[發(fā)明專利]用于短沖程載物臺的撓曲件導引軸承

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201080009481.2
• 申請日: 2010-02-26
• 公開（公告）號: CN102333615A
• 公開（公告）日: 2012-01-25
• 發(fā)明（設計）人: 馬克·T·科斯莫夫斯基
• 申請（專利權）人: 電子科學工業(yè)有限公司
• 主分類號: B23K26/08
• 分類號: B23K26/08;B23K26/04;B23K26/42
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 劉國偉

1.一種激光處理系統(tǒng)，在所述激光處理系統(tǒng)中激光束沿著束軸傳播且傳播穿過透鏡以入射在安裝于支撐件上的目標試樣的工作表面上，所述透鏡形成所述激光束的聚焦區(qū)且所述支撐件操作地連接到多軸定位系統(tǒng)，所述多軸定位系統(tǒng)使所述激光束與所述目標試樣相對于彼此移動以將所述激光束定位于所述工作表面上的選定位置處，所述激光處理系統(tǒng)的特征在于：

包含至少一個撓曲件的組合件，所述至少一個撓曲件支撐所述透鏡且響應于原動力而導引所述透鏡沿著所述束軸移動以相對于所述工作表面調整所述激光束的所述聚焦區(qū)。

2.根據權利要求1所述的激光處理系統(tǒng)，其中所述至少一個撓曲件進一步包括：

多個撓曲件，每一撓曲件彼此等同。

3.根據權利要求2所述的激光處理系統(tǒng)，其中所述多個撓曲件在平行垂直延伸的Z軸定向上在支撐所述透鏡的外殼的相對側上且沿著彼此垂直水平延伸的X軸及Y軸定位。

4.根據權利要求1所述的激光處理系統(tǒng)，其中所述至少一個撓曲件進一步包括：

多個撓曲件，其作為一群組起作用以將所述透鏡支撐為抵抗沿著彼此垂直水平延伸的X軸及Y軸的移動，同時允許沿著垂直延伸的Z軸的短沖程移動。

5.根據權利要求1所述的激光處理系統(tǒng)，其中所述至少一個撓曲件進一步包括：

所述撓曲件的雙橫梁部分，其具有垂直延伸橫截面積減小的至少一組第一及第二平行伸長水平延伸的橫梁，每一組平行伸長橫梁允許響應于所述原動力而沿Z軸方向的移動。

6.根據權利要求5所述的激光處理系統(tǒng)，其中所述至少一個撓曲件進一步包括：

所述撓曲件的支撐部分，其具有橫截面積分別擴大的至少一組第一及第二垂直延伸的伸長支撐部件，所述第一及第二伸長支撐部件借助所述第一及第二平行伸長橫梁而彼此連接，所述第一及第二平行伸長橫梁彼此垂直間隔開且在所述第一與第二支撐部件之間延伸。

7.根據權利要求6所述的激光處理系統(tǒng)，其中所述至少一個撓曲件進一步包括：

所述撓曲件的第二雙橫梁部分，其具有垂直延伸橫截面積減小的至少第三及第四平行伸長水平延伸的橫梁，每一組平行伸長橫梁允許響應于所述原動力而沿Z軸方向的移動。

8.根據權利要求7所述的激光處理系統(tǒng)，其中所述至少一個撓曲件進一步包括：

所述撓曲件的第二支撐部分，其具有橫截面積分別擴大的至少一組第三及第四支撐部件，所述第三及第四支撐部件為相對于彼此定向成面向關系且通過所述伸長橫梁中的一者而彼此連接的垂直間隔開的L形配置，所述伸長橫梁中的所述一者從所述支撐部件中的對應一者延伸，其中每一橫梁連接到所述第二支撐部件的相對端。

9.根據權利要求1或權利要求2所述的激光處理系統(tǒng)，其進一步包括：

透鏡驅迫器，其包含可移動部件，所述可移動部件經導引以沿著所述束軸移動且操作地連接到所述透鏡以賦予所述原動力從而使所述透鏡沿著所述束軸移動且借此相對于所述工作表面調整所述激光束的所述聚焦區(qū)。

10.根據權利要求9所述的激光處理系統(tǒng)，其中所述透鏡驅迫器包含控制所述可移動部件的所述移動的音圈致動器。

11.根據權利要求9所述的激光處理系統(tǒng)，其進一步包括：

隔離撓曲件裝置，其作為所述透鏡驅迫器與所述透鏡之間的緩沖器而操作以隔離所述透鏡驅迫器的所述可移動部件的所述經導引移動與由所述透鏡驅迫器的所述可移動部件賦予所述透鏡的所述經導引移動。

12.根據權利要求11所述的激光處理系統(tǒng)，其中所述隔離撓曲件裝置沿著所述束軸為剛性的且在橫切于所述束軸的平面中為順應性的。