[發(fā)明專利]一種用于容積式泵的粗抽方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201080017193.1
• 申請日: 2010-04-16
• 公開（公告）號: CN102395792A
• 公開（公告）日: 2012-03-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 彼得·比爾克
• 申請（專利權(quán)）人: 厄利孔萊博爾德真空技術(shù)有限責(zé)任公司
• 主分類號: F04C18/12
• 分類號: F04C18/12;F04C28/08
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 吳煥芳;田軍鋒

1.一種用于容積式泵(10)的粗抽方法，用來在所述容積式泵(10)的入口(18)與出口(20)之間產(chǎn)生最大壓差(ΔP_max)，所述容積式泵(10)的轉(zhuǎn)速(Ω)被調(diào)節(jié)為適于要產(chǎn)生的所述最大壓差(ΔP_max)，以使所述容積式泵(10)的功率輸入(3、4)接近物理上用于壓縮氣體以便建立所述最大壓差(ΔP_max)所需的最小功率(2)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的粗抽方法，其特征在于，利用關(guān)系式設(shè)定用于達(dá)到所述最大壓差(ΔP_max)的所述轉(zhuǎn)速(Ω)，

其中

V_S是所述容積式泵的壓縮機(jī)排量，

C_I是所述泵內(nèi)的回漏體積流量，

P_out是所述容積式泵的出口壓力，

P_in，min是要產(chǎn)生的所述容積式泵的最小入口壓力，ΔP_max＝P_out-P_in，min，以及

Ω_max是所述容積式泵的最大轉(zhuǎn)速，Ω＜Ω_max。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的粗抽方法，其特征在于，在高于限制轉(zhuǎn)速(Ω_v/f)時，隨著所述壓差以及泵轉(zhuǎn)速的增加，泵驅(qū)動器(12)的扭矩(T)持續(xù)地減小，其中0≤Ω_v/f≤30Hz。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中一項所述的粗抽方法，其特征在于，在所述容積式泵的最大可能的轉(zhuǎn)速(Ω_max)處，所述容積式泵的所述出口壓力(P_out)與入口壓力(P_in)的比大于3，并且特別地，小于10。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中一項所述的粗抽方法，其特征在于，要產(chǎn)生的壓差(ΔP_max)的大小在低于1000毫巴的范圍內(nèi)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的粗抽方法，其特征在于，所述要產(chǎn)生的壓差(ΔP_max)在低于500毫巴的范圍內(nèi)，并且特別地，在從200至400毫巴的范圍內(nèi)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中一項所述的粗抽方法，其特征在于，通過在用作為所述泵驅(qū)動器的電動機(jī)中使用電子換流器而降低所述轉(zhuǎn)速(Ω)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的粗抽方法，其特征在于，所述電動機(jī)是感應(yīng)電動機(jī)、磁阻電動機(jī)或無刷直流電動機(jī)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中一項所述的粗抽方法，其特征在于，所述容積式泵是羅茨泵，爪式螺桿泵或干式運(yùn)行旋轉(zhuǎn)葉片泵。

10.根據(jù)權(quán)利要求1至9中一項所述的粗抽方法，其特征在于，所述容積式泵是多級容積式泵，其包括至少兩個泵送級。

11.一種用于在容積式泵(10)的入口(18)與出口(20)之間建立粗壓差(ΔP_max)的容積式泵裝置(16)，所述容積式泵裝置(16)包括泵驅(qū)動器(12)，所述泵驅(qū)動器(12)用于將所述容積式泵的轉(zhuǎn)速(Ω)調(diào)節(jié)為適于要產(chǎn)生的最大壓差(ΔP_max)以使所述泵(10)的功率輸入(3、4)接近物理上用于壓縮氣體以便建立所述最大壓差(ΔP_max)所需的的最小功率(2)。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的容積式泵裝置(16)，其特征在于，所述控制裝置(14)包括用于要產(chǎn)生的壓差(ΔP_max)的存儲器。