[發(fā)明專利]復(fù)合氧化物粉末的制造方法以及復(fù)合氧化物粉末

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201080028180.4
• 申請(qǐng)日: 2010-06-25
• 公開（公告）號(hào): CN102471084A
• 公開（公告）日: 2012-05-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 水野宏樹;橘紀(jì)和;中村泰也
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社村田制作所
• 主分類號(hào): C01G23/00
• 分類號(hào): C01G23/00;C04B35/46
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 張寶榮

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及復(fù)合氧化物粉末的制造方法以及復(fù)合氧化物粉末，更詳細(xì)而言，涉及用于陶瓷電容器的電子部件材料的復(fù)合氧化物粉末的制造方法、通過該制造方法制造的復(fù)合氧化物粉末。

背景技術(shù)

近年來，隨著電子設(shè)備的小型化，要求用于其的電子部件的小型化。另外，作為電子部件的代表之一的層疊陶瓷電容器，也在進(jìn)行小型、大容量化。另外，在能夠?qū)崿F(xiàn)該小型、大容量化的技術(shù)中，具有：電介質(zhì)層(陶瓷層)的薄層化和多層化。

目前，實(shí)現(xiàn)了電介質(zhì)層的厚度為約1μm、層疊數(shù)超過800層這樣的層疊電容器實(shí)用化。

另外，為了使層疊電容器進(jìn)一步小型化，需要進(jìn)行薄層化直至使電介質(zhì)層的厚度達(dá)到1μm以下的亞微米的范圍，為了實(shí)現(xiàn)亞微米的厚度的電介質(zhì)層，需要將構(gòu)成電介質(zhì)層的陶瓷燒結(jié)體的粒徑微小至100nm以下。

但是，已知：在構(gòu)成電介質(zhì)層的陶瓷燒結(jié)體(例如，BaTiO₃系陶瓷)的粒徑變微小時(shí)，介電常數(shù)降低。該介電常數(shù)的降低由陶瓷燒結(jié)體的結(jié)晶性(結(jié)晶軸的c軸相對(duì)于a軸的比(c/a軸比))的降低引起。

為了解決這些問題，作為形成電介質(zhì)層的、燒結(jié)前的原料粉末(例如，鈦酸鋇系材料的預(yù)燒((仮焼))粉末)，需要使用其粉末自身的粒徑微小、且結(jié)晶性高的原料粉末。

因此，為了得到微小、且結(jié)晶性高的鈦酸鋇粉末，提出了將預(yù)燒時(shí)的升溫速度設(shè)定為30℃/分鐘(0.5℃/秒)以上的復(fù)合氧化物粉末的制造方法(參照專利文獻(xiàn)1)。

另外，通過使用利用該復(fù)合氧化物粉末的制造方法得到的、粉體自身的粒徑微小、且結(jié)晶性高的復(fù)合氧化物粉末，可以得到燒結(jié)體的結(jié)晶粒徑微小、且εr高的電介質(zhì)。

但是，實(shí)際情況是：通過上述專利文獻(xiàn)1的方法得到的復(fù)合氧化物粉末的平均粒徑為約0.3μm，無法對(duì)應(yīng)直至亞微米的范圍的電介質(zhì)層的薄層化。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2005-8471號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明所要解決的問題

本發(fā)明是解決上述課題的發(fā)明，其目的在于提供一種復(fù)合氧化物的制造方法以及通過該方法制造的微小且結(jié)晶性高的復(fù)合氧化物，其中，所述復(fù)合氧化物的制造方法，能夠高效地制造在微小、并且例如以比表面積計(jì)為20m²/g(以比表面積相當(dāng)徑計(jì)為50nm)的情況下、結(jié)晶軸的c軸相對(duì)于a軸的比(c/a軸比)為1.007以上這樣的結(jié)晶性(正方晶性)高的、由通式：ABO₃表示的具有鈣鈦礦型結(jié)構(gòu)的復(fù)合氧化物粉末。

解決問題的手段

本發(fā)明的復(fù)合氧化物粉末的制造方法，用于制造作為A位元素包含Ba以及Ca中的至少一種、作為B位元素至少包含Ti，且由通式：ABO₃表示的具有鈣鈦礦型結(jié)構(gòu)的復(fù)合氧化物粉末，其特征在于，在對(duì)以預(yù)燒后得到上述由通式：ABO₃表示的具有鈣鈦礦型結(jié)構(gòu)的復(fù)合氧化物的預(yù)燒粉末的方式進(jìn)行調(diào)合的調(diào)合原料進(jìn)行預(yù)燒的預(yù)燒工序中，從預(yù)燒開始至達(dá)到預(yù)燒最高溫度期間，將升溫速度設(shè)為1000℃/分鐘以上。

本發(fā)明的復(fù)合氧化物粉末的制造方法中，優(yōu)選將上述升溫速度設(shè)為2400℃/分鐘以上。

另外，通過本發(fā)明的方法制造的復(fù)合氧化物粉末，優(yōu)選為由通式：(Ba_1-xCa_x)TiO₃(其中，x＝0～0.15)表示的復(fù)合氧化物粉末。

另外，本發(fā)明的復(fù)合氧化物粉末的制造方法中，優(yōu)選在達(dá)到最高溫度后，進(jìn)行冷卻而不進(jìn)行溫度保持。

另外，本發(fā)明的復(fù)合氧化物粉末的制造方法中，優(yōu)選在上述預(yù)燒工序前具備：將含有包含上述A位元素的A位元素化合物、和包含上述B位元素的B位元素化合物的陶瓷原料進(jìn)行混合粉碎的工序。

另外，本發(fā)明的復(fù)合氧化物粉末，其特征在于，是通過上述的本發(fā)明的制造方法制造的具有鈣鈦礦型結(jié)構(gòu)的復(fù)合氧化物粉末。

發(fā)明效果

本發(fā)明的復(fù)合氧化物粉末的制造方法，在對(duì)以預(yù)燒后得到由通式：ABO₃表示的具有鈣鈦礦型結(jié)構(gòu)的復(fù)合氧化物的預(yù)燒粉末的方式進(jìn)行調(diào)合的調(diào)合原料進(jìn)行預(yù)燒的預(yù)燒工序中，將從預(yù)燒開始至達(dá)到預(yù)燒最高溫度期間的升溫速度設(shè)為1000℃/分鐘以上，因此，能夠縮短預(yù)燒時(shí)間，并且可以抑制形成異相，從而能夠高效地制造微小、且結(jié)晶性(正方晶性)高的復(fù)合氧化物粉末(預(yù)燒粉末)。