[發(fā)明專利]掃掠期間劑量可變的轉(zhuǎn)子光學部件成像方法及系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201080017834.3
• 申請日: 2010-03-05
• 公開（公告）號: CN102414621A
• 公開（公告）日: 2012-04-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: T.桑德斯特羅姆;P.阿斯克布杰
• 申請（專利權(quán)）人: 麥克羅尼克邁達塔有限責任公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 史新宏

1.一種調(diào)整隨著寫入器掃掠不與工件的第一軸平行的彎曲路徑沿著第一軸變化和累積的曝光劑量的方法，所述方法包括：

當將柵格化圖像的特定像素寫在工件上或從工件上讀取特定像素時確定掃描頭的掃掠方向；

在計算機可讀存儲媒體中查找校正因子，或至少部分根據(jù)掃掠方向相對于工件的第一軸的角度計算校正因子；以及

應(yīng)用特定像素的校正因子來調(diào)整特定像素在工件上的累積強度。

2.如權(quán)利要求1所述的方法，其中，隨著掃描頭跨過工件掃掠近似圓弧，校正因子是近似正弦的。

3.如權(quán)利要求1-2的任何一項所述的方法，進一步包括確定掃描頭在第一方向的掃掠和工件在第二方向的移動兩者相對于第一軸的角度。

4.如權(quán)利要求1-3的任何一項所述的方法，其中，掃描頭通過寫入頭跨過工件的掃掠相對于該軸維持基本相同投影圖像取向，進一步包括在確定角度時相對于該軸的投影圖像取向。

5.如權(quán)利要求1-4的任何一項所述的方法，進一步包括作為確定掃掠方向的一部分，感測寫入頭的角位置。

6.如權(quán)利要求1-5的任何一項所述的方法，進一步包括將校正因子應(yīng)用于原始圖像劑量數(shù)據(jù)，以生成校正圖像劑量數(shù)據(jù)，并利用校正圖像劑量數(shù)據(jù)驅(qū)動調(diào)制器。

7.如權(quán)利要求1-5的任何一項所述的方法，進一步包括將校正因子應(yīng)用于照射系統(tǒng)，從而通過照射光的強度將原始圖像劑量校正成校正圖像劑量。

8.如權(quán)利要求1-7的任何一項所述的方法，進一步包括作為確定掃掠方向的一部分，感測讀取頭的角位置。

9.如權(quán)利要求1-8的任何一項所述的方法，進一步包括將校正因子應(yīng)用于原始圖像劑量數(shù)據(jù)，以生成校正圖像劑量數(shù)據(jù)，并利用校正圖像劑量數(shù)據(jù)驅(qū)動調(diào)制器。

10.如權(quán)利要求1-8的任何一項所述的方法，進一步包括將校正因子應(yīng)用于照射系統(tǒng)，從而通過照射光的強度將原始圖像劑量校正成校正圖像劑量。

11.一種累積強度調(diào)整設(shè)備，包括：

掃掠方向計算器，用于當將柵格化圖像的特定像素寫入工件中時，確定掃描頭的掃掠方向；

查找存儲器或程序函數(shù)，用于確定至少部分基于掃掠方向相對應(yīng)于該軸的角度的校正因子；以及

與掃掠方向計算器和查找存儲器或程序函數(shù)耦合的校正計算器，其中該校正計算器至少使用掃掠方向確定校正因子，該校正計算器將校正因子應(yīng)用于原始像素值，并將校正像素值輸出到存儲器。

12.如權(quán)利要求11所述的設(shè)備，其中，隨著掃描頭跨過工件掃掠近似圓弧，校正因子是近似正弦的。

13.如權(quán)利要求11-12的任何一項所述的設(shè)備，其中，該校正計算器進一步至少使用掃描頭在第一方向的掃掠和工件在第二方向的移動兩者相對于第一軸的角度來確定校正因子。

14.如權(quán)利要求11-13的任何一項所述的設(shè)備，其中，掃描頭通過寫入頭跨過工件的掃掠相對于該軸維持基本相同投影圖像取向，其中校正計算器進一步在確定角度時至少使用寫入頭相對于該軸的投影圖像取向。

15.如權(quán)利要求11-14的任何一項所述的設(shè)備，其中，進一步包括與掃掠方向計算器耦合的感測設(shè)備，用于感測寫入頭的角位置。

16.如權(quán)利要求11-15的任何一項所述的設(shè)備，進一步包括將校正因子應(yīng)用于原始圖像劑量數(shù)據(jù)，以生成校正圖像劑量數(shù)據(jù)的劑量計算器；以及與劑量計算器耦合和響應(yīng)校正圖像劑量數(shù)據(jù)的調(diào)制器。

17.如權(quán)利要求11-15的任何一項所述的設(shè)備，進一步包括將校正因子應(yīng)用于照射系統(tǒng)，從而通過照射光的強度將原始圖像劑量校正成校正圖像劑量的照射調(diào)整器。

18.如權(quán)利要求11-14的任何一項所述的設(shè)備，與作為確定掃掠方向的一部分，感測讀取頭的角位置的感測設(shè)備耦合。

19.如權(quán)利要求11-14的任何一項或18所述的設(shè)備，進一步包括將校正因子應(yīng)用于原始圖像劑量數(shù)據(jù)，以生成校正圖像劑量數(shù)據(jù)的劑量計算器；以及與劑量計算器耦合和響應(yīng)校正圖像劑量數(shù)據(jù)的調(diào)制器。

20.如權(quán)利要求11-14的任何一項或18所述的設(shè)備，進一步包括將校正因子應(yīng)用于照射系統(tǒng)，從而通過照射光的強度將原始圖像劑量校正成校正圖像劑量的照射調(diào)整器。