[發明專利]氫氣的再利用方法有效
| 申請號： | 201080035687.2 | 申請日： | 2010-09-13 |
| 公開（公告）號： | CN102471056A | 公開（公告）日： | 2012-05-23 |
| 發明（設計）人： | 秋吉彩生;相本忠 | 申請（專利權）人： | 株式會社德山 |
| 主分類號： | C01B3/52 | 分類號： | C01B3/52;B01D53/14;B01D53/68;C01B33/03 |
| 代理公司： | 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 劉新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 氫氣 再利用 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種吹掃廢氣中的氫氣的再利用方法，其特征在于，其包括以下工序：
(1)氯化氫吸附工序：使由氫氣與三氯硅烷反應而制造多晶硅的工序中排出的廢氣通過活性炭層，從而吸附氯化氫；
(2)氯化氫脫附工序：使作為吹掃氣體的氫氣流通吸附保持有氯化氫的活性炭層，使所吸附的氯化氫脫附；
(3)氫氣回收工序：使含有所述氯化氫脫附工序中脫附的氯化氫和氫氣的吹掃廢氣與氯化氫吸收液接觸，得到除去了氯化氫的氫氣；和
(4)氫氣供給工序：將所述氫氣回收工序中回收的氫氣壓縮，作為其他工序的氫源供給。
2.根據權利要求1所述的氫氣的再利用方法，其特征在于，在氫氣供給工序前設置對氫氣回收工序中回收的氫氣進行水洗的水洗工序。
3.根據權利要求2所述的氫氣的再利用方法，其特征在于，設置下述工序：使水洗工序中被水洗的氫氣在氫氣供給工序前或者氫氣供給工序的壓縮時與硅烷捕捉劑接觸，接著從該氫氣中分離與氫氣伴隨的硅烷捕捉劑。
4.根據權利要求3所述的氫氣的再利用方法，其特征在于，硅烷捕捉劑為有機溶劑或油。
5.根據權利要求1～4中任一項所述的氫氣的再利用方法，其特征在于，在氫氣供給工序中，設置用于壓縮后除去水分的脫濕工序。
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