[發(fā)明專利]耐熱老化特性優(yōu)良的金屬包覆聚酰亞胺樹(shù)脂基板

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201080009145.8
• 申請(qǐng)日: 2010-02-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102369103A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-03-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吉田拓;稻住肇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 吉坤日礦日石金屬株式會(huì)社
• 主分類號(hào): B32B15/088
• 分類號(hào): B32B15/088;C25D5/56
• 代理公司: 中原信達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11219
• 代理人: 王海川;穆德駿

1.一種金屬包覆聚酰亞胺樹(shù)脂基板，其為在聚酰亞胺樹(shù)脂薄膜的單面或兩面上通過(guò)干法進(jìn)行表面改性后，通過(guò)干法形成阻擋層，之后通過(guò)濕法或干法形成種子層，并在其表層通過(guò)濕法形成導(dǎo)電性被膜而得到的金屬包覆聚酰亞胺樹(shù)脂基板，其特征在于，

在對(duì)該金屬包覆聚酰亞胺樹(shù)脂基板進(jìn)行90°剝離試驗(yàn)后的導(dǎo)電性被膜層側(cè)的剝離面上，使用飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜分析裝置(TOF-SIMS)進(jìn)行深度方向分析得到的聚酰亞胺與阻擋層金屬的混合層厚度以Si濺射速度換算為0.70nm以下，150℃、168小時(shí)老化試驗(yàn)后的剝離強(qiáng)度保持率(150℃、168小時(shí)老化后剝離強(qiáng)度/初期剝離強(qiáng)度)為50％以上。

2.如權(quán)利要求1所述的金屬包覆聚酰亞胺樹(shù)脂基板，其特征在于，

所述種子層和導(dǎo)電性被膜為銅，所述阻擋層為鎳、鉻或它們的合金。

3.如權(quán)利要求1或2所述的金屬包覆聚酰亞胺樹(shù)脂基板，其特征在于，

所述聚酰亞胺樹(shù)脂薄膜上的干法表面改性通過(guò)等離子體處理來(lái)進(jìn)行。