[發(fā)明專利]微機(jī)械構(gòu)件和微機(jī)械構(gòu)件的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201080023341.0
• 申請(qǐng)日: 2010-05-18
• 公開（公告）號(hào): CN102712460A
• 公開（公告）日: 2012-10-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: F·恩吉卡姆恩吉蒙齊;W·朔克;J·穆霍;Z·萊什詹
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類號(hào): B81B3/00
• 分類號(hào): B81B3/00
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司 72002
• 代理人: 侯鳴慧

1.微機(jī)械構(gòu)件，具有：

一個(gè)支架(55)；

一個(gè)可調(diào)元件(10)；

一個(gè)外部定子電極組件(28)和一個(gè)外部執(zhí)行器電極組件(24)，所述外部執(zhí)行器電極組件(24)通過至少一個(gè)外彈簧(53，81，90，94，98，100)與支架(55)相連，所述可調(diào)元件(10)這樣耦合到所述外部執(zhí)行器電極組件(24)上，使得可通過在外部執(zhí)行器電極組件(24)和外部定子電極組件(28)之間施加第一電壓來繞第一旋轉(zhuǎn)軸線(12)相對(duì)于所述支架(55)調(diào)整所述可調(diào)元件(10)；以及

一個(gè)內(nèi)部定子電極組件(30)和一個(gè)內(nèi)部執(zhí)行器電極組件(26)，所述內(nèi)部執(zhí)行器電極組件(26)包括帶有至少一個(gè)電極指(26a，26b)的第一梁(50)，該第一梁(50)沿著不平行于第一旋轉(zhuǎn)軸線(12)的第二旋轉(zhuǎn)軸線(14)定向，該可調(diào)元件(10)這樣耦合到所述內(nèi)部執(zhí)行器電極組件(26)上，使得可通過在所述內(nèi)部執(zhí)行器電極組件(26)的至少一個(gè)電極指(26a，26b)和所述內(nèi)部定子電極組件(30)之間施加第二電壓來繞第二旋轉(zhuǎn)軸線(14)相對(duì)于所述支架(55)調(diào)整所述可調(diào)元件(10)；

其特征在于，

設(shè)置有一個(gè)沿著第二旋轉(zhuǎn)軸線(14)定向的中間彈簧(52)，通過該中間彈簧將所述內(nèi)部執(zhí)行器電極組件(26)與所述外部執(zhí)行器電極組件(24)相連。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)械構(gòu)件，其中，所述中間彈簧(52)的與該中間彈簧(52)繞第二旋轉(zhuǎn)軸線(14)的扭轉(zhuǎn)相關(guān)的第一彈簧剛度小于抵抗所述外部執(zhí)行器電極組件(24)繞第二旋轉(zhuǎn)軸線(14)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的所述至少一個(gè)外彈簧(53，81，90，94，98，100)的第二彈簧剛度。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的微機(jī)械構(gòu)件，其中，所述外部執(zhí)行器電極組件(24)包括帶有至少一個(gè)電極指(24a)且不平行于第一梁(50)的第二梁(54)。

4.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的微機(jī)械構(gòu)件，其中，所述外部執(zhí)行器電極組件(24)包括一板式電極(86)。

5.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的微機(jī)械構(gòu)件，其中，所述內(nèi)部執(zhí)行器電極組件(26)是朝向相鄰的外部執(zhí)行器電極組件(24)的一側(cè)具有一凹槽，中間彈簧(52)至少部分地穿過該凹槽延伸。

6.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的微機(jī)械構(gòu)件，其中，所述外部執(zhí)行器電極組件(24)和/或所述外部定子電極組件(28)的電極面(28a-1，28a-2)被第二旋轉(zhuǎn)軸線(14)劃分成布置于第二旋轉(zhuǎn)軸線(14)第一側(cè)的第一電極面(28a-1)和布置于第二旋轉(zhuǎn)軸線(14)第二側(cè)的第二電極面(28a-2)，并且，第一電極面(28a-1)這樣耦合到至少一個(gè)第一導(dǎo)線上，使得可將第一電位施加在所述第一電極面(28a-1)上，第二電極面(28a-2)這樣耦合到至少一個(gè)第二導(dǎo)線上，使得可將與第一電位不同的第二電位施加在所述第二電極面(28a-2)上。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的微機(jī)械構(gòu)件，其中，所述微機(jī)械構(gòu)件包括一控制裝置，該控制裝置設(shè)計(jì)用于使第一電位施加在第一電極面(28a-1)上并且第二電位施加在第二電極面(28a-2)上，該控制裝置附加用于在考慮關(guān)于在所述內(nèi)部執(zhí)行器電極組件(26)的所述至少一個(gè)電極指(26a，26b)與所述內(nèi)部定子電極組件(30)之間施加的第二電壓和/或所述內(nèi)部執(zhí)行器電極組件(26)的所述至少一個(gè)電極指(26a，26b)相對(duì)于所述內(nèi)部定子電極組件(30)的當(dāng)前位置的信息的情況下確定第一電位和第二電位之間的差。

8.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的微機(jī)械構(gòu)件，其中，所述至少一個(gè)外彈簧(53，90，94，98)包括一平行于第一旋轉(zhuǎn)軸線(12)的彈簧(53，90，94，98)，該彈簧構(gòu)造成回曲形翻轉(zhuǎn)彈簧(53)、扭簧(90)、V形彈簧(94)和/或兩側(cè)夾緊的彎曲彈簧(98)。

9.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的微機(jī)械構(gòu)件，其中，所述至少一個(gè)外彈簧(81，100)包括一平行于第二旋轉(zhuǎn)軸線(14)的彈簧，該彈簧構(gòu)造成彎曲彈簧(81)和/或回曲形彈簧(100)。