[發明專利]使用具有芴骨架的光聚合性聚合物的感光性組合物

有效

• 申請號: 201080018645.8
• 申請日: 2010-04-20
• 公開（公告）號: CN102414616A
• 公開（公告）日: 2012-04-11
• 發明（設計）人: 莊田浩之;坂口崇洋;湯川升志郎
• 申請（專利權）人: 日產化學工業株式會社
• 主分類號: G03F7/027
• 分類號: G03F7/027;C08F290/14;C08G63/547;G02B1/04;C08G59/14
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所 11247
• 代理人: 段承恩;田欣

技術領域

本發明涉及含有以芴骨架為主的光聚合性化合物和芴低分子材料的負型感光性組合物、以及使用該組合物的平坦化膜和微透鏡。

背景技術

對于電荷耦合元件(CCD)等攝像元件用微透鏡或LCD(液晶面板)，一直在進行通過組合高折射率材料和低折射率材料來提高光的聚光率或提取效率的努力。

例如，一般進行如下努力：通過電荷耦合元件(CCD)的平坦化膜使用高折射材料、微透鏡使用低折射率材料，從而在防止反射的同時進行聚光；或者通過微透鏡使用高折射率材料，從而即使到達二極管的距離較長也可以進行聚光；等等。

另一方面，LCD是近年大畫面化、高精細化、低耗電化的方向，因此必須提高LCD的光提取效率，作為其方法，一般使用低折射率材料的涂膜來提高光提取效率。

在該方法中，使用含高分子的高折射率樹脂和交聯性高折射率材料的抗蝕劑組合物，將該組合物在基板上涂布制膜，然后通過光刻法進行圖案形成并顯影，從而形成一幅圖案，獲得平坦化膜或LCD用途的間隔物。進一步經過蝕刻工序等，從而形成微透鏡。

已經記載了使用使用了雙酚芴型環氧丙烯酸酯與四羧酸二酐縮合而得的樹脂的感光性組合物，作為濾色器、液晶顯示元件、集成電路元件、固體攝像元件等的保護膜和/或層間絕緣膜利用(專利文獻1、專利文獻2和專利文獻3)。

專利文獻1：日本特開2003-176343號公報

專利文獻2：日本特開2003-165830號公報

專利文獻3：日本特開2004-35685號公報

發明內容

發明要解決的課題

近年來，相機的高精細化進步，開始要求相機的靈敏度，因此對數碼照相機用途的微透鏡開始要求高透明性和高聚光率。另外，在將微透鏡用于車載用用途的情況下，進一步要求能經受長期使用的耐熱性。

另一方面，LCD是近年來大畫面化、高精細化、低耗電化的方向，因此必須提高光提取效率，作為提高光提取效率的努力，將低折射率材料用于空氣(LCD的外部)側，與此相對，將高折射率材料用于ITO等金屬氧化物側，并進一步需要具有能夠經受長期使用的耐熱性、透明性的材料。

現有的材料難以完全滿足這些要求。

本發明的課題是，使用具有芴的共聚物和芴交聯性化合物，從而提供在不降低折射率的情況下同時滿足耐熱性和透明性的用于平坦化膜、間隔物、微透鏡材料的負型感光性組合物，并提供使用該負型感光性組合物制成的固體攝像元件、微透鏡、液晶顯示元件、以及使用了該負型感光性組合物的電子材料的制造方法。

用于解決課題的方法

本發明作為第1觀點，提供一種負型感光性組合物，該組合物包含：具有芴骨架的光聚合性聚合物(A)、具有芴骨架的單體(B)、和光聚合引發劑(C)。

作為第2觀點，提供根據第1觀點所述的負型感光性組合物，其中，所述具有芴骨架的光聚合性聚合物(A)包含可溶于堿性顯影液的部位。

作為第3觀點，提供根據第1觀點所述的負型感光性組合物，其中，所述具有芴骨架的光聚合性聚合物(A)包含下述式(1)所示的結構單元，

式中，R₁分別是碳原子數1～10的烷基或鹵原子，L分別是0～4的整數，X是末端包含不飽和鍵的有機基團，Y是由從四羧酸二酐中除去酸基后的部分形成的連接基團。

作為第4觀點，提供根據第1觀點～第3觀點的任一項所述的負型感光性組合物，其中，所述具有芴骨架的單體(B)是下述式(2)所示的化合物，

式中，R₂分別是碳原子數1～10的烷基或鹵原子，L分別是0～4的整數，Z是末端包含不飽和鍵的有機基團，m分別是1～5的整數，并且，L+m是1～5的整數。

作為第5觀點，提供根據第1觀點～第4觀點的任一項所述的負型感光性組合物，其中，所述X是下述式(3)所示的有機基團，

式中，R₃是氫原子、甲基或乙基。

作為第6觀點，提供根據第1觀點～第5觀點的任一項所述的負型感光性組合物，其中，所述Z分別獨立地為下述式(4)、式(5)或式(6)所示的有機基團，

-(OC₂H₄)_n-O-CH＝CH₂???????????式(5)