[發(fā)明專利]制造體積布拉格光柵的方法和裝置無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201080035311.1 | 申請日: | 2010-08-18 |
| 公開(公告)號: | CN102652384A | 公開(公告)日: | 2012-08-29 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 瓦倫丁·蓋龐特瑟夫;亞歷克斯·奧夫契尼可夫;德米特里·斯塔德波夫;阿列克謝·科米薩諾夫 | 申請(專利權(quán))人: | IPG光子公司 |
| 主分類號: | H01S5/02 | 分類號: | H01S5/02 |
| 代理公司: | 中科專利商標代理有限責(zé)任公司 11021 | 代理人: | 湯雄軍 |
| 地址: | 美國馬*** | 國省代碼: | 美國;US |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 制造 體積 布拉格 光柵 方法 裝置 | ||
1.一種用于在光熱折射材料主體中記錄多個體積布拉格光柵的方法,所述方法包括以下步驟:
將相位掩膜暴露于相干光束;以及
通過所述光束穿過所述相位掩膜而輻射所述光熱折射材料主體以在所述主體中形成多個隔開的邊緣,從而在每對相鄰邊緣之間的所述材料主體中記錄至少一個體積布拉格光柵。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其還包括在平行于所述體積布拉格光柵的縱向尺寸的平面中切割所述主體,以提供各具有至少一個體積布拉格光柵的多個單元。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其還包括相對于彼此移置輻射所述相干光束的光源和所述相位掩膜,從而沿著在所述多個邊緣上延伸的所述材料的體積布拉格光柵區(qū)域大致上均勻分布所述光束的高強度場。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中形成所述體積布拉格光柵包含相對于彼此繞垂直方向旋轉(zhuǎn)所述相位掩膜和所述主體,以在相對于所述垂直方向成角度地延伸的所述主體中記錄所述多個體積布拉格光柵。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其還包括將所述主體切割成多個單元,并且在照射前將所述多個單元堆疊在一起。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其還包括相對于彼此移置切割鋸和所述主體,以將所述主體切割成各具有平行六面體形狀截面的多個單元,其中每個單元含有至少一個垂直于每個單元的頂面和底面延伸的體積布拉格光柵。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其還包括將所述主體切割成多個矩形形狀單元,每個單元具有至少一個體積布拉格光柵。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中輻射所述光束包含:
供能給單模式激光器,因此發(fā)射所述光束,所述光束沿著光路徑傳播;
調(diào)整上游鏡以提供所述光路徑的所需長度,同時反射進一步沿著所述光路徑的撞擊光束;
調(diào)整光束擴展器,以在所述材料主體中在所需深度處記錄所述多個體積布拉格光柵;
通過掃描反射器來接收所述擴展光束以朝向所述相位掩膜引導(dǎo)所述擴展光束,以及
在引導(dǎo)所述擴展光束的同時相對于彼此移置所述掃描反射器和所述掩膜。
9.一種用于在光熱折射材料中記錄多個體積布拉格光柵的系統(tǒng),所述系統(tǒng)包括:
激光源組件,其可操作以沿著光路徑輻射相干光束;
相位掩膜,所述激光源下游的光束撞擊在其上;以及
材料支撐體,其構(gòu)造用于從所述相位掩膜的下游接收所述光熱折射材料,其中穿過所述掩膜照射所述材料以提供多個隔開的平行邊緣,所述邊緣在其間界定所述材料的多個子區(qū)域,所述多個子區(qū)域中的每個子區(qū)域具有至少一個記錄在其中的體積布拉格光柵。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的系統(tǒng),其中所述激光源組件包含:單模式激光器,其輻射所述光束;上游反射器,其反射進一步沿著所述光路徑的光束;擴展器,其接收所述反射光束并配置用于擴展所述反射光束;以及掃描反射器,其朝所述相位掩膜引導(dǎo)所述擴展光束。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的系統(tǒng),其還包括第一線性致動器,所述第一線性致動器可操作用于相對于彼此線性地移置所述掃描反射器和所述相位掩膜,以照射所述材料的所需區(qū)域,所述所需區(qū)域包含具有均勻強度的所述多個子區(qū)域,其中所述相位掩膜安裝在可移置地固定到所述材料支撐體的掩膜支撐體上。
12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的系統(tǒng),其還包括第二致動器,所述第二致動器可操作用于相對于彼此繞垂直方向旋轉(zhuǎn)各自的材料和掩膜的支撐體,以提供橫向于所述垂直方向延伸的所述多個體積布拉格光柵;及切割單元,其可操作用于將所述材料切割成多個單體單元。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的系統(tǒng),其中所述切割單元可操作用于沿著所述邊緣并大致上平行于所述體積布拉格光柵的縱向方向?qū)⑺霾牧锨懈畛筛骶哂幸粋€或多個體積布拉格光柵的多個單元。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的系統(tǒng),其中所述第二致動器可操作用于移置所述掩膜和材料支撐體,使得在將所述材料切割成所述多個單元后,每個單元具有選自由平行六面體形狀單元和矩形形狀單元組成的組的截面。
15.根據(jù)權(quán)利要求9所述的系統(tǒng),其中所述材料支撐體配置用于支撐所述材料的單件式片。
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