[發明專利]光學元件的保持布置

有效

• 申請號: 201080044073.0
• 申請日: 2010-07-23
• 公開（公告）號: CN102549468A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發明（設計）人: 烏爾里克.韋伯;赫伯特.霍爾德爾
• 申請（專利權）人: 卡爾蔡司激光器材有限責任公司;卡爾蔡司SMT有限責任公司
• 主分類號: G02B7/00
• 分類號: G02B7/00;G02B7/02;G03F7/20;H01L21/20
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 邱軍

1.光學元件的保持布置，該保持布置具有圍繞要被接收的光學元件的基礎結構(3)、和安裝裝置(4)，所述光學元件(10)借助所述安裝裝置(4)能夠以繞光軸(z)的旋轉運動以及沿第一軸(x)的平移運動的兩個自由度被支撐在所述基礎結構(3)上，所述第一軸垂直于光軸延伸并且與光軸(z)的中心(O)相交，其特征在于，所述安裝裝置(4)包括四個連結位置(4a、4b、4c、4d)和至少一個平行搖桿(51、52)，所述連結位置布置為相對于所述中心(O)點對稱，所述至少一個平行搖桿(51、52)是可平行于所述第一軸(x)位移的。

2.根據權利要求1所述的保持布置，其特征在于，設置了兩個平行搖桿(51、52)，所述兩個平行搖桿(51、52)與光學元件(10)聯接，以使所述平行搖桿(51、52)沿相反方向的運動造成所述光學元件(10)繞所述光軸(z)的旋轉運動。

3.根據權利要求1或2所述的保持布置，其特征在于，設置了內部結構(2)，所述內部結構(2)承載要被安裝的光學元件(10)，且安裝裝置(4)作用于所述內部結構(2)上。

4.根據權利要求1或2所述的保持布置，其特征在于，所述連結位置(4a、4b、4c、4d)各自包括樞轉臂(41、42、43、44)，所述樞轉臂將內部結構(2)聯接到所述基礎結構。

5.根據權利要求4所述的保持布置，其特征在于，樞轉臂(41、42、43、44)各自經由至少一個聯接桿(411、412、413、414)連接到所述內部結構(2)。

6.根據權利要求5所述的保持布置，其特征在于，所述聯接桿(411、412、413、414)各自大致垂直于連接線，所述連接線位于中心(O)與相關聯的連結位置(4a、4b、4c、4d)之間。

7.根據權利要求4所述的保持布置，其特征在于，樞轉臂(41、42、43、44)各自經由至少一個葉片彈簧接頭(411、412、413、414)連接到所述內部結構(2)。

8.根據權利要求1至7中一個所述的保持布置，其特征在于，至少一個樞轉臂(41、42、43、44)，優選地兩個樞轉臂(41、42、43、44)被鉸接到所述至少一個平行搖桿(51、52)。

9.根據權利要求8所述的保持布置，其特征在于，設置了兩個平行搖桿(51、52)，至少一個樞轉臂(41、42、43、44)，優選兩個樞轉臂(41、42、43、44)鉸接到每個所述平行搖桿，以使所述平行搖桿(51、52)沿相反方向的運動造成所述光學元件(10)繞所述光軸(z)的旋轉運動。

10.根據權利要求1至9所述的保持布置，其特征在于，所述平行搖桿(51、52)中的至少一個經由至少兩個聯接桿(511、521)連接到所述基礎結構(3)。

11.根據權利要求8、9或10所述的保持布置，其特征在于，所述至少一個樞轉臂(41、42、43、44)經由聯接桿(421、422、423、424)連接到所述平行搖桿。

12.根據權利要求11所述的保持布置，其特征在于，所述聯接桿(421、422、423、424)各自布置為在本位中大致平行于所述平行搖桿(51、52)。

13.根據權利要求1至12中的一個所述的保持布置，其特征在于，所述安裝裝置(4)被實現為關于所述第一軸鏡像對稱。

14.根據權利要求1至13中的一個所述的保持布置，其特征在于，所述安裝裝置被實現為關于所述第二軸(y)鏡像對稱，所述第二軸穿過所述中心(O)，垂直于所述第一軸(x)以及垂直于所述光軸(z)延伸。

15.根據權利要求7至14中的一個所述的保持布置，其特征在于，設置了作用在所述至少一個平行搖桿(51、52)上的至少一個調節單元(61、62)。

16.具有根據權利要求1至15中的一個所述的保持布置的操縱器單元。