[發明專利]真空泵

有效

• 申請號: 201080018922.5
• 申請日: 2010-03-31
• 公開（公告）號: CN102414449A
• 公開（公告）日: 2012-04-11
• 發明（設計）人: E.U.奧科羅亞富爾
• 申請（專利權）人: 愛德華茲有限公司
• 主分類號: F04C25/02
• 分類號: F04C25/02;F04C23/00
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 趙華偉;傅永霄

1.?一種用于泵送腐蝕性流體的真空泵，所述泵包括：泵送機構，其包括在高真空流體入口與低真空流體出口之間沿著流體流動路徑的多個泵送級，且其中在所述流動路徑的第一部段的所述泵送機構的材料耐腐蝕性小于所述第一部段下游的所述流動路徑的第二部段的所述泵送機構的材料。

2.?根據權利要求1所述的真空泵，其中，所述第一部段和所述第二部段的相應材料使得在所述第一部段的腐蝕性沉積物的累積小于或等于在所述第二部段的腐蝕性沉積物的累積。

3.?根據權利要求1或2所述的真空泵，其中，所述第一部段與所述第二部段由相應多個所述泵送級限定。

4.?根據前述權利要求中任一項所述的真空泵，其中，所述第一部段沿著所述流體流動路徑與所述第二部段相鄰。

5.?根據前述權利要求中任一項所述的真空泵，其中，所述泵送級中每一個包括定子和轉子。

6.?根據前述權利要求中任一項所述的真空泵，其中，所述第二部段的所述泵送級或每個泵送級包括由富鎳的鐵制成的部件。

7.?根據前述權利要求中任一項所述的真空泵，其中，所述第一部段的所述泵送級或每個泵送級包括由球墨鑄鐵制成的部件。

8.?根據前述權利要求中任一項所述的真空泵，其中，所述泵送級的部件由選定材料制造使得在所述腐蝕性氣體泵送期間在每一級中所述腐蝕沉積物的累積在級與級之間大體上相等。

9.?根據前述權利要求中任一項所述的真空泵，其中，泵送級包括羅茨型泵送機構或者爪型泵送機構。