[發明專利]模具的制造方法及其所用的電極結構

有效

• 申請號: 201080002169.0
• 申請日: 2010-03-02
• 公開（公告）號: CN102105624A
• 公開（公告）日: 2011-06-22
• 發明（設計）人: 林秀和;田口登喜生;津田和彥
• 申請（專利權）人: 夏普株式會社
• 主分類號: C25D17/10
• 分類號: C25D17/10;B29C33/38;C25D11/12;C25D11/24;G02B1/11
• 代理公司: 北京市隆安律師事務所 11323
• 代理人: 權鮮枝

1.一種在表面具有翻轉蛾眼結構的模具的制造方法，所述翻轉蛾眼結構具有多個凹部，所述多個凹部從表面的法線方向看時的2維大小是10nm以上、不到500nm，

上述制造方法包括：

(a)通過接觸鋁膜或者鋁基材的表面的電極，對上述表面進行陽極氧化，由此形成具有多個細微的凹部的多孔鋁層的工序；

(b)在上述工序(a)之后，使上述多孔鋁層接觸蝕刻液，由此擴大上述多孔鋁層的上述多個細微的凹部的工序；以及

(c)在上述工序(b)之后，通過上述電極進一步對上述表面進行陽極氧化，由此使上述多個細微的凹部成長的工序，

上述鋁膜或者上述鋁基材由99.99質量％以上的純度的鋁形成，

上述電極具有：第1電極部，其由99.50質量％以下的純度的鋁形成；以及第2電極部，其由與上述第1電極部的鋁相比純度高的鋁形成，設置在上述表面與上述第1電極部之間，

上述工序(a)和(c)在上述第2電極部與上述表面在電解液中接觸的狀態下進行。

2.根據權利要求1所述的制造方法，

與上述表面接觸的、上述第2電極部的面的十點平均粗糙度Rz是4.0μm以下。

3.根據權利要求1或者2所述的制造方法，

上述第1電極部具有與上述第2電極部接觸的凸部，

上述工序(a)和(c)在上述凸部由保護部件保護的狀態下進行，使得上述電解液不會侵入上述凸部與上述第2電極部之間。

4.一種電極結構，其用于權利要求1到3中的任一項所述的模具的制造方法，其具有：

上述電極，其中，上述第1電極部具有接觸上述第2電極部的凸部；

保護部件，其設置成包圍上述凸部的周圍，進行保護，使得上述電解液不會侵入到上述凸部與上述第2電極部之間；以及

將上述電極的上述第2電極部按壓到上述鋁膜或者上述鋁基材的上述表面的機構。