[發明專利]激光振蕩裝置及激光加工機

有效

• 申請號: 201080010649.1
• 申請日: 2010-03-08
• 公開（公告）號: CN102341976A
• 公開（公告）日: 2012-02-01
• 發明（設計）人: 江口聰;尾松英文;林川洋之
• 申請（專利權）人: 松下電器產業株式會社
• 主分類號: H01S3/036
• 分類號: H01S3/036
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 汪惠民

技術領域

本發明涉及通過鼓風部將激光氣體向放電管輸送的激光振蕩裝置及激光加工機。

背景技術

現有的氣體激光振蕩裝置由例如專利文獻1公開。專利文獻1中公開的氣體激光振蕩裝置通過對設置在放電管上的兩個電極之間施加高電壓，而在放電管內產生放電空間。在放電空間的作用下激光氣體被激發，從而作為激光通過在放電管的兩端設置的全反射鏡及部分反射鏡而向外部輸出。在放電管上結合有形成激光氣體的循環路的氣體循環路徑，在氣體循環路徑的內部設置有鼓風部。通過該鼓風部，激光氣體在放電管和氣體循環路徑內循環。

鼓風部具有轉子室，該轉子室在內部具有設置在氣體循環路徑中的氣體輸送用的轉子。鼓風部還具有齒輪室，該齒輪室在內部具有確定轉子的旋轉時機的齒輪。鼓風部還具有驅動齒輪的驅動部。轉子和驅動部彼此通過軸連接。轉子室與氣體循環路徑結合，通過轉子使激光氣體流動。激光氣體的壓力由氣體壓力檢測部監視，從而將氣體循環路徑內部的壓力保持為一定。

另一方面，通過電動機等進行旋轉，鼓風部的驅動部將動力向轉子室的轉子傳遞。在齒輪室收納有潤滑用油，進行軸承及齒輪的潤滑。為了抑制由潤滑用油產生的油霧向激光氣體循環路徑的侵入，在轉子室與齒輪室之間設置密封部，使轉子室與齒輪室分離。但是，在密封部與將轉子及驅動部結合的軸之間存在微小的間隙。為了防止油霧因真空擴散通過該間隙而從齒輪室向轉子室侵入，使齒輪室比轉子室低壓。這樣，在專利文獻1所記載的技術中，形成為防止齒輪室的壓力在鼓風部的運轉加速時及減速時發生變動而使油霧混入氣體循環路徑內的結構。

但是，在密封部與軸的間隙因磨損或時效變化而擴大的情況下，即使穩定運轉時，轉子室與齒輪室的壓力差也會減少，從而存在無法得到用于防止油霧的混入的壓力差的情況。

因此，若在該狀態下繼續運轉，則在齒輪室產生的油霧向氣體循環路徑內侵入，從而引起激光的輸出降低。

作為防止轉子室與齒輪室的壓力差減少的對策，通過與齒輪室連接的齒輪室壓力檢測部，在齒輪室的壓力成為規定的壓力以上時由警報部發出警報。

但是，在規定的壓力的設定過于高時，無法適當地檢測轉子室與齒輪室的壓力差的減少而發生輸出降低。反之在規定的壓力的設定過于低時，在短期內頻繁產生警報，從而維護期間變短而運轉成本變高。

【專利文獻1】日本特開2000-22243號公報

發明內容

本發明提供一種能夠在適當的時期發現鼓風部10的密封部10c的間隙擴大，從而進行穩定的激光輸出的激光振蕩裝置及激光加工機。

本發明的激光振蕩裝置構成為，具備：在內部對激光氣體進行放電的放電管；將激光氣體向放電管輸送的鼓風部；連接放電管與鼓風部的氣體循環路徑；對在鼓風部設置的齒輪室的壓力進行檢測的齒輪室壓力檢測部；在由齒輪室壓力檢測部檢測出的壓力與預先設定的規定壓力相同或比規定壓力大時產生警報的警報部，其中，規定壓力基于鼓風部的激光氣體入口側壓力與激光氣體出口側壓力的平均值來設定。

根據這樣的結構，能夠在不增加運轉成本的情況下提供一種激光振蕩裝置及激光加工機，從而在鼓風部的轉子室與齒輪室的密封部的間隙擴大時，能夠在適當的時期發現密封部的間隙擴大，從而進行穩定的激光輸出。

附圖說明

圖1是本發明的實施方式1中的激光振蕩裝置的框圖。

圖2是本實施方式中的激光振蕩裝置的鼓風部的結構圖。

圖3A是表示本實施方式中的運轉時的齒輪室壓力隨時間而變化的圖。

圖3B是表示本實施方式中的運轉時的激光輸出隨時間而變化的圖。

圖4是本發明的實施方式2中的激光加工機的結構圖。

具體實施方式

以下，利用圖1至圖4，對本發明的實施方式進行說明。

(實施方式1)

圖1是本發明的實施方式1中的激光振蕩裝置的框圖。在圖1中，本實施方式的激光振蕩裝置在放電管4的兩端具備陽極電極6和陰極電極7。陽極電極6和陰極電極7與高電壓電源8連接而構成使激光氣體2激發的放電部，向放電管4內部的激光氣體2放電而形成放電空間3。氣體循環路徑12與放電管4連接，在氣體循環路徑12的中途配置有換熱器9、鼓風部10、換熱器11。激光氣體2在放電部4與鼓風部10之間的激光氣體2的氣體循環路徑12中循環。在本實施方式中，使激光氣體2從陽極電極6向陰極電極7流動。另外，在本實施方式中，將放電管4連接成兩根相面對，但也可以將放電管4并列排列并通過反射鏡折回而光學地連結。放電管4可以不像本實施方式那樣為兩根，可以一根或三根以上連結。