[發明專利]用于控制射頻功率的方法與系統

有效

• 申請號: 201080037077.6
• 申請日: 2010-06-16
• 公開（公告）號: CN102484396A
• 公開（公告）日: 2012-05-30
• 發明（設計）人: S·納加拉卡迪;田豐;D·蘭姆;A·拉什德;S·本澤洛克;I·貝斯特亞克;D·孟哲;J·J·蘇斯;J·E·安布羅西納
• 申請（專利權）人: MKS儀器股份有限公司
• 主分類號: H02J17/00
• 分類號: H02J17/00
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 張欣

1.一種用于控制脈沖功率的方法，包括：

測量來自功率放大器的所傳輸的功率的第一脈沖來獲得數據；

產生第一信號來調節所傳輸的功率的第二脈沖，所述第一信號相關聯于所述數據來最小化功率設定點和所述第二脈沖的基本穩定部分之間的功率差異；以及

產生第二信號來調節所傳輸的功率的第二脈沖，所述第二信號相關聯于所述數據來最小化所述第二脈沖的峰值和所述第二脈沖的基本穩定部分之間的幅值差異。

2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，還包括提供所述第二信號作為電壓源的輸入，所述電壓源提供電壓給電壓功率轉換器。

3.如權利要求2所述的方法，其特征在于，還包括將所述第二信號相關聯于在接收設定點的電壓源與電壓功率轉換器輸出功率之間測得的時間延遲。

4.如權利要求1所述的方法，其特征在于，還包括計算所述第一脈沖的峰值和所述第一脈沖的基本穩定部分之間的脈沖形狀誤差。

5.如權利要求4所述的方法，其特征在于，還包括將所述第二信號相關聯于所述脈沖形狀誤差。

6.如權利要求1所述的方法，其特征在于，還包括計算所述功率設定點和所述第一脈沖的所述基本穩定部分之間的功率偏移量。

7.如權利要求6所述的方法，其特征在于，還包括將所述第一信號相關聯于所述功率偏移量。

8.如權利要求1所述的方法，其特征在于，還包括提供所述第一信號作為電壓源的輸入，所述電壓源提供電壓給電壓功率轉換器。

9.如權利要求8所述的方法，其特征在于，還包括將所述第一信號相關聯于所述電壓源的占空比輸入。

10.一種功率傳輸的方法，包括：

從功率傳輸系統以連續波模式將功率傳輸至負載；

在反饋環中產生信號來控制所傳輸的功率，所述信號相關聯于功率控制算法；以及

調節所述功率控制算法中的單個變量來將所傳輸的功率從連續波模式轉換為脈沖模式。

11.如權利要求10所述的方法，其特征在于，還包括基于對應于所述單個變量的輸入來激活所述反饋環中的開關，所述開關與功率放大器電通信。

12.如權利要求10所述的方法，其特征在于，還包括過濾所述反饋環中的信號來提供基本穩定的功率測量。

13.如權利要求10所述的方法，其特征在于，還包括提供所述信號作為電壓源的輸入，所述電壓源提供電壓給電壓功率轉換器。

14.如權利要求13所述的方法，其特征在于，所述信號是所述電壓源的占空比輸入。

15.如權利要求10所述的方法，其特征在于，還包括計算功率設定點和所傳輸的功率之間的功率偏移量。

16.如權利要求10所述的方法，其特征在于，還包括測量所傳輸的功率來獲得數據。

17.如權利要求16所述的方法，其特征在于，還包括產生第二信號來調節所傳輸的脈沖功率的形狀，所述第二信號相關聯于所述數據來最小化脈沖峰值與所述脈沖的基本穩定部分之間的幅值差異。

18.如權利要求17所述的方法，其特征在于，還包括將所述第二信號相關聯于在接收設定點的電壓源與電壓功率轉換器輸出功率之間測得的時間延遲。

19.如權利要求16所述的方法，其特征在于，還包括將所述信號相關聯于所述數據來最小化功率設定點和脈沖的基本穩定部分之間的功率差異。

20.一種功率傳輸的方法，包括：

從功率傳輸系統以連續波模式將功率傳輸至負載；

測量傳輸給所述負載的功率；

使用反饋環產生表示所傳輸的功率的信號來控制所傳輸的功率的幅值，所述信號對應于功率控制算法；

調節所述功率控制算法中的單個變量以經由所述同一個反饋環將脈沖功率傳輸至所述負載。