[發明專利]暴露封裝于模制復合物中的裝置的精密結構的方法和系統

無效

• 申請號: 201080046739.6
• 申請日: 2010-10-15
• 公開（公告）號: CN102714194A
• 公開（公告）日: 2012-10-03
• 發明（設計）人: G·B·安德森
• 申請（專利權）人: 控制激光公司
• 主分類號: H01L23/36
• 分類號: H01L23/36;H01L21/311
• 代理公司: 北京派特恩知識產權代理事務所(普通合伙) 11270
• 代理人: 武晨燕;張穎玲

1.一種用于暴露封裝于材料中的結構的設備，其特征在于，包括：

用于發射激光束的激光束源；

控制機構，使所述激光束遍歷封裝于所述材料中的所述結構，并控制所述激光束的位置和深度，以在不損壞所述結構的底層部分的情況下，通過燒蝕暴露至少所述底層部分；

用于向所述結構進行涂覆的涂覆器，在所述激光束之前，沿所述激光束的遍歷路徑將對從所述激光束源發射的所述激光束來說基本不透明的材料涂覆到所述結構上。

2.根據權利要求1所述的設備，其中所述材料是黑色石墨粉末，油墨和顏料中的至少一種。

3.根據權利要求2所述的設備，其中所述材料是無毒材料。

4.根據權利要求3所述的設備，其中所述材料是液體。

5.根據權利要求1所述的設備，其中所述涂覆器是噴霧器。

6.根據權利要求1所述的設備，其中所述控制機構將所述激光束源引導至所述結構上，以將所述激光束發射到所述結構上。

7.根據權利要求1所述的設備，其中利用材料封裝的所述結構相對于所述激光束源被移動，而所述激光束的位置是固定的。

8.一種用于暴露利用材料封裝的結構的方法，其特征在于，包括：

生成激光束；

將所述激光束指引至利用所述材料封裝的所述結構上，所述激光束沿橫跨封裝于所述材料中的所述結構的路徑行進；

在所述激光束遍歷所述路徑之前，沿將被所述激光束遍歷的所述路徑將對所述激光束來說基本不透明的材料涂覆到表面上；以及

在涂覆所述基本不透明材料之后，利用所述激光束燒蝕所述材料，以在不損壞所述結構的底層部分的情況下暴露至少所述底層部分。

9.根據權利要求8所述的方法，其中所述激光束的波長大約為1064nm。

10.根據權利要求1所述的方法，進一步包括以下步驟：提供所述激光束與所封裝的所述結構之間的相對位移，以在所述激光束遍歷所述路徑時燒蝕區域上方的所述材料。

11.根據權利要求10所述的方法，其中所封裝的所述結構被移動，而所述激光束是固定的。

12.根據權利要求9所述的方法，其中所述激光束被可移動地引導至所封裝的所述結構上。

13.根據權利要求8所述的方法，其中所述基本不透明材料是液體。

14.根據權利要求8所述的方法，其中所述基本不透明材料是細小固體。

15.根據權利要求8所述的方法，其中所述基本不透明材料無毒。

16.根據權利要求13所述的方法，其中所述基本不透明材料是通過噴射、霧化和印刷中的一種涂覆的。

17.一種暴露封裝于材料中的結構的方法，其特征在于，包括：

生成激光束；

將所述激光束指引至利用所述材料封裝的所述結構上，所述激光束沿橫跨封裝于所述材料中的所述結構的路徑行進；

在所述激光束遍歷所述路徑之前，沿所述激光束將遍歷的所述路徑將對所述激光束來說基本不透明的材料涂覆到表面上；以及

當所述激光束沿橫跨封裝于所述材料中的所述結構的所述路徑行進時，利用所述激光束燒蝕所述材料，以在不損壞所述結構的底層部分的情況下暴露至少所述底層部分。

18.根據權利要求17所述的方法，其中所述激光束的波長大約為1064nm。

19.根據權利要求17所述的方法，其中所述基本不透明材料是液體。

20.根據權利要求17所述的方法，其中所述基本不透明材料是通過噴射、霧化和印刷中的一種涂覆的。