其特征在于：所述數個測量點(P1-P8)沿著一周邊線(KU)排列。

3.如權利要求1或2所述的方法，其特征在于：所述固定高度的探測器單元(50)包含一激光測微計。

4.如上述權利要求的任一項所述的方法，其特征在于：所述安裝單元(5、5a、15a-c；5、5a、15d)通過在變形之前的一旋轉以及變形之后的一橫向調整，被移至所述第二安裝位置。

5.如上述權利要求的任一項所述的方法，其特征在于：所述內部區域(IB)有一直徑為所述碟形工件(3)的10％至30％。

6.如上述權利要求的任一項所述的方法，其特征在于：所述量測的校準是在于無變形量下使用一標準工具進行。

7.如上述權利要求的任一項所述的方法，其特征在于：所述數個量測點(P1-P8)的各自偏移(WR)，與相關的旋轉角度和一工具識別符號，一起被記錄于一表中，。

8.如上述權利要求的任一項所述的方法，其特征在于：所述旋轉角度的選取為相對于一工具標記。

9.如上述權利要求的任一項所述的方法，其特征在于：所述碟形工件(3)的一內部區域(IB)的安裝由數個支撐插腳(11a，11b，11c；11′a-11′f)以及數個真空攝入元件(20a，20b，20c；20′a，20′b，20′c)所造成。

10.如權利要求9所述的方法，其特征在于：所述數個支撐插腳(11a，11b，11c；11′a-11′f)的每一支撐插腳(11a，11b，11c)分別被數個真空攝入元件(20a，20b，20c；20′a，20′b，20′c)中的一對應真空攝入元件所包圍。

11.一種判斷特別是模塑成型晶圓的碟形工件的變形量的裝置，其特征在于：所述判斷變形的裝置包含：

一可旋轉的、高度以及橫向可調整的安裝單元(5、5a、15a-c；5、5a、15d)，用來安裝所述碟形工件(3)的一內部區域(IB)；

一判斷單元(25)，用以判斷所述碟形工件(3)的一中心軸(M’)與所述安裝單元(5、5a、15a-c；5、5a、15d)的一中心軸(M)之間的偏心量(δ)，及用以產生一適合的調整信號給所述安裝單元(5、5a、15a-c；5、5a、15d)；

一存放單元(3a，3b，3c)，用以在安裝單元(5、5a、15a-c；5、5a、15d)的一側向調整的過程當中存放所述碟形工件(3)；以及

一固定高度的探測器單元(50)，用以通過旋轉在所述安裝單元(5、5a、15a-c；5、5a、15d)的一預定的高度位置(Z0)上的所述安裝單元(5、5a、15a-c；5、5a、15d)或探測器單元(50)，以量測數個測量點(P1-P8)各自，在所述碟形工件(3)的一非安裝外部區域(AB)與對應變形量的一預定的高度位置(Z0)之間的一偏移量(WR)，。