[發明專利]背面入射型固體攝像元件

有效

• 申請號: 201080014112.2
• 申請日: 2010-03-24
• 公開（公告）號: CN102365741A
• 公開（公告）日: 2012-02-29
• 發明（設計）人: 鈴木久則;米田康人;宮崎康人;村松雅治;山本晃永
• 申請（專利權）人: 浜松光子學株式會社
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146;H01L27/148
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

1.一種背面入射型固體攝像元件，其特征在于，

具備：

在背面側具有光入射面的半導體基板；以及

設置于所述半導體基板的與所述光入射面為相反側的光檢測面的 電荷傳送電極，

所述光檢測面具有凹凸面。

2.如權利要求1所述的背面入射型固體攝像元件，其特征在于，

所述凹凸面僅形成于所述光檢測面。

3.如權利要求1所述的背面入射型固體攝像元件，其特征在于，

所述凹凸面內的各凹凸的圖案，在所述背面入射型固體攝像元件 的各像素內相同。

4.如權利要求1所述的背面入射型固體攝像元件，其特征在于，

在將所述凹凸面的凹部的最深部與凸部的頂點或頂面之間的、沿 所述半導體基板的厚度方向的距離設為D1時，距離D1為0.06～1μm。