[發(fā)明專利]氣體傳感器元件及其制造方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201080044605.0 | 申請(qǐng)日： | 2010-10-01 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN102575999A | 公開（公告）日： | 2012-07-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 今村徹治;桑原大輔 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 北陸電氣工業(yè)株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào)： | G01N27/12 | 分類號(hào)： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 中國(guó)國(guó)際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所 11038 | 代理人： | 李今子 |
| 地址： | 日本*** | 國(guó)省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 氣體 傳感器 元件 及其 制造 方法 | ||
1.一種氣體傳感器元件，其特征在于，具備：
支承體，由單晶硅基板構(gòu)成，該單晶硅基板具備在厚度方向上相對(duì)著的表面和背面，且具備空洞部，該空洞部至少具有在所述表面開口的開口部；
基底絕緣層，層積下部絕緣層和上部絕緣層而構(gòu)成，且具有背面被固定在所述支承體的所述表面上的固定部以及與所述固定部一體設(shè)置并位于所述支承體的所述開口部上的非固定部，所述下部絕緣層由氮化硅和氧化硅構(gòu)成，所述上部絕緣層由氮氧化硅構(gòu)成；
加熱器布線圖案，形成在所述下部絕緣層與所述上部絕緣層之間，在所述非固定部的中央部?jī)?nèi)具有電加熱器部；
電極布線圖案，形成在所述上部絕緣層的表面上，在所述非固定部具有檢測(cè)用電極部；以及
感應(yīng)膜，以覆蓋所述檢測(cè)用電極部的方式涂敷形成在所述非固定部的所述中央部上，
所述基底絕緣層的所述非固定部具備所述中央部以及連結(jié)所述中央部與所述固定部的四條連結(jié)部，
所述連結(jié)部包括沿著所述開口部的邊緣部延伸的基部和從該基部向所述中央部延伸而連結(jié)于所述中央部的延伸部，
所述開口部的輪廓形狀呈方形，
四條所述連結(jié)部的基部位于所述開口部的四角，所述基部形成為跨越構(gòu)成所述開口部的所述邊緣部的四條邊之中形成對(duì)應(yīng)的所述角的兩條所述邊。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體傳感器元件，其特征在于，
所述中央部具有圓板形狀，
所述四條連結(jié)部的所述延伸部沿著針對(duì)所述四角虛擬的兩條虛擬對(duì)角線而延伸。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體傳感器元件，其特征在于，
所述中央部具有圓板形狀，
所述連結(jié)部的所述延伸部包括第一延伸部分以及第二延伸部分，
所述第一延伸部分沿著方形的所述開口部的邊緣部的一邊而延伸，且一端與所述基部接連，
所述第二延伸部分與該第一延伸部分的另一端接連，并與所述第一延伸部分正交，并向所述中央部延伸。
4.一種氣體傳感器元件，其特征在于，具備：
支承體，具備在厚度方向上相對(duì)著的表面和背面，且具備空洞部，該空洞部至少具有在所述表面開口的開口部；
基底絕緣層，層積多個(gè)絕緣層而構(gòu)成，且具有背面被固定在所述支承體的所述表面上的固定部以及與所述固定部一體設(shè)置并位于所述支承體的所述開口部上的非固定部；
加熱器布線圖案，形成在所述基底絕緣層的內(nèi)部，在所述非固定部的中央部?jī)?nèi)具有電加熱器部；
電極布線圖案，形成在所述基底絕緣層的表面上，在所述非固定部具有檢測(cè)用電極部；以及
感應(yīng)膜，以覆蓋所述檢測(cè)用電極部的方式形成在所述非固定部的所述中央部上，
所述基底絕緣層的所述非固定部具備所述中央部以及連結(jié)所述中央部與所述固定部的多條連結(jié)部，
所述連結(jié)部包括沿著所述開口部的邊緣部而延伸的基部和從該基部向所述中央部延伸而連結(jié)于所述中央部的延伸部，
所述基部的最大寬度尺寸大于所述延伸部的最大寬度尺寸。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的氣體傳感器元件，其特征在于，
所述開口部的輪廓形狀呈方形，
四條所述連結(jié)部的基部位于所述開口部的四角。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的氣體傳感器元件，其特征在于，
所述基部形成為跨越構(gòu)成所述開口部的所述邊緣部的四條邊之中形成對(duì)應(yīng)的所述角的兩條所述邊。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的氣體傳感器元件，其特征在于，
所述中央部具有圓板形狀，
所述四條連結(jié)部的所述延伸部沿著針對(duì)所述四角虛擬的兩條虛擬對(duì)角線而延伸。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的氣體傳感器元件，其特征在于，
所述中央部具有圓板形狀，
所述連結(jié)部的所述延伸部包括第一延伸部分以及第二延伸部分，
所述第一延伸部分沿著方形的所述開口部的邊緣部的一邊而延伸，且一端與所述基部接連，
所述第二延伸部分與該第一延伸部分的另一端接連，并與所述第一延伸部分正交，并向所述中央部延伸。
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