[發明專利]熱電轉換模塊的制造方法和熱電轉換模塊

無效

• 申請號: 201080004596.2
• 申請日: 2010-01-08
• 公開（公告）號: CN102282692A
• 公開（公告）日: 2011-12-14
• 發明（設計）人: 廣山雄一
• 申請（專利權）人: 住友化學株式會社
• 主分類號: H01L35/34
• 分類號: H01L35/34;H01L35/32;H02N11/00
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 毛立群;王忠忠

技術領域

本發明涉及熱電轉換模塊的制造方法和熱電轉換模塊。

背景技術

作為用于使熱電轉換模塊高密度化的模塊的制造方法的一種，舉出使p型熱電轉換元件和n型熱電轉換元件之間的寬度縮窄的方法，但在該情況下，需要對p型熱電轉換元件與n型熱電轉換元件之間進行絕緣。在專利文獻1中，公開了為了提高絕緣可靠性，在預先定位了的p型熱電轉換元件和n型熱電轉換元件之間的間隙中使絕緣性樹脂流入的模塊的制造方法。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2003-282972號公報。

發明內容

發明要解決的課題

可是，p型熱電轉換元件和n型熱電轉換元件的定位由于熱電轉換元件小等原因，是使熱電轉換模塊的制造變得麻煩的一種作業。

因此，本發明的目的在于提供一種不需要熱電轉換元件的定位，能夠獲得絕緣性高且高密度的熱電轉換模塊的熱電轉換模塊的制造方法、以及由此制造的熱電轉換模塊。

用于解決課題的方案

本發明熱電轉換模塊的制造方法，具備：覆蓋工序，以絕緣膜覆蓋p型熱電轉換元件的表面中的至少除了應該與電極相向的面之外的面和/或n型熱電轉換元件的表面中的至少除了應該與電極相向的面之外的面；以及將p型熱電轉換元件的表面中的除了應該與電極相向的面之外的面、以及n型熱電轉換元件的表面中的除了應該與電極相向的面之外的面，經由絕緣膜重合的工序。

根據本發明，以絕緣膜覆蓋p型熱電轉換元件的表面中的至少除了應該與電極相向的面之外的面和/或n型熱電轉換元件的表面中的至少除了應該與電極相向的面之外的面，將p型熱電轉換元件的表面中的除了應該與電極相向的面之外的面、以及n型熱電轉換元件的表面中的除了應該與電極相向的面之外的面，經由絕緣膜重合，因此p型熱電轉換元件和n型熱電轉換元件通過絕緣膜而被絕緣，不進行定位，就能夠制造絕緣性高且高密度的熱電轉換模塊。

在這里，優選在覆蓋工序中，以絕緣膜覆蓋p型熱電轉換元件的全部表面和/或n型熱電轉換元件的全部表面，進而，具備：絕緣膜除去工序，針對在重合工序中重合了的p型熱電轉換元件和n型熱電轉換元件，進行p型熱電轉換元件的表面中的應該與電極相向的面和/或n型熱電轉換元件的表面中的應該與電極相向的面的研磨，除去絕緣膜。

根據本發明，因為以絕緣膜覆蓋p型熱電轉換元件的全部表面和/或n型熱電轉換元件的全部表面，所以對熱電轉換元件的表面覆蓋絕緣膜的工序例如將p型熱電轉換元件和/或n型熱電轉換元件浸漬在用于形成絕緣膜的組成物中即可實現，變得簡便。此外，針對經由絕緣膜重合了的p型熱電轉換元件和n型熱電轉換元件，除去p型熱電轉換元件的表面中的應該與電極相向的面和/或n型熱電轉換元件的表面中的應該與電極相向的面的絕緣膜的工序，也對各熱電轉換元件的與電極相向的面進行一次研磨來除去絕緣膜，因此比較簡便。因此，與以和電極相向的面不被絕緣膜覆蓋的方式僅對各熱電轉換元件的表面的一部分有選擇地形成絕緣膜的情況相比，作為整體的工序被簡略化。

此外，優選在絕緣膜除去工序之前，還具備：通過將在所述重合工序中重合了的p型熱電轉換元件和n型熱電轉換元件整體地固定，從而獲得熱電轉換塊的工序。

通過將經由絕緣膜重合的p型熱電轉換元件和n型熱電轉換元件整體地固定，形成熱電轉換塊，重合的p型熱電轉換元件和n型熱電轉換元件被充分固定。由此，在本工序后，能夠容易地進行用于除去p型熱電轉換元件的表面中的與電極相向的面和/或n型熱電轉換元件電極的表面中的與電極相向的面的絕緣膜的研磨。進而，能夠容易地對該熱電轉換塊進行電極的接合等。

此外，本發明的熱電轉換模塊具有：p型熱電轉換元件；n型熱電轉換元件；電極，對p型熱電轉換元件和n型熱電轉換元件進行電連接；絕緣膜，覆蓋p型熱電轉換元件的表面中的除了與電極相向的面之外的面；以及絕緣膜，覆蓋n型熱電轉換元件的表面中的除了與電極相向的面之外的面，p型熱電轉換元件和n型熱電轉換元件經由2個絕緣膜重合。

根據本發明，以絕緣膜覆蓋p型熱電轉換元件的表面中的除了與電極相向的面之外的面、以及n型熱電轉換元件的表面中的除了與電極相向的面之外的面，并且p型熱電轉換元件和n型熱電轉換元件經由2個絕緣膜重合，由此能夠提供p型熱電轉換元件和n型熱電轉換元件的絕緣可靠性特別優越，并且高密度的熱電轉換模塊。

發明的效果