[發(fā)明專利]判斷特別是模塑成型晶圓的碟形工件的變形量的方法與裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201080047274.6
• 申請(qǐng)日: 2010-08-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102714133A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-10-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 魯?shù)芨瘛な方鸬吕?/a>
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: ERS電子有限責(zé)任公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/00
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/00;H01L21/68
• 代理公司: 上海翼勝專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 31218
• 代理人: 翟羽

1.一種判斷特別是模塑成型晶圓的碟形工件的變形量的方法，其特征在于：所述判斷變形的方法包含步驟：

安裝所述碟形工件(3)的一內(nèi)部區(qū)域(IB)至一第一安裝位置內(nèi)的一安裝單元(5、5a、15a-c；5、5a、15d)上；

判斷所述碟形工件(3)的一中心軸(M’)與在第一安裝位置內(nèi)的安裝單元(5、5a、15a-c；5、5a、15d)的一中心軸(M)之間的偏心量(δ)；存放所述碟形工件(3)至一存放單元(3a、3b、3c)上；

基于所判斷的偏心量(δ)重新安裝所述碟形工件(3)的內(nèi)部區(qū)域(IB)至在一第二安裝位置內(nèi)的安裝單元(5、5a、15a-c；5、5a、15d)上，其中在第二安裝位置的偏心量(δ)大約為零；

移動(dòng)所述安裝單元(5、5a、15a-c；5、5a、15d)至一預(yù)定的高度位置(Z0)；以及

通過(guò)一固定高度的探測(cè)器單元(50)在適合的旋轉(zhuǎn)角度旋轉(zhuǎn)安裝單元(5、5a、15a-c；5、5a、15d)或探測(cè)器單元(50)，以量測(cè)數(shù)個(gè)測(cè)量點(diǎn)(P1-P8)各自在所述碟形工件(3)的一非安裝外部區(qū)域(AB)內(nèi)與對(duì)應(yīng)變形量的預(yù)定的高度位置(Z0)之間的一偏移量(WR)。

2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：所述數(shù)個(gè)測(cè)量點(diǎn)(P1-P8)沿著一周邊線(KU)排列。

3.如權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于：所述固定高度的探測(cè)器單元(50)包含一激光測(cè)微計(jì)。

4.如上述權(quán)利要求的任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于：所述安裝單元(5、5a、15a-c；5、5a、15d)通過(guò)在變形之前的一旋轉(zhuǎn)以及變形之后的一橫向調(diào)整，被移至所述第二安裝位置。

5.如上述權(quán)利要求的任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于：所述內(nèi)部區(qū)域(IB)有一直徑為所述碟形工件(3)的10％至30％。

6.如上述權(quán)利要求的任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于：所述量測(cè)的校準(zhǔn)是在于無(wú)變形量下使用一標(biāo)準(zhǔn)工具進(jìn)行。

7.如上述權(quán)利要求的任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于：所述數(shù)個(gè)量測(cè)點(diǎn)(P1-P8)的各自偏移(WR)，與相關(guān)的旋轉(zhuǎn)角度和一工具識(shí)別符號(hào)，一起被記錄于一表中，。

8.如上述權(quán)利要求的任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于：所述旋轉(zhuǎn)角度的選取為相對(duì)于一工具標(biāo)記。

9.如上述權(quán)利要求的任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于：所述碟形工件(3)的一內(nèi)部區(qū)域(IB)的安裝由數(shù)個(gè)支撐插腳(11a，11b，11c；11′a-11′f)以及數(shù)個(gè)真空攝入元件(20a，20b，20c；20′a，20′b，20′c)所造成。

10.如權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于：所述數(shù)個(gè)支撐插腳(11a，11b，11c；11′a-11′f)的每一支撐插腳(11a，11b，11c)分別被數(shù)個(gè)真空攝入元件(20a，20b，20c；20′a，20′b，20′c)中的一對(duì)應(yīng)真空攝入元件所包圍。

11.一種判斷特別是模塑成型晶圓的碟形工件的變形量的裝置，其特征在于：所述判斷變形的裝置包含：

一可旋轉(zhuǎn)的、高度以及橫向可調(diào)整的安裝單元(5、5a、15a-c；5、5a、15d)，用來(lái)安裝所述碟形工件(3)的一內(nèi)部區(qū)域(IB)；

一判斷單元(25)，用以判斷所述碟形工件(3)的一中心軸(M’)與所述安裝單元(5、5a、15a-c；5、5a、15d)的一中心軸(M)之間的偏心量(δ)，及用以產(chǎn)生一適合的調(diào)整信號(hào)給所述安裝單元(5、5a、15a-c；5、5a、15d)；

一存放單元(3a，3b，3c)，用以在安裝單元(5、5a、15a-c；5、5a、15d)的一側(cè)向調(diào)整的過(guò)程當(dāng)中存放所述碟形工件(3)；以及

一固定高度的探測(cè)器單元(50)，用以通過(guò)旋轉(zhuǎn)在所述安裝單元(5、5a、15a-c；5、5a、15d)的一預(yù)定的高度位置(Z0)上的所述安裝單元(5、5a、15a-c；5、5a、15d)或探測(cè)器單元(50)，以量測(cè)數(shù)個(gè)測(cè)量點(diǎn)(P1-P8)各自，在所述碟形工件(3)的一非安裝外部區(qū)域(AB)與對(duì)應(yīng)變形量的一預(yù)定的高度位置(Z0)之間的一偏移量(WR)，。