[發(fā)明專利]測試裝置及測試方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201080006522.2
• 申請日: 2010-02-02
• 公開（公告）號: CN102308226A
• 公開（公告）日: 2012-01-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 巖本敏;瀧澤茂樹;谷塚浩一;松浦俊雄
• 申請（專利權(quán)）人: 愛德萬測試株式會社
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G01R31/3183
• 代理公司: 北京英特普羅知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11015
• 代理人: 齊永紅

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種測試裝置及測試方法。在美國，本申請是美國申請12/365,900(申請日：2009年2月5日)的后續(xù)申請。

背景技術(shù)

在測試半導(dǎo)體器件的測試裝置中，通過在對半導(dǎo)體器件輸入規(guī)定的測試圖案的基礎(chǔ)上，取得半導(dǎo)體器件響應(yīng)的信號，來判斷半導(dǎo)體器件的良否。在半導(dǎo)體器件的測試中，當(dāng)需要測定半導(dǎo)體器件輸出信號的波形等時，將示波器等外部機器連接于測試裝置，通過外部機器取得信號。

測試裝置通過具有測試半導(dǎo)體器件的測試模塊及連接外部機器的觸發(fā)產(chǎn)生模塊，而能夠在對半導(dǎo)體器件輸出測試圖案的同時，使外部機器工作。要想與半導(dǎo)體器件的測試的時序同步地測定波形等，半導(dǎo)體器件的測試時序和外部機器的信號取得時序必須同步。因此，測試模塊及觸發(fā)產(chǎn)生模塊通過具有同一個同步電路，而同步于同一基準(zhǔn)信號而動作。例如為專利公開2005-91037公開了模塊間的同步方法。

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的技術(shù)問題

但是，當(dāng)僅對某一方的模塊進(jìn)行設(shè)計變更，在各個模塊具有不同的同步電路的情況下，會出現(xiàn)各個模塊間無法取得同步的情況。其結(jié)果是在設(shè)計變更同步電路時，將產(chǎn)生需要對具有測試模塊及觸發(fā)產(chǎn)生模塊的同步電路的雙方都實施同等的設(shè)計變更的問題。

因此，本發(fā)明一方面的目的是提供一種能夠解決上述技術(shù)問題的測試裝置及測試方法。該目的通過權(quán)利要求中的獨立權(quán)利要求所述的特征組合來實現(xiàn)。并且從屬權(quán)利要求規(guī)定了本發(fā)明的更為有利的具體實施例。

解決技術(shù)問題的手段

根據(jù)本發(fā)明的第1實施方式，提供一種測試被測試器件的測試裝置，該測試裝置包括：圖案產(chǎn)生部，其產(chǎn)生用于測試被測試器件的測試圖案；信號提供部，其將與測試圖案相對應(yīng)的測試信號提供給被測試器件；觸發(fā)產(chǎn)生部，其將觸發(fā)信號提供給連接于被測試器件外部的機器；同步控制部，其根據(jù)圖案產(chǎn)生部產(chǎn)生的測試圖案中的至少一部分，將指示產(chǎn)生觸發(fā)信號的同步信號輸出給觸發(fā)產(chǎn)生部。

根據(jù)本發(fā)明的第2實施方式，提供一種測試被測試器件的測試方法，該測試方法包括：

圖案產(chǎn)生步驟，其產(chǎn)生用于測試被測試器件的測試圖案；

信號提供步驟，其將與測試圖案相對應(yīng)的測試信號提供給被測試器件；

同步控制步驟，其根據(jù)在圖案產(chǎn)生步驟中產(chǎn)生的測試圖案的至少一部分，輸出指示產(chǎn)生觸發(fā)信號的同步信號；

觸發(fā)產(chǎn)生步驟，其根據(jù)在同步控制步驟中輸出的、用于指示產(chǎn)生觸發(fā)信號的同步信號，將觸發(fā)信號提供給連接于被測試器件外部的機器。

附圖說明

[圖1]示出第1實施方式涉及的測試裝置的構(gòu)成。

[圖2]示出第1實施方式涉及的事件信號及時序數(shù)據(jù)。

[圖3]示出包含事件信號及時序數(shù)據(jù)的測試圖案的一個例子。

[圖4]示出第2實施方式涉及的測試裝置的構(gòu)成。

[圖5]示出第3實施方式涉及的測試裝置的構(gòu)成。

[圖6]示出第4實施方式涉及的測試裝置的構(gòu)成。

[圖7]示出多個被測試器件分別連接于多個不同的測試模塊的情況下的測試裝置的構(gòu)成。

[圖8]示出1個被測試器件連接于多個測試模塊的情況下的測試裝置的構(gòu)成。

[圖9]示出具有同步動作的多個同步通信部的測試裝置的構(gòu)成。

具體實施方式

下面通過發(fā)明的實施方式說明本發(fā)明的(一)方面，但下面的實施方式并非限定權(quán)利要求涉及的發(fā)明，并且實施方式中說明的特征的組合并不全都是發(fā)明的解決手段所必須的。

圖1示出了測試裝置100的構(gòu)成的一個例子。測試裝置100連接被測試器件200及外部機器300。并且，測試裝置100具有測試模塊10、觸發(fā)產(chǎn)生模塊40、控制部50、基準(zhǔn)信號產(chǎn)生部60及同步網(wǎng)絡(luò)70。同步網(wǎng)絡(luò)70連接在測試模塊10和觸發(fā)產(chǎn)生模塊40之間。

測試模塊10具有圖案產(chǎn)生部12、信號提供部14及同步控制部16。圖案產(chǎn)生部12產(chǎn)生用于測試被測試器件200的測試圖案，并輸入給信號提供部14。信號提供部14經(jīng)由輸入輸出引腳，將與被輸入的測試圖案對應(yīng)的測試信號提供給被測試器件200。測試模塊10可經(jīng)由功能板及器件插口等連接被測試器件200。

觸發(fā)產(chǎn)生模塊40具有觸發(fā)產(chǎn)生部42。觸發(fā)產(chǎn)生部42將觸發(fā)信號34提供給連接被測試器件200的外部機器300。外部機器300可根據(jù)被提供的觸發(fā)信號34取得被測試器件200輸出的信號。觸發(fā)產(chǎn)生模塊40可經(jīng)同軸電纜等電纜連接外部機器300。