[發(fā)明專利]用于使襯底與襯底載體分離的裝置和方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201080017730.2
• 申請(qǐng)日: 2010-03-31
• 公開（公告）號(hào): CN102414780A
• 公開（公告）日: 2012-04-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: M.溫普林格;P.林德納
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: EV集團(tuán)有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): H01L21/00
• 分類號(hào): H01L21/00
• 代理公司: 中國(guó)專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 趙辛;楊國(guó)治

1.?一個(gè)用于使襯底（1）與通過(guò)連接層（3）連接襯底（1）的襯底載體（2）分離的裝置，具有

-?一個(gè)襯底載體容納體（5），具有用于容納襯底載體（2）的容納體表面（5a），

-?一個(gè)與襯底載體容納體（5）對(duì)置設(shè)置的襯底容納體（4），具有平行于容納體表面（5a）設(shè)置的用于容納襯底（1）的襯底容納體表面（4a），其特征在于，為了使襯底（1）相對(duì)于襯底載體（2）在襯底（1）與襯底載體（2）的連接狀態(tài)中平行移動(dòng)設(shè)有分離機(jī)構(gòu)。

2.?如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，設(shè)有用于減小通過(guò)連接層（3）起作用的連接力的措施。

3.?如上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，所述分離機(jī)構(gòu)包括一個(gè)尤其通過(guò)直線驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)的導(dǎo)向溜板（8），用于使襯底（1）相對(duì)于襯底載體（2）平行移動(dòng)。

4.?如上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，所述分離機(jī)構(gòu)包括抬起機(jī)構(gòu)，用于抬起與襯底載體（2）連接的襯底（1），尤其通過(guò)抬起導(dǎo)向溜板（8）。

5.?如上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，所述襯底載體容納體（5）包括用于使襯底載體（2）固定在容納體表面（5a）上的襯底載體固定機(jī)構(gòu)（7）。

6.?如上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，所述襯底容納體（4）包括用于使襯底（1）固定在襯底容納體表面（4a）上的襯底固定機(jī)構(gòu)（6）。

7.?如上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，所述分離機(jī)構(gòu)包括尤其僅僅反作用于平行移動(dòng)的夾持機(jī)構(gòu)（10）的、尤其安置在襯底載體容納體（5）或襯底容納體（4）上的止擋。

8.?如權(quán)利要求3至7中任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，對(duì)直線驅(qū)動(dòng)裝置附設(shè)驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)器，通過(guò)它可以調(diào)節(jié)通過(guò)導(dǎo)向溜板（8）平行移動(dòng)的速度，尤其具有用于測(cè)量剝離期間的剝離力的測(cè)力機(jī)構(gòu)。

9.?一種用于使襯底與通過(guò)連接層連接襯底的襯底載體分離的方法，具有下面的步驟：

-?在襯底容納體的襯底容納體表面與平行于襯底容納體表面設(shè)置的襯底載體容納體的容納體表面之間容納由襯底載體、連接層和襯底組成的襯底-襯底載體-連接體，

-?通過(guò)使襯底相對(duì)于襯底載體在襯底與襯底載體的連接狀態(tài)中平行移動(dòng)分離襯底與襯底載體。

10.?如權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于，在容納之后和分離之前減小通過(guò)連接層起作用的連接力。

11.?如權(quán)利要求7或8所述的方法具有如權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的裝置。

12.?如權(quán)利要求9至11中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，通過(guò)一個(gè)尤其通過(guò)直線驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)的、用于使襯底相對(duì)于襯底載體平行移動(dòng)的導(dǎo)向溜板實(shí)現(xiàn)分離。

13.?如權(quán)利要求9至12中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，在分離之前抬起襯底-襯底載體-連接體，尤其在取消襯底載體在襯底載體容納體上的固定以后。

14.?如權(quán)利要求9至13中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，至少主要僅僅通過(guò)平行移動(dòng)實(shí)現(xiàn)襯底與襯底載體的分離。

15.?如權(quán)利要求12至14中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，設(shè)有一個(gè)用于調(diào)節(jié)速度的驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)器并且在分離期間提高速度，尤其根據(jù)反作用于平行移動(dòng)的分離力。