[發(fā)明專利]用于旋轉(zhuǎn)式分度系統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)式撓曲件及空氣軸承支撐件

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201080022346.1
• 申請(qǐng)日: 2010-05-11
• 公開（公告）號(hào): CN102438790A
• 公開（公告）日: 2012-05-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馬克·科斯莫夫斯基
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 電子科學(xué)工業(yè)有限公司
• 主分類號(hào): B23Q16/00
• 分類號(hào): B23Q16/00;B23Q16/02;F16C32/06;B23K37/04;B23Q16/06;B23Q16/08
• 代理公司: 北京律盟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287
• 代理人: 劉國(guó)偉

1.一種用于使進(jìn)出處理站的工件平移的可分度刻度盤系統(tǒng)，其包括：

刻度盤，其具有旋轉(zhuǎn)軸線；

電機(jī)，其用于選擇性地使所述刻度盤圍繞所述旋轉(zhuǎn)軸線分度；

至少一個(gè)空氣軸承，其附接到所述刻度盤的表面；及

撓曲件，其將所述電機(jī)機(jī)械連接到所述刻度盤，所述撓曲件本質(zhì)上是圍繞所述旋轉(zhuǎn)軸線為扭轉(zhuǎn)非順從性但沿著所述旋轉(zhuǎn)軸線為順從性。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述至少一個(gè)空氣軸承包括環(huán)繞所述旋轉(zhuǎn)軸線在等距間隔開的位置處的多個(gè)空氣軸承。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其進(jìn)一步包括：

框架，其支撐所述電機(jī)，其中所述多個(gè)空氣軸承中的每一者附接到安裝于所述框架上且面向所述刻度盤的板。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的系統(tǒng)，其中所述板包括在其面向所述刻度盤的表面中的多個(gè)凹面，所述系統(tǒng)進(jìn)一步包含：

至少一個(gè)負(fù)空氣壓力導(dǎo)管，其耦合到所述多個(gè)凹面中的每一者且延伸穿過(guò)所述板并從所述板向外延伸；及

多個(gè)正空氣壓力導(dǎo)管，其穿過(guò)所述板延伸到所述表面且具有從所述板向外延伸的至少一個(gè)路徑。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其中所述刻度盤包括在其表面中的多個(gè)凹面及從所述表面延伸到相對(duì)表面的多個(gè)軸承入口，所述系統(tǒng)進(jìn)一步包含：

至少一個(gè)真空線路，其耦合到所述多個(gè)凹面中的每一者。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其進(jìn)一步包括：

滑環(huán)歧管結(jié)構(gòu)，其穿過(guò)所述撓曲件的中心部分中的開口延伸到所述刻度盤的所述相對(duì)表面。

7.根據(jù)權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其中所述撓曲件包括板狀結(jié)構(gòu)，所述板狀結(jié)構(gòu)包含附接到所述電機(jī)的輸出構(gòu)件的實(shí)質(zhì)上圓形中心區(qū)段及圍繞所述中心區(qū)段布置的多個(gè)撓曲臂，所述多個(gè)撓曲臂中的每一者附接到所述刻度盤。

8.根據(jù)權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其進(jìn)一步包括：

板，其具有面向所述刻度盤的表面及圍繞所述撓曲件的圓周的中心孔口，每一空氣軸承耦合于所述刻度盤與所述板的所述表面之間。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，其中所述電機(jī)延伸穿過(guò)所述中心孔口。