[發明專利]密封裝置

無效

• 申請號: 201080001858.X
• 申請日: 2010-06-14
• 公開（公告）號: CN102216658A
• 公開（公告）日: 2011-10-12
• 發明（設計）人: 大下功太郎
• 申請（專利權）人: 伊格爾工業股份有限公司
• 主分類號: F16J15/43
• 分類號: F16J15/43;F16J15/32
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 黨曉林;王小東

技術領域

本發明涉及一種密封裝置，該密封裝置適合應用于將運動從外部傳遞到腔室內或潔凈室(clean?room)等密閉空間的旋轉軸等。

背景技術

例如在半導體器件的制造工序中，對半導體晶片實施的氧化、擴散或者CVD(Chemical?Vapor?Deposition：化學氣相沉積)等處理在將晶片維持于真空中或者特定的氣體氛圍中的狀態下進行。很多情況下，將晶片收納在保持為預定環境的腔室或容器(以下總稱為處理室)中，并且使晶片一邊例如旋轉等一邊暴露于處理室內部的氛圍中來進行處理。因此，對于在這種處理中所使用的處理室，要求氣密性高、且能夠將機械運動從處理室外部傳遞到處理室內部以使晶片旋轉等。

作為在使處理室密封的狀態下將機械運動傳遞到處理室內部的現有技術，例如公知有使用涂布了真空潤滑脂的彈性密封件(O型圈等)的密封裝置。但是，在這種現有技術中，為了使潤滑脂保持于軸與密封件的滑動部，需要提高所使用的真空潤滑脂的粘度。因此，即便在潤滑脂劣化的情況下也不會與存在于周圍的潤滑脂進行置換，具有使密封件的滑動壽命縮短的問題。

作為用于解決這種問題的現有技術，例如公知有使用了彈性密封件和磁性流體的密封裝置，該磁性流體利用磁力保持在極靴(pole?piece)與軸之間(參照專利文獻1等)。但是，在這種現有技術中，即便將磁性流體保持在極靴的末端，也具有磁性流體的大部分無法到達彈性密封件的問題。因此，在現有技術所涉及的密封裝置中使用的磁性流體無法作為潤滑劑充分地發揮作用，因此，現有技術所涉及的密封裝置在滑動壽命的方面仍然殘留有課題。

此外，作為與密封裝置有關的其他的現有技術，公知有如下的密封裝置(旋轉軸突起型磁性流體密封旋轉軸承)：該密封裝置包括具有圓環狀突起的軸、以及與永磁鐵接觸的磁軛，該密封裝置將磁性流體保持在磁軛的內周面與圓環狀突起之間(參照專利文獻2等)。但是，將磁性流體保持在磁軛的內周面與圓環狀突起之間的密封裝置的結構復雜，為了制造這種密封裝置，需要極高精度的加工工序和組裝工序，在生產率和成本方面存在課題。

為了解決上述課題，本申請人提出了如圖6所示的密封裝置(PCT/JP2009/062198)。關于該在先申請的發明所涉及的密封裝置，在將預定的機械運動從處理室50的外部傳遞到該處理室50的內部的旋轉軸51的密封裝置中，使用彈性密封件作為密封部件53，使用磁性流體54作為潤滑劑，為了抑制密封部的中心振擺并使密封性穩定、并且為了承受來自外部的載荷，還內置有由金屬制的球軸承或滾子軸承等構成的軸承55。另外，除了密封部的軸承55之外，在處理室50側還設置有裝置軸承52。這樣，在使軸承55內置于密封部的密封裝置中，存在密封裝置的全長變長、以及密封設計受到軸承的尺寸制約的問題。此外，在設置有軸承的密封裝置的情況下，還存在不得不將軸也納入密封裝置的問題。

專利文獻1：日本特開平7-317916

專利文獻2：日本特開2003-294156

發明內容

本發明就是為了解決這樣的問題而做出的，本發明的第一目的在于提供結構簡單、具有良好的滑動壽命、且適合應用于將運動從外部傳遞到處理室的旋轉軸等的密封裝置。

此外，本發明的第二目的在于提供軸向長度短的密封裝置。

此外，本發明的第三目的在于提供卡盒式(cartridge?type)的密封裝置。