[發明專利]制備發光顯示裝置的方法、發光顯示裝置和發光顯示器無效
| 申請號: | 201080010442.4 | 申請日: | 2010-02-04 |
| 公開(公告)號: | CN102362368A | 公開(公告)日: | 2012-02-22 |
| 發明(設計)人: | 饗場聰;高橋俊朗 | 申請(專利權)人: | 富士膠片株式會社 |
| 主分類號: | H01L51/52 | 分類號: | H01L51/52 |
| 代理公司: | 永新專利商標代理有限公司 72002 | 代理人: | 于輝 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 制備 發光 顯示裝置 方法 顯示器 | ||
技術領域
本發明涉及制備包含光程長度調整層的發光顯示裝置的方法,該方法 具有簡單的制備步驟;涉及通過簡單制備步驟制得的發光顯示裝置;還涉 及發光顯示器。
背景技術
近年中,替代陰極射線管(CRT),薄且輕的平板顯示器已日益廣泛地用 于各種領域。這是因為,隨著信息設備及以互聯網為中心的服務系統的基 礎設施的發展,個人信息終端如個人電腦和可進入網絡的移動電話已加速 普及。此類平板顯示器也已用作家用TV替代普遍使用的傳統CRT。
特別地,有機電致發光元件(有機EL元件)是近年來大受關注的裝置。 有機EL元件響應于電信號而發光,并且包含作為發光化合物的有機化合 物。有機EL元件本質上具有優異的顯示性質如大視角、高對比度和高速響 應。此外,它們可實現薄,輕,高清晰度的從小尺寸至大尺寸的顯示裝置。 因此,作為替代CRT或LCD的元件,它們已受到關注。
已提出使用有機電致發光元件的各種全色顯示裝置。在一種獲得全色 影像的方法中,使用三原色;即,紅(R)、綠(G)和藍(B),濾色器與白色有 機EL一起使用。在此類全色顯示裝置中,已嘗試制備頂部發射型全色顯示 裝置和底部發射型全色顯示裝置。頂部發射型全色顯示裝置包含半透明陰 極作為上電極,并且通過在反光膜與半透明陰極之間獲得的多級干涉效應 僅提取有機EL元件之外的特定波長的光實現高度的顏色再現性。底部發射 型全色顯示裝置包含在半透明或透明下部電極之下的電介質多層鏡。
例如,在通過依次層合由反光材料制成的第一電極、包含有機發光層 的有機層、半透明反光層和由透明材料制成的第二電極從而使有機層變成 共振部件制成的有機EL元件中,已知形成以下方程式中的L(光程距)變成 最低正值的有機EL元件:
(2L)/λ+Φ/(2π)=m
其中L表示光程距(光程長度),λ表示意欲提取的光譜的峰波長(或者意 欲提取的光的波長),m是整數,Φ表示相移。
在組合使用此類白色有機EL和濾色器的全色顯示裝置中,通過改變由 無機材料(如銦錫氧化物(ITO))制成的陽極的厚度,調整各像素的光程長度L 以提取各顏色的光(參見,例如,專利文獻1和2)。
但是,當無機材料如ITO用于光程長度調整層中時,發光顯示裝置的 制備方法變得復雜,致使生產成本增高并且生產率下降。
例如,接著描述包含光程長度調整層的發光顯示裝置的常規制備方法。
首先,反射金屬2位于基材1上以對應于紅色、綠色和藍色像素(參見 圖12)。
接著,通過例如濺射或氣相沉積,于所述反射金屬2已置于其上的基 材上形成ITO膜10(參見圖13)。
接著,將包含可固化的樹脂的阻擋組合物涂布于此ITO膜10上形成阻 擋層20(參見圖14)。
在其中反射金屬2、ITO膜10和阻擋層20位于基材1上的狀態時,用 掩模4覆蓋阻擋層20,使其部分地暴露于光,并且使在一個像素中的阻擋 層20選擇性地暴露于光L以固化樹脂(參見圖15)。
使被暴露的阻擋層20顯影以除去被暴露的部分之外的其它部分(參見 圖16)。
在此狀態,使用殘余的阻擋層20作為掩模進行蝕刻以除去除了在此殘 余的阻擋層20下的ITO膜10之外的ITO膜10(參見圖17)。
接著,除去在此殘余的ITO膜10上的阻擋層20變成其中反射金屬2 和ITO膜10位于一個像素中的狀態(參見圖18)。
接著,為了形成不同的光程長度,再次通過例如濺射或氣相沉積形成 ITO膜10(參見圖19)。從而,在一個像素區中,ITO膜10疊加于前面步驟 中在反射金屬2上已形成的ITO膜10上,由此形成在一個像素區中與另一 個像素區中的ITO膜10之間的光程長度差。
接著,再次將包含可固化的樹脂的阻擋組合物涂布于ITO膜10上形成 阻擋層20(參見圖20)。
在其中反射金屬2、ITO膜10和阻擋層20位于基材1上的狀態中,用 掩模4覆蓋阻擋層,使其部分地暴露于光,并且將其中ITO膜10已彼此疊 加的一個像素區及與其相鄰的像素區暴露于光以固化樹脂(參見圖21)。
使被暴露的阻擋層20顯影,除去被暴露的部分之外的其它部分(參見 圖22)。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L51-00 使用有機材料作有源部分或使用有機材料與其他材料的組合作有源部分的固態器件;專門適用于制造或處理這些器件或其部件的工藝方法或設備
H01L51-05 .專門適用于整流、放大、振蕩或切換且并具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的;具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的電容器或電阻器
H01L51-42 .專門適用于感應紅外線輻射、光、較短波長的電磁輻射或微粒輻射;專門適用于將這些輻射能轉換為電能,或者適用于通過這樣的輻射進行電能的控制
H01L51-50 .專門適用于光發射的,如有機發光二極管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料選擇





