[實(shí)用新型]圓片狀氧化鋁磨料表面無(wú)銳角處理裝置

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201020701286.3
• 申請(qǐng)日: 2010-12-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN201981158U
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-09-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 丁建平
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 淄博金紀(jì)元研磨材有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C09K3/14
• 分類(lèi)號(hào): C09K3/14
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種制備研磨材的設(shè)備，具體是一種圓片狀氧化鋁磨料表面無(wú)銳角處理裝置

背景技術(shù)

電子行業(yè)的硅片在中后期研磨拋光過(guò)程中，對(duì)表面質(zhì)量要求非常高，不得有絲毫劃痕，這就要求氧化鋁微粉粒度分布要均勻，顆粒形狀要圓滑，不得有棱角尖狀物，微粉制備難度非常大。

現(xiàn)有技術(shù)中的球磨設(shè)備很難滿(mǎn)足電子行業(yè)用氧化鋁磨料的要求。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型提供一種圓片狀氧化鋁磨料表面無(wú)銳角處理裝置，通過(guò)該裝置的處理，氧化鋁微粉殼體表面無(wú)棱角、無(wú)尖狀物，形狀圓滑。

本實(shí)用新型具體采用如下技術(shù)方案：

一種圓片狀氧化鋁磨料表面無(wú)銳角處理裝置，包括回轉(zhuǎn)的雙錐筒體，其特征是，雙錐筒體內(nèi)壁設(shè)有一彈性層，在彈性層的外表面上分布有錐臺(tái)型的凸起，雙錐筒體內(nèi)還設(shè)有橡膠球。

本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是：

雙錐筒體與動(dòng)力裝置連接，微粉在筒體內(nèi)運(yùn)動(dòng)，在橡膠球、錐臺(tái)的磨擦、碰撞過(guò)程中，對(duì)微粉外表面做類(lèi)似磨削處理，使得微粉顆粒外表面比較圓滑，無(wú)棱角、無(wú)尖狀物。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中，1-雙錐筒體，2-彈性層，3-凸起，4-橡膠球。

具體實(shí)施方式

如圖1所示，一種圓片狀氧化鋁磨料表面無(wú)銳角處理裝置，包括回轉(zhuǎn)的雙錐筒體1，雙錐筒體1內(nèi)壁設(shè)有一彈性層2，在彈性層2的外表面上分布有錐臺(tái)型的凸起3，雙錐筒體1內(nèi)還設(shè)有橡膠球4。

本實(shí)用新型在球磨后使用，可使氧化鋁微粉粒度分布要均勻，顆粒形狀圓滑，無(wú)棱角尖狀物。