[發明專利]自動預測設計空間估計的方法及裝置

無效

• 申請號: 201080030289.1
• 申請日: 2010-05-03
• 公開（公告）號: CN102804188A
• 公開（公告）日: 2012-11-28
• 發明（設計）人: E·C·維克斯特姆;H·G·J·松德斯特倫;T·A·B·諾達爾
• 申請（專利權）人: MKS儀器股份有限公司
• 主分類號: G06F17/50
• 分類號: G06F17/50
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 管琦琦

1.一種用于針對實體處理估計輸入因子及輸出響應的設計空間的計算機化方法，其包括：

(a)經由處理器接收針對實體處理的一個或多個輸入因子、所述處理的一個或多個輸出響應及準則的數據，所述準則包括：

用于所述一個或多個輸出響應中的每個的目標響應準則；

用以達成所述目標響應準則的用于所述一個或多個輸入因子中的每個的估計的最佳值；及

所述一個或多個輸入因子中的每個的實驗輸入值范圍，其中所述實驗輸入值范圍中的每一輸入值決定所述一個或多個輸出響應中的每個的輸出響應值；

(b)使用所述處理器，針對所述一個或多個輸入因子中的每個計算對應實驗輸入值范圍內的所計算的輸入值范圍，其中計算包括：

為所述一個或多個輸入因子中的每個選擇第一輸入值范圍；

基于所述第一輸入值范圍來預測所述一個或多個輸出響應的值，以針對所述一個或多個輸出響應中的每個確定第一效能度量；及

通過基于所述第一效能度量與預定效能度量的比較調整所述第一輸入值范圍，為所述一個或多個輸入因子中的每個建立所計算的輸入值范圍；

(c)使用所述處理器，針對所述一個或多個輸入因子中的每個計算經修改的輸入值范圍，其中計算包括為所述一個或多個輸入因子中的每一輸入因子：

通過使所述所計算的輸入值范圍擴展一預定百分比來選擇第二輸入值范圍；

基于所述第二輸入值范圍來預測所述一個或多個輸出響應的值，以為所述一個或多個輸出響應中的每個確定第二效能度量；及

通過基于所述第二效能度量與所述預定效能度量的比較調整所述第二輸入值范圍，為所述輸入因子建立所述經修改的輸入值范圍；及

(d)使用所述處理器，至少基于所述經修改的輸入值范圍預測設計空間估計，其中所述經修改的輸入值范圍各自包括一最大可變性區域，在所述最大可變性區域中所述輸入因子中的一個或者多個滿足所述準則。

2.如權利要求1所述的方法，其中所述設計空間估計進一步包括所述一個或多個輸出響應中的每個的輸出響應值分布，其中所述經修改的輸入值范圍決定所述輸出響應值分布。

3.如權利要求2所述的方法，其中針對所述一個或多個輸出響應中的每個，若滿足所述預定效能度量，則所述輸出響應值分布內的預指定數目個輸出響應值處于所述輸出響應的預定極限值內。

4.如權利要求1所述的方法，其中預測所述設計空間估計包括在任何剩余輸入因子被設定至與其相關聯的所估計的最佳值時，預測每一輸入因子的單獨最大可變性區域。

5.如權利要求1所述的方法，其中預測所述設計空間估計包括預測每一輸入因子的組合的最大可變性區域，其中所述一個或多個輸入因子中的每個的值可處于對應的組合的最大可變性區域內的任何地方，且滿足每一輸出響應的所述預定效能度量。

6.如權利要求1所述的方法，其中建立所計算的輸入值范圍包括若所述第一效能度量低于所述預定效能度量，則通過使所述第一輸入值范圍減小一預定百分比來選擇第三輸入值范圍。

7.如權利要求6所述的方法，其進一步包括：

基于所述第三輸入值范圍來預測所述一個或多個輸出響應的值，以為所述一個或多個輸出響應中的每個確定第三效能度量；及

通過基于所述第三效能度量與所述預定效能度量的比較調整所述第三輸入值范圍，為所述一個或多個輸入因子中的每個建立所計算的輸入值范圍。

8.如權利要求1所述的方法，其中若所述第一效能度量高于所述預定效能度量，則建立所述所計算的輸入值范圍包括以下步驟：

將步進大小設定至所述第二輸入值范圍的大小的一預定百分比；

通過基于所述步進大小擴展所述第一輸入值范圍來選擇第三輸入值范圍；

基于所述第三輸入值范圍預測所述一個或多個輸出響應的值，以為所述一個或多個輸出響應中的每個確定第三效能度量；及

通過基于所述第三效能度量與所述預定效能度量的比較調整所述第三輸入值范圍，為所述一個或多個輸入因子中的每個建立所計算的輸入值范圍。