[發明專利]光學成像系統

無效

• 申請號: 201080019040.0
• 申請日: 2010-04-22
• 公開（公告）號: CN102414025A
• 公開（公告）日: 2012-04-11
• 發明（設計）人: 伊賈爾·卡茨爾;艾利·梅穆恩
• 申請（專利權）人: 奧博泰克有限公司
• 主分類號: B41J2/47
• 分類號: B41J2/47
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司 11204
• 代理人: 余朦;王艷春

1.一種將圖案掃描至表面上的方法，所述方法包括：

形成包含用于寫入表面上的圖案的第一空間調制光束；

將所述第一空間調制光束分裂為多個子光束；

改變所述多個子光束之間的空間關系，由此形成第二空間調制光束；以及

用所述第二空間調制光束掃描所述表面。

2.如權利要求1所述的方法，其中所述掃描包含寫入。

3.如權利要求1所述的方法，其中改變所述多個子光束之間的所述空間關系使所述第一空間調制光束的縱橫比改變。

4.如權利要求3所述的方法，其中改變所述多個子光束之間的所述空間關系提供相對于所述第一空間調制光束呈長形的空間調制光束。

5.如權利要求1所述的方法，其中改變所述多個子光束之間的所述空間關系以在所述掃描期間提供沿交叉掃描方向的子光束之間的重疊。

6.如權利要求5所述的方法，其中所述重疊能夠使得以比所述第一空間調制光束所提供的分辨率更大的分辨率寫入所述圖案。

7.如權利要求1所述的方法，其中改變所述多個子光束之間的所述空間關系以在所述掃描期間形成沿掃描方向至少部分重疊的多列子光束。

8.如權利要求7所述的方法，其中所述多列相對于彼此偏移等于SLM組件的一半寬度的距離。

9.如權利要求1所述的方法，其中改變所述多個子光束之間的所述空間關系以在所述掃描期間形成沿掃描方向至少部分重疊的多行子光束。

10.如權利要求1所述的方法，其中改變所述多個子光束之間的所述空間關系以形成緊湊型多邊形空間關系。

11.如權利要求1所述的方法，包括改變所述多個子光束的至少一部分的角定向。

12.如權利要求11所述的方法，其中改變所述多個子光束之間的所述空間關系以形成至少第一列及第二列，其中所述第一列的子光束具有第一角定向且所述第二列的子光束具有不同于所述第一角定向的第二角定向，且其中所述第一列與所述第二列在掃描期間彼此重疊。

13.如權利要求12所述的方法，其中所述第一列與所述第二列中的子光束的角定向之間的差異為45度。

14.如權利要求1所述的方法，包括沿垂直于所述表面的方向引導所述多個子光束中的每個。

15.如權利要求14所述的方法，其中用遠心透鏡引導所述多個子光束中的每個使其朝向所述表面。

16.如權利要求1所述的方法，其中通過多個反射表面或折射表面而使所述空間調制光束分裂為多個子光束。

17.如權利要求16所述的方法，其中所述多個反射表面或折射表面設置于單一光學組件上。

18.如權利要求1所述的方法，其中通過包含多個表面的單一光學組件而使所述空間調制光束分裂為多個子光束并且使所述多個子光束之間的所述空間關系改變。

19.如權利要求1所述的方法，其中所述空間調制光束用數字微鏡器件(DMD)而形成，其中所述DMD包含成列與成行的反射組件，其中所述列含有比所述行更多的組件。

20.如權利要求19所述的方法，其中所述多個子光束中的每個對應于由所述DMD的多個鄰近列反射的光。

21.如權利要求20所述的方法，其中所述多個子光束之間的所述空間關系從劃分為多列的數組的第一調制光束改變以形成所述第二空間調制光束，其中所述子光束在空間上并列地布置以形成至少長形調制光束列。

22.如權利要求21所述的方法，其中所述子光束經光學旋轉。

23.如權利要求22所述的方法，其中所述第二空間調制光束由至少兩列子光束形成，其中所述第一列及所述第二列相對于彼此偏移所述DMD的一個反射組件的長度的一半。

24.如權利要求20所述的方法，包括消隱所述多個鄰近列之間的所述DMD的一部分。