[發明專利]用于收集懸浮顆粒的裝置

有效

• 申請號: 201080012866.4
• 申請日: 2010-04-12
• 公開（公告）號: CN102361696A
• 公開（公告）日: 2012-02-22
• 發明（設計）人: 李東勛;金相孝;鄭容哲;李在炫;金武鎬;金翰柱;樸栽佑;崔載旭
• 申請（專利權）人: 株式會社禪才哈爾特
• 主分類號: B03C3/12
• 分類號: B03C3/12;B03C3/38;B03C3/40
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 梁揮

技術領域

本發明涉及一種飄塵收集裝置，尤其涉及一種易于維護、具有提高的安全 性以及具有高效率的飄塵收集裝置。

背景技術

一般來說，包括發射器和收集器的飄塵收集裝置，也就是，集塵電極，通 過人工方式向發射器和收集器施加彼此不同的高電壓，并且放電以使飄塵顆粒 帶電，使得具有不同極性的發射器和收集器利用電力收集帶電的顆粒。

這樣的裝置可以被用于凈化在用于實施半導體或液晶顯示器(LCD)的制 造工藝的干凈房間內的空氣，或空氣中的環境污染。

另一方面，作為這種收集裝置的實例之一，一種飄塵收集裝置包括彼此相 對的線狀發射電極和翼狀收集電極。然而，因為帶電的顆粒經過翼狀收集電極 并收集在其中，所以翼狀收集電極具有大尺寸。此外，由于翼狀收集電極的安 裝結構而難以去除所收集的顆粒，因此難以維護所述裝置。也就是，當通過注 入干凈的流體清洗所述裝置時，難以細致地清洗，因此在再次使用所述裝置時 收集性能將惡化。

此外，在日本專利特許公開No.2008-18340中，公開了一種線狀電極的結 構，其中向線狀電極交替施加正高壓和負高壓。然而，因為在這些線狀電極表 面涂覆了用于收集飄塵的膠粘劑，因而難以清洗電極。因此，當在使用一次之 后需要交換電極時，難以再利用電極。此外，當使用高電壓電極時，不能提供 一個安全的系統。因此，不能提供穩定的操作，并且使用時存在危險。

發明內容

技術問題

本發明提供一種飄塵收集裝置，其易于維護、具有提高的安全性以及具有 高效率。

問題解決方案

依據本發明的一個方面，提供一種飄塵收集裝置，該裝置包括：外罩，包 括形成中空空白空間的框架以及位于該框架中的空白空間下方的電子組件部； 發射電極部，包括可拆卸地安裝在該外罩的框架內部的框架，并包括被布置為 橫貫該空白空間的多個棒狀電極；以及收集電極部，包括與該發射電極部相對 地安裝的板狀電極，并包括可拆卸地安裝在該外罩的框架內部的框架，其中該 收集電極部的板狀電極包括多個孔，空氣流經所述孔，以形成離子風并收集空 氣中的飄塵。

形成在該板狀電極上的孔的布置方向與各棒狀電極的布置方向相對。所述 棒狀電極和板狀電極由導電材料形成，并通過設置在該電子組件部的內部的高 壓變壓器連接至電源，其中通過提供彼此極性相反的電源而使所述棒狀電極和 板狀電極帶電。

在該外罩的框架內部的電子組件部上，設置多個彈性銷連接器，所述彈性 銷連接器向上彈性突出以將電源連接到形成在所述發射電極部和收集電極部 的各自底表面上的電源連接部。

該發射電極部的框架和該收集電極部的框架分別包括與形成在該外罩上 的突出部的底部耦合的鉤狀部。

該發射電極部的框架和該收集電極部的框架分別包括與其鉸接的可樞轉 把手。

該外罩的前側和后側分別與多個保護板可拆卸地連接，所述保護板由絕緣 材料形成并包括多個通孔。

所述裝置還包括安全元件，該安全元件包括第一傳感器和第二傳感器，所 述第一傳感器和第二傳感器分別設置在該電子組件部的前側和后側，并感測是 否連接有所述保護板，以依據是否連接有所述保護板來選擇性地切斷向所述發 射電極部和收集電極部的電源供給。

多個所述裝置被安裝在多個容納部的頂部、底部、右側和左側，并形成多 個所述裝置的組合件的一個面，以集中收集待凈化的目標空間內的飄塵。在多 個所述裝置的組合件的框架的底部設置多個移動輪。

根據本發明的另一方面，提供一種飄塵收集裝置，該裝置包括：外罩，包 括形成中空空白空間的框架以及彼此相對放置并可拆卸地設置在該框架的內 部的發射電極部和收集電極部；多個保護板，所述保護板與該外罩的前側和后 側可拆卸地連接并由絕緣材料形成，其中所述保護板形成有允許空氣流經的多 個通孔；以及安全元件，依據是否連接有所述保護板來選擇性地切斷向所述發 射電極部和收集電極部的電源供給。

該安全元件包括：第一傳感器和第二傳感器，設置在位于該外罩內部的空 白空間下方的電子組件部的前側和后側，并感測是否連接有所述保護板；以及 第三傳感器，設置在位于該空白空間下方的電子組件部的頂部，并感測所述發 射電極部和收集電極部的其中之一是否被拆卸。

所述第一傳感器、第二傳感器和第三傳感器為在連接有感測物體時被施加 壓力的按鈕型開關。