[發明專利]工件的薄膜加工方法及薄膜加工裝置

無效

• 申請號: 201080010793.5
• 申請日: 2010-02-24
• 公開（公告）號: CN102341211A
• 公開（公告）日: 2012-02-01
• 發明（設計）人: 荒井邦夫;金谷保彥;石井和久;本田寬
• 申請（專利權）人: 日立VIA機械株式會社
• 主分類號: B23K26/36
• 分類號: B23K26/36;B23K26/10;B23K26/12;B23K26/14;B23K26/16;B23K26/42;H01L31/04;B23K101/40;B65G49/06;H01L21/677
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 田*;楊楷

1.一種工件的薄膜加工方法，所述工件已在透明玻璃的表面配置了薄膜，其特征在于，利用壓縮空氣在上下方向支承所述工件，同時在用夾持裝置跟蹤所述工件的上下方向的移動而夾持工件的狀態下，從所述工件的背面一側照射激光來對所述表面一側的薄膜進行加工。

2.一種工件的薄膜加工方法，所述工件已在透明玻璃的表面配置了薄膜，其特征在于，一邊對加工部吹出致冷劑一邊用激光進行加工。

3.如權利要求1所述的工件的薄膜加工方法，其特征在于，一邊對加工部吹出致冷劑一邊進行加工。

4.如權利要求2或3所述的工件的薄膜加工方法，其特征在于，所述致冷劑是噴霧狀的液體、液體及氣體中的一種。

5.一種工件的薄膜加工裝置，所述工件已在透明玻璃的表面配置了薄膜，其特征在于，具有：支承裝置，該支承裝置利用壓縮空氣在上下方向支承所述工件；夾持裝置，該夾持裝置跟蹤所述工件的上下方向的移動而夾持該工件；激光照射裝置，該激光照射裝置用激光對所述薄膜進行加工，所述激光照射裝置從所述工件的背面一側對所述工件照射激光來對所述表面一側的薄膜進行加工。

6.一種工件的薄膜加工裝置，所述工件已在透明玻璃的表面配置了薄膜，其特征在于，具有：噴出致冷劑的噴嘴和用激光對所述薄膜進行加工的激光照射裝置，加工時，利用所述噴嘴，從由所述激光照射裝置出射的激光入射到所述薄膜的位置上的所述薄膜一側噴出所述致冷劑。

7.如權利要求5所述的工件的薄膜加工裝置，其特征在于，還具有噴出致冷劑的噴嘴，加工時，利用所述噴嘴，從由所述激光照射裝置出射的激光入射到所述薄膜的位置上的所述薄膜一側噴出所述致冷劑。

8.如權利要求6或7所述的工件的薄膜加工裝置，其特征在于，所述致冷劑是噴霧狀的液體、液體及氣體中的一種。