[發明專利]蝕刻液組合物無效
| 申請號： | 201080042912.5 | 申請日： | 2010-10-27 |
| 公開（公告）號： | CN102648270A | 公開（公告）日： | 2012-08-22 |
| 發明（設計）人： | 李昔準;梁承宰;權五柄;李喻珍 | 申請（專利權）人： | 東友FINE-CHEM股份有限公司 |
| 主分類號： | C09K13/06 | 分類號： | C09K13/06 |
| 代理公司： | 上海旭誠知識產權代理有限公司 31220 | 代理人： | 鄭立;高為華 |
| 地址： | 韓國全*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 蝕刻 組合 | ||
【權利要求書】：
1.一種蝕刻液組合物，用于包括含銅金屬膜和含鉬金屬膜的雙層或多層膜，基于所述組合物的總重，所述蝕刻液組合物包含：
25～50wt％的H3PO4；
0.1～7wt％的HNO3；
10～50wt％的CH3COOH；
0.1～5wt％的環胺化合物；和
余量的水。
2.如權利要求1所述的蝕刻液組合物，其中所述環胺化合物是選自由氨基四唑、苯并三唑、咪唑、吲哚、嘌呤、吡唑、吡啶、嘧啶、吡咯、四氫吡咯和吡咯啉組成的群組中的一種或更多種。
3.如權利要求1所述的蝕刻液組合物，進一步包含選自由蝕刻控制劑、表面活性劑、螯合劑、防腐劑和pH調節劑組成的組中的一種或多種。
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