[發明專利]硅污泥的洗滌方法

無效

• 申請號: 201080003352.2
• 申請日: 2010-04-19
• 公開（公告）號: CN102227375A
• 公開（公告）日: 2011-10-26
• 發明（設計）人: 沖田憲治
• 申請（專利權）人: 勝高股份有限公司
• 主分類號: C01B33/037
• 分類號: C01B33/037;C01B33/02
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 孫秀武;郭文潔

1.硅污泥的洗滌方法，其中：

在容器中投入在硅加工工藝中產生的含有硅粉的硅污泥和臭氧溶解水溶液，通過所述臭氧溶解水溶液中的臭氧使所述硅污泥發生臭氧氧化，由此除去所述硅粉的表面的有機物，同時在所述硅粉的表層形成硅氧化膜，

將經臭氧氧化的所述硅污泥中的臭氧分解，以實施臭氧除去，

在該臭氧除去后，在所述容器中投入溶解附著于所述硅粉的表面的金屬雜質的鹽酸，使所述硅污泥分散于所述鹽酸中，由此鹽酸洗滌所述硅污泥，

該鹽酸洗滌后，將分散于所述鹽酸中的硅污泥在所述容器內靜置，沉淀分離為上清液和硅污泥，

然后，從所述容器中除去溶解了所述金屬雜質的上清液，

除去所述上清液后，在所述容器中投入超純水，由此進行利用超純水淋洗沉淀的所述硅污泥的超純水淋洗，

在該超純水淋洗后，在所述容器中投入氫氟酸，由此實施利用所述氫氟酸溶解所述硅粉的硅氧化膜的氫氟酸洗滌，將所述硅氧化膜所包括進的金屬雜質排出到所述氫氟酸中。

2.根據權利要求1所述的硅污泥的洗滌方法，其中，在所述氫氟酸洗滌后，在所述容器中投入混有氫氣的超純水，進行利用所述混有氫氣的超純水淋洗所述硅污泥的氫氣水淋洗，

在該氫氣水淋洗后，在所述容器中投入臭氧溶解水溶液，使所述硅污泥再次臭氧氧化，在所述硅粉的表層形成硅氧化膜，

然后，在所述容器中投入過氧化氫水，由此再次將經所述再次臭氧氧化的硅污泥中的臭氧除去，

接著，在所述容器中投入氫氟酸，再次氫氟酸洗滌所述硅粉的硅氧化膜，由此將所述硅氧化膜所包括進的金屬雜質排出到所述氫氟酸中。