[發(fā)明專利]放射線敏感性樹脂組合物和化合物

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201080040708.X
• 申請日: 2010-07-13
• 公開（公告）號: CN102483574A
• 公開（公告）日: 2012-05-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 中原一雄;佐藤光央
• 申請（專利權(quán)）人: JSR株式會社
• 主分類號: G03F7/039
• 分類號: G03F7/039;C07D211/44;G03F7/004;H01L21/027
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 左嘉勛;顧晉偉

1.一種放射線敏感性樹脂組合物，其特征在于，含有：

(A)具有下式(1)表示的基團(tuán)與氮原子結(jié)合的結(jié)構(gòu)的化合物，

(B)具有酸解離性溶解抑制基團(tuán)且通過酸的作用堿可溶性增大的樹脂，和

(C)放射線敏感性酸產(chǎn)生劑；

式(1)中，Y為由下式(i)表示并且碳原子數(shù)為5～20的1價(jià)基團(tuán)，“*”表示與氮原子的結(jié)合位點(diǎn)；

式(i)中，R¹、R²和R³各自獨(dú)立地為碳原子數(shù)1～4的直鏈狀或支鏈狀的烷基、或者碳原子數(shù)4～12的1價(jià)脂環(huán)式烴基，或者R¹和R²相互結(jié)合而與它們所結(jié)合的碳原子一起形成碳原子數(shù)為4～12的2價(jià)脂環(huán)式烴基，“*”表示與氧原子的結(jié)合位點(diǎn)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的放射線敏感性樹脂組合物，其中，(A)化合物由下式(1-1)表示，

式(1-1)中，Y的定義與上式(1)相同，R⁴和R⁵各自獨(dú)立地為氫原子、直鏈狀或支鏈狀的烷基、1價(jià)的脂環(huán)式烴基、芳基或芳烷基，或者R⁴和R⁵相互結(jié)合而與它們所結(jié)合的氮原子一起形成碳原子數(shù)為4～20的2價(jià)雜環(huán)式基團(tuán)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的放射線敏感性樹脂組合物，其中，上式(1)中的Y為叔戊基。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的放射線敏感性樹脂組合物，其中，(B)樹脂具有下式(3)表示的重復(fù)單元，

式(3)中，R為氫原子或者甲基，R⁶、R⁷和R⁸各自獨(dú)立地為碳原子數(shù)1～4的直鏈狀或支鏈狀的烷基、或者碳原子數(shù)4～20的1價(jià)脂環(huán)式烴基，或者R⁶、R⁷和R⁸中的2個(gè)相互結(jié)合而與它們所結(jié)合的碳原子一起形成碳原子數(shù)為4～20的2價(jià)脂環(huán)式烴基。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的放射線敏感性樹脂組合物，其中，(B)樹脂具有含有從內(nèi)酯骨架和環(huán)狀碳酸酯骨架中選擇的至少1種骨架的重復(fù)單元。

6.一種化合物，其特征在于，具有下式(I)表示的基團(tuán)與氮原子結(jié)合的結(jié)構(gòu)，分子量為3000以下，

式(I)中，“*”表示與氮原子的結(jié)合位點(diǎn)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的化合物，其由下式(I-1)表示，

式(I-1)中，R⁴和R⁵各自獨(dú)立地為氫原子、直鏈狀或支鏈狀的烷基、1價(jià)的脂環(huán)式烴基、芳基或芳烷基，或者R⁴和R⁵相互結(jié)合而與它們所結(jié)合的氮原子一起形成碳原子數(shù)為4～20的2價(jià)雜環(huán)式基團(tuán)。