[發明專利]具有軸向推力平衡器件的再生真空泵

無效

• 申請號: 201080021887.2
• 申請日: 2010-05-18
• 公開（公告）號: CN102428280A
• 公開（公告）日: 2012-04-25
• 發明（設計）人: N.P.肖菲爾德;M.C.K.劉
• 申請（專利權）人: 愛德華茲有限公司
• 主分類號: F04D17/16
• 分類號: F04D17/16;F04D23/00;F04D29/18;F04D29/051
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 原紹輝

本發明涉及一種用于泵送流體介質（氣體或液體）的泵。特別地，但并非排它地，本發明涉及一種被構造為再生真空泵的真空泵。

盡管下文將結合真空泵對本發明進行描述，但應該理解：本發明絕不旨在局限于真空泵且本發明同樣可應用于其他類型的泵，如液體泵、氣體壓縮機等。

包括再生泵送機構的真空泵是已公知的。已公知的再生泵送機構包括轉子葉片的多個環形陣列，所述陣列被安裝在轉子上且從轉子沿軸向延伸進入形成于定子中的相應的環形通道內。轉子的旋轉導致葉片沿所述通道行進，從而形成氣體漩渦，所述氣體漩渦沿流動路徑在泵送機構的入口與出口之間流動。

這類真空泵的實例是所屬技術領域已公知的且所述泵的特定變型見于EP0568069?和EPl170508中。這些文獻中描述的再生泵送機構可包括以盤狀構型形成的轉子，且在該轉子的任一側上都具有泵元件。被泵送的氣體沿循流動路徑流動，所述流動路徑被布置從而使得氣體沿轉子的一側從入口流出且隨后以序列方式被傳遞至轉子的另一側且由此向前到達出口。

本發明提供了一種相對于常規泵而言經過改進的泵。

因此，本發明提供了一種真空泵轉子，所述真空泵轉子適用于真空泵中，所述泵包括再生泵送機構，所述轉子具有大體上扁盤狀的構型且可被安裝在軸向軸上以便相對于真空泵的定子進行旋轉，其中所述轉子具有第一表面和與所述第一表面相對的第二表面，且轉子構造被設置在所述第一表面和所述第二表面中，每個轉子構造限定出在所述泵轉子與定子之間形成的泵級的一部分，從而使得氣體可從入口被泵送至出口且沿相同的徑向方向沿所述相對的第一表面和第二表面被泵送，且其中導管被設置以便將所述泵級的所述部分相互連接起來。結果是，所述導管提供了一種能夠對所述轉子上的壓力不平衡進行彌補的方式。所述導管可被布置以便穿過所述轉子或者所述導管可被設置在定子中。此外，所述轉子可包括至少兩個泵級，所述泵級被布置以便對從所述入口到達所述出口的被泵送的氣體進行壓縮，從而使得被設置在接近所述入口的位置處的第一泵級可在比更接近所述出口的第二泵級更低的壓力下運行，且所述導管被設置在所述第二泵級處。此外，所述導管可包括多條離散的氣體通路，所述多條離散的氣體通路被布置以便將所述泵級的所述部分相互連接起來。

此外，本發明提供了真空泵，所述真空泵包括如上所述的轉子，所述泵進一步包括定子，所述定子具有第一表面和第二表面，每個定子表面被布置以便面對所述第一轉子表面或所述第二轉子表面中的一個表面，其中每個定子表面包括同心通道，所述同心通道被布置以便與所述轉子構造中的一個轉子構造協同作用從而在所述泵級上形成氣體流動路徑。

此外，所述定子和所述轉子的所述第一表面和所述第二表面可被布置成平的表面，所述定子通道可被布置以便在所述定子表面下方延伸，且所述轉子構造可被布置以便在所述轉子表面下方延伸。此外，可在所述轉子與所述定子之間形成氣體密封件以便減輕氣體從所述泵級中泄漏的情況，所述氣體密封件包括所述定子表面和所述轉子表面的面對彼此的平的部分。因此，所述相應的定子和轉子的面對彼此的所述平的表面協同作用以便形成氣體密封裝置：為了實現該目的，所述定子的所述第一表面和所述第二表面可被布置成平面表面且平行于彼此。

本發明提供了一種泵，所述泵包括再生泵送機構，所述再生泵送機構具有大體上呈盤形的泵轉子，所述泵轉子被安裝在軸向主動軸上以便相對于定子進行旋轉，所述泵轉子具有轉子構造，所述轉子構造被設置在表面中且限定出流動路徑的至少一部分，所述流動路徑用于將氣體從入口泵送至出口且形成于所述泵送機構的所述泵轉子與所述轉子之間，所述泵轉子和所述定子包括軸向氣體軸承，所述軸向氣體軸承被布置以便對在泵運行過程中在所述轉子與所述定子之間形成的軸向空隙進行控制。因此，泵的這種構型提供了被設置在所述轉子上的氣體軸承，所述氣體軸承使得能夠對所述泵的轉子部件與定子部件之間的軸向空隙進行控制并改進了這種控制。