[發明專利]曝光方法及曝光裝置

有效

• 申請號: 201080013999.3
• 申請日: 2010-03-17
• 公開（公告）號: CN102365588A
• 公開（公告）日: 2012-02-29
• 發明（設計）人: 梶山康一
• 申請（專利權）人: 株式會社V技術
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 張寶榮

技術領域

本發明涉及一邊將被曝光體向一方向輸送一邊在設定在被曝光體上 的多個曝光區域的每個區域形成不同的曝光圖案的曝光方法及曝光裝置， 詳細而言，涉及提高多種曝光圖案的形成效率的曝光方法及曝光裝置。

背景技術

以往，在這種曝光方法中，一邊將被曝光體向一方向輸送，一邊選擇 光掩模的一掩模圖案組并通過該一掩模圖案組在被曝光體的規定的曝光 區域上曝光形成一曝光圖案組，接著，將上述被曝光體暫時返回到曝光開 始前的待機位置，之后將光掩模的掩模圖案組切換成另一掩模圖案組，然 后再次開始被曝光體的輸送，從而通過上述另一掩模圖案組在被曝光體的 另一曝光區域上曝光形成另一曝光圖案組(例如，參照專利文獻1)。

專利文獻1：日本特開2008-310217號公報

然而，在這種以往的曝光方法中，每當一個掩模圖案組的曝光結束時， 被曝光體暫時返回到曝光開始前的待機位置，因此，要形成的曝光圖案的 種類越多，則對被曝光體的全部的曝光結束為止的被曝光體的總移動距離 越長。因此，當要在同一被曝光體上形成多種曝光圖案時，存在曝光圖案 的形成效率差這樣的問題。

發明內容

因此，應對這樣的問題點，本發明的目的在于提供一種提高對同一被 曝光體的多種曝光圖案的形成效率的曝光方法及曝光裝置。

為了實現上述目的，本發明的曝光方法一邊向一個方向輸送被曝光 體，一邊在該被曝光體的沿輸送方向以規定間隔設定的多個曝光區域的每 個區域形成不同的曝光圖案，所述曝光方法進行如下的步驟：

當使用光掩模的一掩模圖案組進行的對所述被曝光體的一曝光區域 的曝光結束時，與所述被曝光體的輸送速度同步地移動所述光掩模，從而 從所述一掩模圖案組切換成另一掩模圖案組的步驟，其中，所述光掩模通 過將與各所述曝光圖案對應的多種掩模圖案組沿著所述被曝光體的輸送 方向以規定間隔排列而形成；

當從所述光掩模的所述一掩模圖案組向另一掩模圖案組的切換結束 時，停止該光掩模的移動，通過所述另一掩模圖案組來執行對所述被曝光 體的下一曝光區域的曝光的步驟。

根據這樣的結構，當一邊向一個方向輸送被曝光體，一邊使用光掩模 的一掩模圖案組進行的對被曝光體的一曝光區域的曝光結束時，與被曝光 體的輸送速度同步地使光掩模移動而從一掩模圖案組切換成另一掩模圖 案組，其中該光掩模通過將與各曝光圖案對應的多種掩模圖案組沿著被曝 光體的輸送方向以規定間隔排列而形成，并且，當從光掩模的一掩模圖案 組向另一掩模圖案組的切換結束時，使該光掩模的移動停止，通過另一掩 模圖案組來執行對被曝光體的下一曝光區域的曝光，從而在被曝光體的沿 輸送方向以規定間隔設定的多個曝光區域的每個區域上形成不同的曝光 圖案。

另外，所述光掩模向所述被曝光體的輸送方向移動。由此，使光掩模 向被曝光體的輸送方向移動而進行掩模圖案組的切換。

另外，本發明的曝光裝置一邊向一個方向輸送被曝光體，一邊在該被 曝光體的沿輸送方向以規定間隔設定的多個曝光區域的每個區域形成不 同的曝光圖案，所述曝光裝置具備：

輸送機構，其以規定速度輸送所述被曝光體；

掩模臺，其與所述輸送機構的上表面對置配設，保持光掩模并能夠與 所述輸送機構的移動同步地移動，其中，所述光掩模通過將與各所述曝光 圖案對應的多種掩模圖案組沿著所述被曝光體的輸送方向以規定間隔排 列而形成，

當使用所述光掩模的一掩模圖案組進行的對所述被曝光體的一曝光 區域的曝光結束時，移動所述掩模臺，從而從所述光掩模的一掩模圖案組 切換成另一掩模圖案組，通過該另一掩模圖案組來執行對所述被曝光體的 下一曝光區域的曝光。

根據這樣的結構，當一邊利用輸送機構向一方向以規定速度輸送被曝 光體，一邊使用光掩模的一掩模圖案組進行的對被曝光體的一曝光區域的 曝光結束時，與被曝光體的移動同步地使掩模臺移動而從光掩模的一掩模 圖案組切換成另一掩模圖案組，通過該另一掩模圖案組來執行對被曝光體 的下一曝光區域的曝光，從而在被曝光體的沿輸送方向以規定間隔設定的 多個曝光區域的每個區域上形成不同的曝光圖案。

并且，所述掩模臺向所述被曝光體的輸送方向移動。由此，使光掩模 向被曝光體的輸送方向移動而進行掩模圖案組的切換。

[發明效果]