[發明專利]多棱柱狀部件的研磨裝置及其研磨方法

有效

• 申請號: 201080001511.5
• 申請日: 2010-07-12
• 公開（公告）號: CN102164710A
• 公開（公告）日: 2011-08-24
• 發明（設計）人: 平賀干敏;棚橋茂;羽鳥左一郎;松本尚
• 申請（專利權）人: 新東工業株式會社
• 主分類號: B24B29/00
• 分類號: B24B29/00;B24B9/00;B24B29/06;B24B41/06;B24B47/22;B24B49/10;H01L21/304
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 王軼;李偉

1.一種多棱柱狀部件的研磨裝置，用于對被研磨加工物的形狀為多棱柱狀的各平面部及各棱角部進行研磨，其特征在于，具備：

基臺，該基臺能夠以使該被研磨加工物(W)的各平面部中的1個平面部或各棱角部中的1個棱角部的任一個作為要研磨的加工面而呈水平向上狀態的方式載置該被研磨加工物；

夾緊機構，該夾緊機構由前端安裝有把持部、能夠前后移動的夾緊軸構成，在對所述被研磨加工物進行研磨加工時，所述把持部夾持所述被研磨加工物的兩個端面，在研磨結束后，所述把持部解除所述夾持狀態；

研磨單元，該研磨單元用于在對所述被研磨加工物進行研磨加工時移送研磨機構，所述研磨機構的研磨具的前端一邊旋轉接觸所述加工面一邊進行研磨加工；和

高度位置檢測裝置，該高度位置檢測裝置在研磨加工前檢測所述被研磨加工物的加工面的高度位置并將該高度位置檢測信號存儲到控制裝置，

所述控制裝置根據所述高度位置檢測信號對所述研磨機構的研磨具的前端的切入量進行運算處理后，進行研磨加工。

2.如權利要求1所述的多棱柱狀部件的研磨裝置，其特征在于，具備：

旋轉機構，該旋轉機構能夠選擇到間歇旋轉或連續旋轉的任一個使兩個端面被所述把持部夾持的被研磨加工物以所述夾緊軸的軸心為中心進行旋轉，所述間歇旋轉是被設定預定的旋轉角度并且以使被研磨加工物的加工面向上的方式進行旋轉，所述連續旋轉是被設定旋轉速度并且進行旋轉；和

升降裝置，該升降裝置用于使所述基臺升降，

在進行研磨加工前，在所述控制裝置中設定要研磨加工的被研磨加工物的多棱柱形狀的角數、以及選擇作為該被研磨加工物的所述棱角部的研磨加工條件亦即由所述旋轉機構進行的間歇旋轉或連續旋轉的任一個。

3.如權利要求1所述的多棱柱狀部件的研磨裝置，其特征在于：

所述研磨機構是含有磨粒的毛狀材料，且是將多根該毛狀材料呈環狀地植入設置在該研磨機構的底部的研磨刷。

4.如權利要求1或2所述的多棱柱狀部件的研磨裝置，其特征在于：

所述研磨機構是研磨刷，在該研磨刷中，將多根含有磨粒的毛狀材料捆束后形成的多個研磨具的基部植入設置在轉板上。

5.如權利要求1或2所述的多棱柱狀部件的研磨裝置，其特征在于：

所述研磨機構是研磨刷，在該研磨刷中，將多個含有磨粒且相互纏繞的纖維狀彈性體植入設置在該研磨機構的底部。

6.如權利要求3至5中任一項所述的多棱柱狀部件的研磨裝置，其特征在于：

將多個所述研磨機構水平地連接。

7.如權利要求3至5中任一項所述的多棱柱狀部件的研磨裝置，其特征在于：

在所述多棱柱狀部件的至少2個以上的不同面上配置所述研磨機構。

8.如權利要求3至5中任一項所述的多棱柱狀部件的研磨裝置，其特征在于：

在所述多棱柱狀部件的至少2個以上的不同面上分別水平地配置多個所述研磨機構。

9.如權利要求6或8所述的多棱柱狀部件的研磨裝置，其特征在于：

混合在所述毛狀材料中的磨粒的粒度為F180～#2000(JISR6001：1998)，選擇2種以上該粒度不同的研磨機構，且將該研磨機構連續設置，使該研磨機構能夠按其粒度從“粗”到“細”的順序進行研磨加工。

10.如權利要求6或8所述的多棱柱狀部件的研磨裝置，其特征在于：

混合在所述毛狀材料中的磨粒的粒度為F180～#2000，選擇該粒度大致相同的研磨機構，且連接該研磨機構。

11.如權利要求1至10中任一項所述的多棱柱狀部件的研磨裝置，其特征在于：

在用于在所述基臺上載置被研磨加工物的承接部件上形成有V字形切口，且在該V字形切口上形成有L字形切口，

在對所述被研磨加工物的任一個棱角部進行研磨時，所述V字形切口與該棱角部下側的平面部接觸，從而將所述被研磨加工物載置成該一個棱角部呈水平向上的狀態，

在對所述被研磨加工物的各平面部中的任一個平面部進行研磨時，所述L字形切口能夠卡止該平面部下側的棱角部，從而將所述被研磨加工物載置成該一個平面部呈向上的狀態。